一种坩埚及其加热控制方法、蒸镀设备技术

本申请公开了一种坩埚及其加热控制方法、蒸镀设备，用以解决现有技术中存在的加热稳定性差、加热不均匀的问题。该坩埚包括：坩埚本体，所述坩埚本体具有双层导热部，所述双层导热部中位于外层的第一导热部与位于内层的第二导热部之间形成用于容纳物料的容纳腔。这样，可以借助第一导热部以及第二导热部进行均匀、稳定热传导，容纳腔内物料可以均匀、稳定受热，进而保证后续蒸镀均匀性。

【技术实现步骤摘要】
一种坩埚及其加热控制方法、蒸镀设备
本申请涉及工艺设备
，尤其涉及一种坩埚及其加热控制方法、蒸镀设备。
技术介绍
真空蒸发镀膜(简称蒸镀)是指在真空条件下，加热蒸发物料使之气化蒸发并沉积在被镀物体表面的过程。当前的蒸镀工艺中所使用的坩埚，需要反复加热坩埚外壁的电阻丝以实现对物料的加热，目前的坩埚存在加热稳定性差、受热不均匀的问题，影响镀膜均一性，降低生产良率。
技术实现思路
本申请实施例提供一种坩埚及其加热控制方法、蒸镀设备，用以解决现有技术中存在的加热稳定性差、受热不均匀的问题。为了解决上述技术问题，本申请实施例采用下述技术方案：一种坩埚，包括：坩埚本体，所述坩埚本体具有双层导热部，所述双层导热部中位于外层的第一导热部与位于内层的第二导热部之间形成容纳腔。可选地，所述第一导热部外壁设置有第一电热层，所述第二导热部内壁设置有第二电热层。可选地，所述第一电热层和所述第二电热层为电阻丝，所述第一电热层和所述第二电热层交错分布。可选地，还包括：设置在所述坩埚本体上方且具有外凸形状的顶盖；其中，所述顶盖的边缘与所述坩埚本体的第一导热部的顶端对接，所述顶盖的中心开口的内径小于所述坩埚本体的第二导热部的内径。可选地，还包括：设置在所述坩埚本体下方的至少一个导轨；其中，所述第一导热部的外壁设置的第一电热层的底部设置在第一导轨上，和/或，所述第二导热部的内壁设置的第二电热层的底部设置在第二导轨上。可选地，还包括：驱动电机；其中，所述驱动电机用于控制所述第二电热层围绕着所述第二导热部的内壁转动，或者，所述驱动电机用于控制所述第一电热层围绕着所述第一导热部的外壁转动。可选地，还包括：驱动齿轮和传动齿轮；其中，所述驱动电机直接控制所述驱动齿轮转动；所述驱动电机控制所述第二电热层转动，则所述驱动齿轮通过所述传动齿轮带动从动齿轮以控制所述第一电热层围绕着所述第一导热部的外壁转动；或者所述驱动电机控制所述第一电热层转动，则所述驱动齿轮通过所述传动齿轮带动从动齿轮以控制所述第二电热层围绕着所述第二导热部的内壁转动。可选地，还包括：设置在所述第一电热层外壁一侧的第一辅助电热层，和/或，设置在所述第二电热层内壁一侧的第二辅助电热层。一种蒸镀设备，包括所述的坩埚。一种对所述的坩埚的加热控制方法，包括：开启坩埚；控制所述第一导热部和所述第二导热部预热第一时长；控制所述第一导热部和所述第二导热部加热第二时长；待坩埚温度稳定后，控制所述第一导热部与第二导热部之间的容纳腔内的物料蒸发。本申请实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到以下有益效果：通过上述技术方案，坩埚本体具有双层导热部，而且，其中位于外层的第一导热部以及位于内层的第二导热部之间形成有容纳腔，这样，可以借助第一导热部以及第二导热部进行均匀、稳定热传导，容纳腔内物料可以均匀、稳定受热，进而保证后续蒸镀均匀性。附图说明此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：图1为现有坩埚100的结构示意图；图2为本申请实施例提供的坩埚的结构示意图之一；图3a、图3b和图3c分别为本申请实施例提供的第一电热层和第二电热层分布方式示意图；图4为本申请实施例提供的坩埚的结构示意图之二；图5a为本申请实施例提供的坩埚的结构示意图之三；图5b为本申请实施例提供的坩埚的俯视结构示意图之一；图5c为本申请实施例提供的坩埚的俯视结构示意图之二；图5d为本申请实施例提供的蒸镀设备结构示例图；图6为本申请实施例提供的加热控制方法步骤示意图。具体实施方式为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请具体实施例及相应的附图对本申请技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。以下结合附图，详细说明本申请各实施例提供的技术方案。参照图1所示，为现有坩埚100的结构示意图，该坩埚100包括圆筒状的坩埚本体101，以及围绕在坩埚本体101外壁的电热层102，其中，坩埚本体101的圆筒内壁形成容纳腔，用于容纳蒸镀所使用的物料。电热层102为上下走线排布的电阻丝，具体采用缠绕的方式设置在坩埚本体101的外壁。但是，现有坩埚结构导致只能在本体101外壁形成电热层102，坩埚受热面积小，热传递方向单一，而且这种电阻丝排布方式无法覆盖坩埚本体101的整个外壁，导致加热不均匀的现象，进而无法对物料均匀加热，易造成镀膜不均一，影响生产良率。为此，本申请提出了一种新的坩埚结构，通过设置双层导热部，其中位于外层的第一导热部以及位于内层的第二导热部之间形成有容纳腔，这样，可以借助第一导热部以及第二导热部进行均匀、稳定热传导，容纳腔内物料可以均匀、稳定受热，进而保证后续蒸镀均匀性。在外层第一导热部的外壁以及内层第二导热部的内壁均设置电热层，由此，可以同时从内外两层对坩埚进行传热，以实现对容纳腔内物料均匀加热的目的，进而提升镀膜均一性，提高生产良率。参照图2所示，为本申请实施例提供的一种坩埚的结构示意图，该坩埚200可以包括：坩埚本体201，所述坩埚本体201具有双层导热部，所述双层导热部中位于外层的第一导热部202与位于内层的第二导热部203之间形成用于容纳物料的容纳腔204。可选地，所述第一导热部202的外壁和所述第二导热部203的内壁均设置有电热层205，具体地，第一导热部202外壁设置有第一电热层2051，所述第二导热部202内壁设置有第二电热层2052；所述电热层205用于在通电时分别通过对所述第一导热部202和所述第二导热部203传热以对所述容纳腔204内的物料进行加热。其中，第一导热部202以及第二导热部203的厚度并不作限定，尽可能满足坩埚在加热时所能够承受的壁厚即可。例如可以设置的与现有的坩埚本体的壁厚相同。第一导热部202的底部与第二导热部203的底部是联通的，这样，第一导热部202与第二导热部203可以形成容纳腔204，容纳腔204的具体结构并不限定。通过上述技术方案，坩埚本体具有双层导热部，而且，其中位于外层的第一导热部以及位于内层的第二导热部之间形成有容纳腔，且第一导热部的外壁以及第二导热部的内壁均设置有电热层，这样，可以利用电热层同时对第一导热部以及第二导热部进行加热，容纳腔内物料可以均匀受热，进而保证后续蒸镀均匀性。此外，考虑到第一导热部202的外壁和所述第二导热部203的内壁均设置有电热层205，当其中一个导热部设置的电热层205发生故障时，仍可以借助另外一个导热部设置的电热层205对容纳腔204内的物料进行加热，由此，无需更换整套电热层，保证生产持续进行，提升生产效率。在本申请中，并不对第一导热部以及第二导热部的形状进行限定，其中，第一导热部的形状与第二导热部的形状可以相同，也可以不同；可选地，参照图2所示，所述第一导热部202和第二导热部203均为圆环柱形状，其中，所述第一导热部202的内径d1大于所述第二导热部203的外径d2。在该图2所示的结构中，第一导热部202与第二导热部203之间形成的容纳腔的大小，由第一导热部202本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种坩埚，其特征在于，包括：坩埚本体，所述坩埚本体具有双层导热部，所述双层导热部中位于外层的第一导热部与位于内层的第二导热部之间形成容纳腔。

