The invention provides a display panel and a manufacturing method thereof, which comprises: forming an active layer, a first gate insulating layer, a second gate insulating layer and a first interlayer insulating layer on a substrate in turn; patterning the first interlayer insulating layer and the second gate insulating layer to form two filling holes; and the first interlayer insulating layer and the first interlayer insulating layer. The material of the two-gate insulating layer is the same; the second interlayer insulating layer is deposited on the first interlayer insulating layer and in the filling hole; the second interlayer insulating layer and the first grid insulating layer corresponding to the position of the filling hole are patterned to form two through holes through which the source and drain of the display panel are connected with all the active layers. The material of the second interlayer insulating layer and the first gate insulating layer are the same. The display panel and its fabrication method of the invention can improve the conductivity of the thin film transistor.
【技术实现步骤摘要】
一种显示面板及其制作方法
本专利技术涉及显示
,特别是涉及一种显示面板及其制作方法。
技术介绍
低温多晶硅(LTPS)作为显示领域的新一代技术,常用于制作有源层,使得面板具有更快的响应速度和更高的分辨率。通常需要在薄膜晶体管的源漏极层和有源层之间设置过孔,过孔主要是通过蚀刻有源层上面覆盖的层间绝缘层和第一栅极绝缘层形成的。有源层和源漏极层之间的膜层从上到下分别是SiOx/SiNx/SiNx/SiOx,现有的过孔仅通过一步蚀刻工艺得到过孔,使得同一蚀刻过程中包含SiOx和SiNx两种材质的膜层。但是,不同材质的膜层在同一蚀刻条件下,蚀刻速率不一样,容易造成蚀刻均匀性较差、膜层间的底切现象、坡度角不理想以及尺寸偏差太大等问题。而蚀刻均匀性差,容易导致源/漏电极层和有源层之间形成点状接触,导致接触面积比较小,从而造成源/漏电极层和有源层之间的接触电阻增大;膜层间的底切现象,容易导致源/漏电极层金属断裂和结构空隙;从而降低了薄膜晶体管的导电性能。因此,有必要提供一种显示面板及其制作方法,以解决现有技术所存在的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种显示面板及其制作方法,能够提高薄膜晶体管的导电性能。为解决上述技术问题,本专利技术提供一种显示面板的制作方法,其包括:在衬底基板上依次形成有源层、第一栅极绝缘层、第二栅极绝缘层、第一层间绝缘层;其中所述第一层间绝缘层和所述第二栅极绝缘层的材料相同;对所述第一层间绝缘层和所述第二栅极绝缘层进行图案化处理,以形成两个填充孔;在所述第一层间绝缘层上和所述填充孔内沉积第二层间绝缘层;其中所述第二层间绝缘层 ...
【技术保护点】
1.一种显示面板的制作方法,其特征在于,包括:在衬底基板上依次形成有源层、第一栅极绝缘层、第二栅极绝缘层、第一层间绝缘层;其中所述第一层间绝缘层和所述第二栅极绝缘层的材料相同;对所述第一层间绝缘层和所述第二栅极绝缘层进行图案化处理,以形成两个填充孔;在所述第一层间绝缘层上和所述填充孔内沉积第二层间绝缘层;其中所述第二层间绝缘层和所述第一栅极绝缘层的材料相同;对位于所述填充孔内的所述第二层间绝缘层和所述第一栅极绝缘层进行图案化处理,以形成两个过孔,源极和漏极均通过所述过孔与所述有源层连接。
【技术特征摘要】
1.一种显示面板的制作方法,其特征在于,包括:在衬底基板上依次形成有源层、第一栅极绝缘层、第二栅极绝缘层、第一层间绝缘层;其中所述第一层间绝缘层和所述第二栅极绝缘层的材料相同;对所述第一层间绝缘层和所述第二栅极绝缘层进行图案化处理,以形成两个填充孔;在所述第一层间绝缘层上和所述填充孔内沉积第二层间绝缘层;其中所述第二层间绝缘层和所述第一栅极绝缘层的材料相同;对位于所述填充孔内的所述第二层间绝缘层和所述第一栅极绝缘层进行图案化处理,以形成两个过孔,源极和漏极均通过所述过孔与所述有源层连接。2.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述对位于所述填充孔内的所述第二层间绝缘层和所述第一栅极绝缘层进行图案化处理,以形成两个过孔的步骤包括:对位于所述填充孔上方的第二层间绝缘层、位于所述填充孔内的第二层间绝缘层以及所述第一栅极绝缘层进行图案化处理,以形成两个过孔。3.根据权利要求2所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述第二层间绝缘层包括两个第一部分和多个第二部分,所述第一部分与所述填充孔的位置对应;所述对位于所述填充孔上方的第二层间绝缘层、位于所述填充孔内的第二层间绝缘层以及所述第一栅极绝缘层进行图案化处理,以形成两个过孔的步骤包括:在所述第二部分上形成光刻胶图案;对位于相邻两个所述光刻胶图案之间的第二层间绝缘层以及所述第一栅极绝缘层进行蚀刻,以形成两个过孔。4.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述第二层间绝缘层和所述第一层间绝缘层的材料不同。5.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员:张帆,
申请(专利权)人:武汉华星光电半导体显示技术有限公司,
类型:发明
国别省市:湖北,42
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