基于人工智能的半导体制造执行系统技术方案

本发明专利技术提供基于人工智能的半导体制造执行系统，包括若干个脑单元，脑单元与产线人员一一对应并根据产线人员的级联层次对应连接。当检测到机台处于预设工作状态时，判断出所需采取的相应操作并生成执行指令发送至产线人员对应的脑单元，以令该脑单元按照执行指令完成相应的业务内容。当检测到该脑单元没有完成业务内容时，判断出该产线人员的上级人员所需采取的相应操作并生成新的执行指令发送至该上级人员对应的脑单元，以令该脑单元完成业务内容。以此类推，直至初始执行指令被实施时停止向各级人员的脑单元发送执行指令。本发明专利技术无需人工利用生产报表对产品流程现场管理、监控和追踪，大幅度提高了工作效率，将人工从繁重的体力劳动中解放出来。

Semiconductor Manufacturing Execution System Based on Artificial Intelligence

The invention provides a semiconductor manufacturing execution system based on artificial intelligence, including several brain units, which correspond to the production line personnel one by one and are connected according to the cascade level of the production line personnel. When the machine is in the preset working state, the corresponding operation is judged and the execution instructions are generated and sent to the corresponding brain unit of the production line personnel, so that the brain unit can complete the corresponding business content according to the execution instructions. When it detects that the brain unit has not completed the business content, it judges the corresponding operation that the superior of the production line personnel needs to take and generates new execution instructions to send to the corresponding brain unit of the superior personnel, so that the brain unit can complete the business content. By analogy, until the initial execution instruction is implemented, execution instructions are stopped to be sent to the brain units of all levels of personnel. The invention does not need manual use of production report forms to manage, monitor and track the production process on site, greatly improves work efficiency, and liberates manual labor from heavy manual labor.

