【技术实现步骤摘要】
一种气溶胶传输辅助装置及输送方法
本专利技术属于新型材料制备
，尤其是薄膜材料制备，具体涉及一种气溶胶传输辅助装置及输送方法。
技术介绍
薄膜材料有广阔的应用领域，相关研究工作在近30年内一直是材料科学的热点。薄膜材料制备是研究和应用的第一步，因此新的制备方法与设备不断出现。总体上，薄膜材料制备方法都追求高质量、高速度、低能耗、低污染排放等。但目前主流的制备方法，大部分都需要真空环境的支持，如分子束外延、溅射、化学气相沉积等。通常都是气态的原料通过管路输入到反应室中去，在反应室特殊的物理化学条件下形成薄膜材料。气态反应物由于原子密度远远低于固态和液态的，因此薄膜沉积的速度总体上是较低的。如果有高浓度反应物进入反应室，如液体气溶胶，则在反应室物理化学条件合适的情况下，可以实现高速度薄膜沉积。可是，液体气溶胶进入反应室形成薄膜，由于反应室与雾化发生器之间具有较大的气压差，目前还存在两个未有效解决的主要技术难题：一是雾化源持续地、稳定地输出问题；二是液体气溶胶输入量控制问题。另外，液体气溶胶还会污染管道。
【技术保护点】
1.一种气溶胶传输辅助装置，其特征在于：包括雾化发生器(1)、混合缓冲室(4)以及十字形管道接头(6)，所述雾化发生器(1)与混合缓冲室(4)之间并联设有至少两条结构相同的气溶胶传输支管路，每一条气溶胶传输支管路均串联有两个电动阀和一个缓冲室，其中缓冲室位于两个电动阀之间，且两个电动阀交替开闭；所述缓冲室的控制端接有一个可调阀门，该可调阀门将外部的气体输入到缓冲室中；所述混合缓冲室(4)上连接有收集瓶(5)，且混合缓冲室还连通有可调阀门；每条所述气溶胶传输支管路上的两个电动阀用于控制本条气溶胶传输支管路的通断状态，且两条结构相同的气溶胶传输支管路以交替连通的方式将雾化发生器...
【技术特征摘要】
1.一种气溶胶传输辅助装置，其特征在于：包括雾化发生器(1)、混合缓冲室(4)以及十字形管道接头(6)，所述雾化发生器(1)与混合缓冲室(4)之间并联设有至少两条结构相同的气溶胶传输支管路，每一条气溶胶传输支管路均串联有两个电动阀和一个缓冲室，其中缓冲室位于两个电动阀之间，且两个电动阀交替开闭；所述缓冲室的控制端接有一个可调阀门，该可调阀门将外部的气体输入到缓冲室中；所述混合缓冲室(4)上连接有收集瓶(5)，且混合缓冲室还连通有可调阀门；每条所述气溶胶传输支管路上的两个电动阀用于控制本条气溶胶传输支管路的通断状态，且两条结构相同的气溶胶传输支管路以交替连通的方式将雾化发生器(1)产生的气溶胶传输给混合缓冲室(4)；
所述十字形管道接头(6)的进口与混合缓冲室(4)的出口连通，该十字形管道接头(6)的三个出口均设有电动阀，且十字形管道接头(6)的其中一个出口与反应室(7)连通，并将混合后的气溶胶持续稳定地输入到反应室(7)中。
2.根据权利要求1所述的一种气溶胶传输辅助装置，其特征在于：所述混合缓冲室(4)内设有翅片扰流组，所述翅片扰流组设置于混合缓冲室(4)的出口处；所述翅片扰流组包括沿混合缓冲室(4)中轴线依次同轴布设的大翅片(8a)、中翅片(8b)和小翅片(8c)，且所述小翅片(8c)靠近所述混合缓冲室(4)；所述大翅片(8a)、中翅片(8b)以及小翅片(8c)均为圆环形，且所有翅片的外边缘与所述混合缓冲室(4)内壁固定，所述大翅片(8a)的外边缘和中翅片(8b)的外边缘与混合缓冲室(4)的内壁之间均开设有流水孔(8d)。
3.根据权利要求1所述的一种气溶胶传输辅助装置，其特征在于：所述混合缓冲室(4)上设有可调阀门，该可调阀门将外界的气体输入到混合缓冲室(4)中。
4.根据权利要求3所述的一种气溶胶传输辅助装置，其特征在于：所述电动阀为电动插板阀，且所有的电动插板阀均采用PLC进行控制。
5.一种液体气溶胶输送方法，其特征在于：使用权利要求1至4中任一项所述的气溶胶传输辅助装置用于输送液体气溶胶，所述气溶胶传输辅助装置包括两条气溶胶传输支管路，两条气溶胶传输支管路分别为第一气溶胶传输支管路和第二气溶胶传输支管路；其中：...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。