The invention relates to the field of semiconductor technology, in particular to a gas preparation device. The gas preparation equipment provided by the invention comprises a container, a flange sealing assembly and a sealing cover. Among them, the container includes the upper head and the cylinder body, and is sealed by the flange sealing assembly. The flange sealing assembly is sealed by the sealing cover and the outer wall of the container, so as to improve the sealing effect of the gas preparation equipment. When the gas preparation equipment is used under positive pressure, even if the flange seal fails, it can effectively avoid the leakage of electronic special gas, thus avoiding the occurrence of safety incidents. Therefore, environmental pollution.
【技术实现步骤摘要】
一种气体制备设备
本专利技术涉及半导体
,尤其涉及一种气体制备设备。
技术介绍
随着科技的不断发展,电子特气作为基础性支撑源材料,在半导体、微电子和太阳能电池等高科技产业中的应用越来越广泛,电子特气的制备和提纯规模也越来越大。电子特气通常具有易燃、剧毒和腐蚀等危险性,对操作人员存在一定的安全隐患,且在电子工业中,电子特气的纯度通常要求达到99.9999%以上。传统的电子特气制备设备包括上封头、筒体和法兰密封组件,其中上封头和筒体通过法兰密封组件进行密封,法兰密封组件通常包括法兰、密封垫和紧固螺栓。但是,随着法兰尺寸的增大,电子特气制备设备在高温、高压和高真空条件下,法兰的密封性和可靠性变差,电子特气制备设备在正压的使用情况下,会出现电子特气泄漏的情况,引发安全事故或污染环境。基于此,亟待专利技术一种具有良好密封效果的气体制备设备,当气体制备设备在正压使用时,可有效避免电子特气的泄漏。
技术实现思路
基于以上所述,本专利技术的目的在于提供一种气体制备设备,密封效果良好,当气体制备设备在正压使用时,可有效避免电子特气的泄漏。为达上述目的,本专利技术采用以下技术方案:一种气体制备设备,包括容器,所述容器包括上封头和筒体,所述上封头和所述筒体通过法兰密封组件密封连接,所述气体制备设备还包括密封罩,所述密封罩与所述容器外壁共同构成密封空间,以密封所述法兰密封组件。可选地,所述密封罩包括两个呈半圆环形的壳体,所述壳体包括依次连接呈U形的第一板、第二板以及第三板,所述第二板的两端分别弯折连接有第一连接板和第二连接板,两个所述壳体的所述第一连接板抵接固定,两个所述壳体的 ...
【技术保护点】
1.一种气体制备设备,包括容器(300),所述容器(300)包括上封头(301)和筒体(302),所述上封头(301)和所述筒体(302)通过法兰密封组件(200)密封连接,其特征在于,所述气体制备设备还包括密封罩(1),所述密封罩(1)与所述容器(300)外壁共同构成密封空间,以密封所述法兰密封组件(200)。
【技术特征摘要】
1.一种气体制备设备,包括容器(300),所述容器(300)包括上封头(301)和筒体(302),所述上封头(301)和所述筒体(302)通过法兰密封组件(200)密封连接,其特征在于,所述气体制备设备还包括密封罩(1),所述密封罩(1)与所述容器(300)外壁共同构成密封空间,以密封所述法兰密封组件(200)。2.根据权利要求1所述的气体制备设备,其特征在于,所述密封罩(1)包括两个半圆环形的壳体,所述壳体包括依次连接呈U形的第一板、第二板(12)以及第三板,所述第二板(12)的两端分别弯折连接有第一连接板(11)和第二连接板(13),两个所述壳体的所述第一连接板(11)抵接固定,两个所述壳体的所述第二连接板(13)抵接固定,以使两个所述壳体合围形成一体结构。3.根据权利要求2所述的气体制备设备,其特征在于,所述气体制备设备还包括抽气组件(4),所述抽气组件(4)被配置为将所述密封空间中的气体抽出。4.根据权利要求3所述的气体制备设备,其特征在于,所述抽气组件(4)包括:抽气管(41)和动力组件(43),所述抽气管(41)分别与所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:李东升,
申请(专利权)人:上海正帆科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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