改良型雾化喷淋结构制造技术

技术编号:20276749 阅读:31 留言:0更新日期:2019-02-02 05:13
本实用新型专利技术涉及太阳能电池硅片生产设备技术领域,尤其涉及一种改良型雾化喷淋结构,通过在喷淋长管内设置了第一内管和第二内管,提高了现有的喷淋压力与雾化能力,能够让硅片表面一些附着的脏污清洁更干净,并降低液体介质的使用量。

【技术实现步骤摘要】
改良型雾化喷淋结构
本技术涉及太阳能电池硅片生产设备
,尤其涉及一种改良型雾化喷淋结构。
技术介绍
硅片,又叫做“芯片”、集成电路块。一只硅片里面通常含有数十到数万个硅晶体管组成的电路,完成一个或者数个功能。硅片在制作过程中需要清洗和烘干,现有的硅片雾化喷淋装置(如图1-3所示),在对硅片进行雾化喷淋时,液体从进口6进入,下端的一排均匀小孔7喷出,内部没有均流结构,导致喷出的液体两端出液量和压力比中间的出液量和压力要小,喷淋不均匀,影响硅片清洁效果。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是:为了解决现有技术中硅片雾化喷淋装置清洗效果不佳的技术问题,本技术提供一种改良型雾化喷淋结构。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种改良型雾化喷淋结构,包括喷淋长管、第一内管和第二内管,喷淋长管的上侧中间设置有主进口,喷淋长管的底部沿喷淋长管长度方向设置有多个均匀的主出孔,第一内管和第二内管均设置在喷淋长管内部,第一内管和第二内管的轴线和喷淋长管的长度方向相平行,第一内管和第二内管的两端均封闭,第一内管位于第二内管的上方,第一内管的上面开设有一个进风口和多个出风小孔,进风口位于中间,出风小孔位于进风口的两边且向第一内管的两端延伸,出风小孔的密度从中间向两边逐渐变大,第二内管的底部沿第二内管长度方向设置有多个均匀的出液口,进风口连通有进气管,第二内管连通有进液管。改良后的雾化喷淋结构,外部空气介质由进风口先充进第一内管,由第一内管上面的出风小孔出风,把气体均匀的排入喷淋长管中,第一内管上面的出风小孔在靠近进风口的位置出风小孔比较疏松,远离次进风口的位置出风小孔比较密集,这样也是有利于整个第一内管出风均匀,气体撞击喷淋长管内的上壁后改变方向向下运行从而到达喷淋长管底部的主出孔,这样的方式会让空气充满整个喷淋长管内,使得喷淋长管的两端和中间主出孔的风量与风压一致。第二内管和外部的进液管相连通,接通清洗液,通过均匀的风量与风压从主出孔喷出,对硅片起到了良好的清洗效果。为了便于液体喷出液体,所述喷淋长管的截面呈上宽下窄的形状。为了避免气体从上面泄漏,影响喷出的压力,所述进气管穿过主进口后和进风口相连通,进气管和主进口之间密封连接。为了有助于让气体充满整个喷淋长管内,所述第一内管底部和第二内管顶部相接触,且第一内管和第二内管均位于喷淋长管中部。为了保证清洁效果,所述每个主出孔上均设置有扇形喷嘴,所述扇形喷嘴呈上下相通的圆锥形,扇形喷嘴的上端为开口小的一端,扇形喷嘴的下端为开口大的一端,扇形喷嘴的上端和主出孔相连接,扇形喷嘴的下端口设置有密封平板,密封平板上开设有长条形的喷液口,喷液口的长度方向和喷淋长管长度方向相一致。将喷口设计成长条状,不仅节约喷淋的液体,还能够使得喷出的压力进一步增强,进一步提高清洁效果,能够根据需要更有针对性的清洗硅片某些区域。本技术的有益效果是,本技术的改良型雾化喷淋结构,通过在喷淋长管内设置了第一内管和第二内管,提高了现有的喷淋压力与雾化能力,能够让硅片表面一些附着的脏污清洁更干净,并降低液体介质的使用量。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是现有技术中雾化喷淋结构的侧视图。图2是现有技术中雾化喷淋结构的俯视图。图3是现有技术中雾化喷淋结构的仰视图。图4是本技术改良型雾化喷淋结构的内部结构示意图(图中箭头是表示气体和液体走向)。图5是本技术改良型雾化喷淋结构的喷淋长管的俯视图。图6是本技术改良型雾化喷淋结构的喷淋长管的俯视图透视图。图7是本技术改良型雾化喷淋结构的喷淋长管的仰视图透视图。图中:1、喷淋长管,11、主进口,12、主出孔,13、扇形喷嘴,14、密封平板,15、喷液口,2、第一内管,21、进风口,22、出风小孔,3、第二内管,31、出液口,4、进气管,5、进液管,6、进口,7、小孔。具体实施方式现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本技术的基本结构,因此其仅显示与本技术有关的构成。