气体供应系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种气体供应系统，该气体供应系统包括用于液体的质量流量控制器、液体管路、用于尤其是在低于大气压的压力下将流体从液态聚集态转变成气态聚集态的蒸发器、气体管路以及用于将流体与载气混合的混合装置。本实用新型专利技术的目的在于提出一种气体供应系统，其能实现在各维护工作之间的长运行时间以及低维护成本。该目的通过一种气体供应系统实现，其中，气体供应系统沿流体流动方向首先具有质量流量控制器、然后具有可被加热的第一气体管路、接着具有蒸发器和混合装置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】气体供应系统
本技术涉及一种气体供应系统。
技术介绍
流体、例如用于化学的气相沉积的液态前驱体必须在其被使用在加工设备的加工腔室中之前经常首先被转变成气态的状态或蒸汽态的状态。所述流体经常不是以纯净的形式被导入加工腔室中，而是首先用载气来稀释。蒸发和与载气的混合在现有技术中部分地相互耦合。例如在所谓的“起泡器”中，气态载气被导入液态流体中，从而在流体中产生载气的气泡。在此，流体的蒸汽同时积聚在载气中。该起泡器也可以被加热，从而在起泡器中流体的蒸汽压力升高。在起泡器方面不利的是受限的工艺控制，因为流体和载气的气体混合物只能间接地、例如经由载气流量和起泡器温度来控制，其中，不总是能足够精确地掌握例如在气体流量的切换过程之后时间上的效应。DE102014220512A1描述了一种模块化构造的供应系统，该供应系统可以包含起泡器。对于如下气体混合物，在所述气体混合物的情况下必须加热气体管路，这种集成的气体柜受限地适用，因为所述气体柜难以加热。在现有技术中，已知具有受调节的蒸发的液体配量系统，在所述液体配量系统中在唯一一个器具之内设置有液体本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.气体供应系统，其包括用于液体的质量流量控制器(2)、液体管路、用于将流体从液态聚集态转变成气态聚集态的蒸发器(3)、气体管路以及用于将沿流体流动方向流动的流体与载气混合的混合装置，所述气体供应系统(1)沿流体流动方向首先具有所述质量流量控制器(2)、然后具有可被加热的第一气体管路(4)并且接着具有所述蒸发器(3)和所述混合装置(5)，其特征在于，所述可被加热的第一气体管路(4)与可被调节到额定温度的加热装置(19)耦联，所述额定温度能预定成，使得在压力施加在第一气体管路(4)中时能控制流体的汽化。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170531 EP 17173668.91.气体供应系统，其包括用于液体的质量流量控制器(2)、液体管路、用于将流体从液态聚集态转变成气态聚集态的蒸发器(3)、气体管路以及用于将沿流体流动方向流动的流体与载气混合的混合装置，所述气体供应系统(1)沿流体流动方向首先具有所述质量流量控制器(2)、然后具有可被加热的第一气体管路(4)并且接着具有所述蒸发器(3)和所述混合装置(5)，其特征在于，所述可被加热的第一气体管路(4)与可被调节到额定温度的加热装置(19)耦联，所述额定温度能预定成，使得在压力施加在第一气体管路(4)中时能控制流体的汽化。


2.根据权利要求1所述的气体供应系统，其特征在于，所述混合装置(5)构成为与所述蒸发器(3)可分开的由流体气体管路(6)和载气管路(7)合并成混合气体管路(8)的气体管路合并装置。


3.根据权利要求2所述的气体供应系统，其特征在于，此外沿流动方向设置在所述气体管路合并装置下游的均匀化装置(9)接入所述混合气体管路(8)中。


4.根据权利要求3所述的气体供应系统，其特征在于，所述均匀化装置(9)具有螺旋形引导的混合室。


5.根据权利要求1至4中任一项所述的气体供应系统，其特征在于，真空泵(20)与所述可被加热的第一气体管路(4)连接，所述真空泵适用于在所述可被加热的第一气体管路(4)中设定比所述气体供应系统(1)的沿流体流动方向在所述可被加热的第一气体管路(4)上游的管路区段小的压力。


6.根据权利要求1至4中任一项所述的气体供应系统，其特征在于，沿流体流动方向在所述质量流量控制器(2)下游的所有气体管路与所述加热装置(19)耦联，...

【专利技术属性】
技术研发人员：O·勒韦尔，M·弗勒纳，A·伯迪克，
申请(专利权)人：迈尔博尔格德国有限公司，
类型：新型
国别省市：德国;DE