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本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种气体制备设备。本发明提供的气体制备设备包括容器、法兰密封组件和密封罩。其中，容器包括上封头和筒体，并通过法兰密封组件密封连接，通过密封罩与容器外壁构成密封空间，对法兰密封组件进行密封，提高气体制备设备的...
该专利属于上海正帆科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海正帆科技股份有限公司授权不得商用。

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