如图4-7所示,是本技术最优实施例,一种改良型雾化喷淋结构,包括喷淋长管1、第一内管2和第二内管3,喷淋长管1的上侧中间设置有主进口11,喷淋长管1的底部沿喷淋长管1长度方向设置有多个均匀的主出孔12,第一内管2和第二内管3均设置在喷淋长管1内部,第一内管2和第二内管3的轴线和喷淋长管1的长度方向相平行,第一内管2和第二内管3的两端均封闭,第一内管2位于第二内管3的上方,第一内管2和第二内管3相互独立不连通,第一内管2的上面(顶部)开设有一个进风口21和多个出风小孔22,进风口21位于第一内管2的中间,出风小孔22位于进风口21的两边且向第一内管2的两端延伸,出风小孔22的密度从中间向两边逐渐变大,第二内管3的底部沿第二内管3长度方向设置有多个均匀的出液口31,进风口21连通有外部的进气管4,第二内管3连通有外部的进液管5。喷淋长管1的截面呈上宽下窄的形状。进气管4穿过主进口11后和进风口21相连通,进气管4和主进口11之间密封连接。第一内管2底部和第二内管3顶部相接触,且第一内管2和第二内管3均位于喷淋长管1中部。每个主出孔12上均设置有扇形喷嘴13,扇形喷嘴13呈上下相通的圆锥形,扇形喷嘴13的上端为开口小的一端,扇形喷嘴13的下端为开口大的一端,扇形喷嘴13的上端和主出孔12相连接,扇形喷嘴13的下端口设置有密封平板14,密封平板14上开设有长条形的喷液口15,喷液口15的长度方向和喷淋长管1长度方向相一致。工作原理:改良后的雾化喷淋结构,外部无油压缩空气由进气管4进入进风口21先充入第一内管2内,由第一内管2上面的出风小孔22出风,把气体均匀的排入喷淋长管1中,第一内管2上面的出风小孔22在靠近进风口21的位置出风小孔22比较疏松,远离进风口21的位置出风小孔22比较密集,这样也是有利于整个第一内管2的出风均匀,气体撞击喷淋长管1内的上壁后改变方向向下运行从而到达喷淋长管1底部的主出孔12,这样的方式会让空气充满整个喷淋长管1内,使得喷淋长管1的两端和中间的主出孔12的风量与风压一致,进液管5同时向第二内管3(第二内管3的侧面通入)内通入清洁液体,清洁液体从第二内管3底部的出液口31进入喷淋长管1中,由于喷淋长管1中充满了均匀的压缩空气,使得喷淋长管1中的清洁液体从主出孔12均匀的喷出,又由于扇形喷嘴13呈圆锥形,且扇形喷嘴13底部具有长条形的喷液口15,使得在细长条形的喷液口15处又会形成进一步的加压,使得喷出的液体呈扁平的扇形雾化状,不仅节约喷淋的液体,还能够使得喷出的压力进一步增强,进一步提高清洁效果,能够根据需要更有针对性的清洗硅片某些区域。以上述依据本技术的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项技术技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项技术的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种改良型雾化喷淋结构,其特征在于:包括喷淋长管(1)、第一内管(2)和第二内管(3),喷淋长管(1)的上侧中间设置有主进口(11),喷淋长管(1)的底部沿喷淋长管(1)长度方向设置有多个均匀的主出孔(12),第一内管(2)和第二内管(3)均设置在喷淋长管(1)内部,第一内管(2)和第二内管(3)的轴线和喷淋长管(1)的长度方向相平行,第一内管(2)和第二内管(3)的两端均封闭,第一内管(2)位于第二内管(3)的上方,第一内管(2)的上面开设有一个进风口(21)和多个出风小孔(22),进风口(21)位于中间,出风小孔(22)位于进风口(21)的两边且向第一内管(2)的两端延伸,出风小孔(22)的密度从中间向两边逐渐变大,第二内管(3)的底部沿第二内管(3)长度方向设置有多个均匀的出液口(31),进风口(21)连通有进气管(4),第二内管(3)连通有进液管(5)。

【技术特征摘要】
1.一种改良型雾化喷淋结构,其特征在于:包括喷淋长管(1)、第一内管(2)和第二内管(3),喷淋长管(1)的上侧中间设置有主进口(11),喷淋长管(1)的底部沿喷淋长管(1)长度方向设置有多个均匀的主出孔(12),第一内管(2)和第二内管(3)均设置在喷淋长管(1)内部,第一内管(2)和第二内管(3)的轴线和喷淋长管(1)的长度方向相平行,第一内管(2)和第二内管(3)的两端均封闭,第一内管(2)位于第二内管(3)的上方,第一内管(2)的上面开设有一个进风口(21)和多个出风小孔(22),进风口(21)位于中间,出风小孔(22)位于进风口(21)的两边且向第一内管(2)的两端延伸,出风小孔(22)的密度从中间向两边逐渐变大,第二内管(3)的底部沿第二内管(3)长度方向设置有多个均匀的出液口(31),进风口(21)连通有进气管(4),第二内管(3)连通有进液管(5)。2.如权利要求1所述的改良型...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴佳俊张凯胜姚伟忠孙铁囤
申请(专利权)人:常州亿晶光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

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