【技术特征摘要】
1.一种坩埚，其特征在于，包括：坩埚本体，所述坩埚本体具有双层导热部，所述双层导热部中位于外层的第一导热部与位于内层的第二导热部之间形成容纳腔。2.如权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述第一导热部外壁设置有第一电热层，所述第二导热部内壁设置有第二电热层。3.如权利要求2所述的坩埚，其特征在于，所述第一电热层和所述第二电热层为电阻丝，所述第一电热层和所述第二电热层交错分布。4.如权利要求1所述的坩埚，其特征在于，还包括：设置在所述坩埚本体上方且具有外凸形状的顶盖；其中，所述顶盖的边缘与所述坩埚本体的第一导热部的顶端对接，所述顶盖的中心开口的内径小于所述坩埚本体的第二导热部的内径。5.如权利要求1所述的坩埚，其特征在于，还包括：设置在所述坩埚本体下方的至少一个导轨；其中，所述第一导热部的外壁设置的第一电热层的底部设置在第一导轨上，和/或，所述第二导热部的内壁设置的第二电热层的底部设置在第二导轨上。6.如权利要求5所述的坩埚，其特征在于，还包括：驱动电机；其中，所述驱动电机用于控制所述第二电热层围绕着所述第二导热部的内壁转...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁敏，高峰，王宝友，陈策，方刚，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32