【技术实现步骤摘要】
基于人工智能的半导体制造执行系统
本专利技术涉及半导体领域，特别是涉及针对半导体工厂的基于人工智能的制造执行系统。
技术介绍
在传统的半导体生产操作模式中，操作者需要通过收集各种报表并根据这些报表的内容综合判断出生产制造的总体情况，例如：当要查看机台信息时就需要查看机台状态监控报表(EQPStatusMonitor)；当要查看在制品(WIP)状况时就需要查看在制品(LOTPUSH)报表；当要查看机台测机状况时就需要查看机台测机系统的报表；当要查看机台保养(PM)状况就需要查看保养(PM)系统的报表；当要查看挡片(Dummylot)情况就需要查看挡片管理报表等。显然，操作者在进行综合判断的过程中就需要收集大量的报表资料，并在多个报表之间不断地进行切换，工作量异常繁重，并且很有可能导致判断结果出错。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种基于人工智能的半导体制造执行系统，从而解决现有技术中人工利用各种生产报表对产品流程进行现场管理、监控和追踪的不足。为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种基于人工智能的半导体制造执行系统，包括：若干个脑单元，其中，各所述脑单元与各产线人员一一对应，并根据各所述产线人员之间的级联层次对应连接；当所述系统检测到机台处于预设工作状态时，根据实际情况判断出所需采取的相应操作，并据以生成执行指令发送至产线人员对应的脑单元，以令所述产线人员对应的脑单元按照所述执行指令完成相应的业务内容；当所述系统检测到所述产线人员对应的脑单元没有按照相应的执行指令完成业务内容时，根据实际情况判断出所述产线人员的上级产线人员所需采取的相应操作，并据以生成新的执行指令发送至所述上级产线人员对应的脑单元，以令所述产线人员对应的脑单元按照新的执行指令完成相应的业务内容；以此类推，直至所述预设工作状态下的初始执行指令被实施。于本专利技术一实施例中，各所述产线人员的层级由高至低依次包括：课级、组长、领班、及操作员，其中，各层级的人员数量为一个或多个。于本专利技术一实施例中，所述预设工作状态包括：机台空闲、机台正在跑货、机台需要使用档片和控片、机台需要进行测机、及机台需要进行保养中的一种或多种组合。于本专利技术一实施例中，所述系统的工作过程包括：当所述系统检测到机台空闲时，从预存信息中搜索当前机台能够跑且优先要跑的货，并据以计算出所需采取的相应操作后生成第一执行指令，发送至操作员对应的脑单元；所述操作员对应的脑单元接收并按照所述第一执行指令完成相应的业务内容，即找到优先要跑的货；若所述系统判断出所述操作员对应的脑单元没有按照所述第一执行指令完成相应的业务内容，则计算出这种情况下该操作员的上级领班所需采取的相应操作，并生成第二执行指令，发送至所述上级领班对应的脑单元，以令所述上级领班对应的脑单元按照所述第二执行指令完成相应的业务内容；若所述系统判断出所述上级领班对应的脑单元没有按照所述第二执行指令完成相应的业务操作，则计算出这种情况下该上级领班的上级组长所需采取的相应操作，并生成第三执行指令，发送至所述上级组长对应的脑单元，以令所述上级组长对应的脑单元按照所述第三执行指令完成相应的业务内容；若所述系统检测到所述第一执行指令被实施时，停止向各个层次的脑单元发送执行指令。于本专利技术一实施例中，所述系统的工作过程包括：当所述系统检测到机台正在跑货时，计算当前机台的货物预计跑完的时间，并据以计算出所需采取的相应操作后生成第四执行指令，发送至操作员对应的脑单元；所述操作员对应的脑单元接收并按照所述第四执行指令完成相应的业务内容，即利用预先关联的派工系统准备下一批次的货物；若所述系统判断出所述操作员对应的脑单元没有按照所述第四执行指令完成相应的业务内容，则计算出这种情况下该操作员的上级领班所需采取的相应操作，并生成第五执行指令，发送至所述上级领班对应的脑单元，以令所述上级领班对应的脑单元按照所述第五执行指令完成相应的业务内容；若所述系统判断出所述上级领班对应的脑单元没有按照所述第五执行指令完成相应的业务操作，则计算出这种情况下该上级领班的上级组长所需采取的相应操作，并生成第六执行指令，发送至所述上级组长对应的脑单元，以令所述上级组长对应的脑单元按照所述第六执行指令完成相应的业务内容；若所述系统检测到所述第四执行指令被实施时，停止向各个层次的脑单元发送执行指令。于本专利技术一实施例中，所述系统的工作过程包括：当所述系统检测到机台需要使用挡片和控片时，利用预先关联的生产信息系统计算当前需准备的挡片和控片及其可使用的次数和片数，并据以计算出所需采取的相应操作后生成第七执行指令，发送至操作员对应的脑单元；所述操作员对应的脑单元接收并按照所述第七执行指令完成相应的业务内容，即准备所需的挡片和控片；若所述系统判断出所述操作员对应的脑单元没有按照所述第七执行指令完成相应的业务内容，则计算出这种情况下该操作员的上级领班所需采取的相应操作，并生成第十二执行指令，发送至所述上级领班对应的脑单元，以令所述上级领班对应的脑单元按照所述第十二执行指令完成相应的业务内容；若所述系统判断出所述上级领班对应的脑单元没有按照所述第十二执行指令完成相应的业务操作，则计算出这种情况下该上级领班的上级组长所需采取的相应操作，并生成第十三执行指令，发送至所述上级组长对应的脑单元，以令所述上级组长对应的脑单元按照所述第十三执行指令完成相应的业务内容；若所述系统检测到所述第七执行指令被实施时，停止向各个层次的脑单元发送执行指令。于本专利技术一实施例中，所述系统的工作过程包括：当所述系统检测到机台需要进行测机时，利用预先关联的生产信息系统安排测机的时间和项目，并据以计算出所需采取的相应操作后生成第八执行指令，发送至操作员对应的脑单元；所述操作员对应的脑单元接收并按照所述第八执行指令完成相应的业务内容，即安排测机；若所述系统判断出所述操作员对应的脑单元没有按照所述第八执行指令完成相应的业务内容，则计算出这种情况下该操作员的上级领班所需采取的相应操作，并生成第九执行指令，发送至所述上级领班对应的脑单元，以令所述上级领班对应的脑单元按照所述第九执行指令完成相应的业务内容；若所述系统判断出所述上级领班对应的脑单元没有按照所述第九执行指令完成相应的业务操作，则计算出这种情况下该上级领班的上级组长所需采取的相应操作，并生成第十执行指令，发送至所述上级组长对应的脑单元，以令所述上级组长对应的脑单元按照所述第十执行指令完成相应的业务内容；若所述系统检测到所述第八执行指令被实施时，停止向各个层次的脑单元发送执行指令。于本专利技术一实施例中，所述系统的工作过程包括：当所述系统检测到机台需要保养时，利用预先关联的生产信息系统计算当前机台从上次保养后所跑的货物数是否达到需做保养的标准值，并据以计算出所需采取的相应操作后生成第十一执行指令，发送至操作员对应的脑单元；所述操作员对应的脑单元接收并按照所述第十一执行指令完成相应的业务内容，即安排保养；若所述系统判断出所述操作员对应的脑单元没有按照所述第十一执行指令完成相应的业务内容，则计算出这种情况下该操作员的上级领班所需采取的相应操作，并生成第十四执行指令，发送至所述上级领班对应的脑单元，以令所述上级领班对应的脑单元按照所述第十四执行指令完本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于人工智能的半导体制造执行系统，其特征在于，包括：若干个脑单元，其中，各所述脑单元与各产线人员一一对应，并根据各所述产线人员之间的级联层次对应连接；当所述系统检测到机台处于预设工作状态时，根据实际情况判断出所需采取的相应操作，并据以生成执行指令发送至产线人员对应的脑单元，以令所述产线人员对应的脑单元按照所述执行指令完成相应的业务内容；当所述系统检测到所述产线人员对应的脑单元没有按照相应的执行指令完成业务内容时，根据实际情况判断出所述产线人员的上级产线人员所需采取的相应操作，并据以生成新的执行指令发送至所述上级产线人员对应的脑单元，以令所述产线人员对应的脑单元按照新的执行指令完成相应的业务内容；以此类推，直至初始执行指令被实施时停止向各层次的脑单元发送执行指令。

