下载基于人工智能的半导体制造执行系统的技术资料

文档序号:20285970

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供基于人工智能的半导体制造执行系统,包括若干个脑单元,脑单元与产线人员一一对应并根据产线人员的级联层次对应连接。当检测到机台处于预设工作状态时,判断出所需采取的相应操作并生成执行指令发送至产线人员对应的脑单元,以令该脑单元按照执行指...
该专利属于华润微电子(重庆)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华润微电子(重庆)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。