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本发明涉及一种电极单元，其包括多个等离子体电极对，所述等离子体电极对在施加确定的电压时适合于在每个等离子体电极对的第一等离子体电极和第二等离子体电极之间点燃等离子体，所述电极单元包括至少一个内部的电输送网络，其适合于将第一电压输送给所有第一...
该专利属于迈尔博尔格(德国)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过迈尔博尔格(德国)有限公司授权不得商用。

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