【技术特征摘要】
1.一种基于人工智能的半导体制造执行系统，其特征在于，包括：若干个脑单元，其中，各所述脑单元与各产线人员一一对应，并根据各所述产线人员之间的级联层次对应连接；当所述系统检测到机台处于预设工作状态时，根据实际情况判断出所需采取的相应操作，并据以生成执行指令发送至产线人员对应的脑单元，以令所述产线人员对应的脑单元按照所述执行指令完成相应的业务内容；当所述系统检测到所述产线人员对应的脑单元没有按照相应的执行指令完成业务内容时，根据实际情况判断出所述产线人员的上级产线人员所需采取的相应操作，并据以生成新的执行指令发送至所述上级产线人员对应的脑单元，以令所述产线人员对应的脑单元按照新的执行指令完成相应的业务内容；以此类推，直至初始执行指令被实施时停止向各层次的脑单元发送执行指令。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，各所述产线人员的层级由高至低依次包括：课级、组长、领班、及操作员，其中，各层级的人员数量为一个或多个。3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述预设工作状态包括：机台空闲、机台正在跑货、机台需要使用档片和控片、机台需要进行测机、及机台需要进行保养中的一种或多种组合。4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述系统的工作过程包括：当所述系统检测到机台空闲时，从预存信息中搜索当前机台能够跑且优先要跑的货，并据以计算出所需采取的相应操作后生成第一执行指令，发送至操作员对应的脑单元；所述操作员对应的脑单元接收并按照所述第一执行指令完成相应的业务内容，即找到优先要跑的货；若所述系统判断出所述操作员对应的脑单元没有按照所述第一执行指令完成相应的业务内容，则计算出这种情况下该操作员的上级领班所需采取的相应操作，并生成第二执行指令，发送至所述上级领班对应的脑单元，以令所述上级领班对应的脑单元按照所述第二执行指令完成相应的业务内容；若所述系统判断出所述上级领班对应的脑单元没有按照所述第二执行指令完成相应的业务操作，则计算出这种情况下该上级领班的上级组长所需采取的相应操作，并生成第三执行指令，发送至所述上级组长对应的脑单元，以令所述上级组长对应的脑单元按照所述第三执行指令完成相应的业务内容；若所述系统检测到所述第一执行指令被实施时，停止向各个层次的脑单元发送执行指令。5.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述系统的工作过程包括：当所述系统检测到机台正在跑货时，计算当前机台的货物预计跑完的时间，并据以计算出所需采取的相应操作后生成第四执行指令，发送至操作员对应的脑单元；所述操作员对应的脑单元接收并按照所述第四执行指令完成相应的业务内容，即利用预先关联的派工系统准备下一批次的货物；若所述系统判断出所述操作员对应的脑单元没有按照所述第四执行指令完成相应的业务内容，则计算出这种情况下该操作员的上级领班所需采取的相应操作，并生成第五执行指令，发送至所述上级领班对应的脑单元，以令所述上级领班对应的脑单元按照所述第五执行指令完成相应的业务内容；若所述系统判断出所述上级领班对应的脑单元没有按照所述第五执行指令完成相应的业务操作，则计算出这种情况下该上级领班的上级组长所需采取的相应操作，并生成第六执行指令，发送至所述上级组长对应的脑单元，以令所述上级组长对应的脑单元按照所述第六执行指令完成相应的业务内容；若所述系统检测到所述第四执行指令被实施时，停止向各个层次的脑单元发送执行指令。6.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述系统的工作过程包括：当所述系统检测到机台需要使用挡片和控片时，利用预先关联的生产信息系统计算当前需准备的挡片和控片及其可使用的次数和片数，并据以计算出所需采取的相应操作后生成第七执行指令，发送至操作员对应的脑单元；所述操作员对应的脑单元接收并按照所述第七执行...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱进义，谭莉，杨勇，范良巧，朱雷宇，
申请(专利权)人：华润微电子重庆有限公司，
类型：发明
国别省市：重庆,50