线锯装置的制造方法及线锯装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种线锯装置的制造方法，该线锯装置包括钢线供给轴盘、长型辊、导线器、钢线卷收轴盘及被控制而在经设定的控制角度±A(°)内动作并且对该钢线赋予张力的张力臂，该线锯装置的制造方法包括下列步骤：测定该长型辊的表面粗糙度Rmax；自该钢线供给轴盘伸出该钢线时，测定该张力臂的角度摆动至该经设定的控制角度的范围外时的该张力臂的角度a(°)；将该经测定的该长型辊的表面粗糙度Rmax作为R1(μm)，计算出R1×2×A÷(|a|+A)＝R2；以及使该长型辊的表面粗糙度Rmax成为该计算出的数值R2以下。由此，可防止张力臂大幅摆动至控制范围外。

Manufacturing method of wire saw device and wire saw device

The invention provides a manufacturing method of a wire saw device, which comprises a steel wire supply shaft disc, a long roll, a conductor, a steel wire reel reel reel disc and a tension arm controlled to operate at a set control angle [A], and to exert tension on on the steel wire. The manufacturing method of the wire saw device includes the following steps: The surface roughness of the long roll Rmax; the angle a (?) of the tension arm is measured when the angle of the tension arm swings out of the set control angle when the steel wire is supplied to the axle disc; the measured surface roughness Rmax of the long roll is taken as R1 (micron), and R1 *2 *A(| a |+A) = R2 is calculated; The surface roughness Rmax of the long roller becomes less than R2 of the calculated value. Thereby, the tension arm can be prevented from swinging to the control range.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】线锯装置的制造方法及线锯装置
本专利技术涉及一种线锯切断技术，并且关于一种线锯装置的制造方法及线锯装置，将例如半导体单晶硅晶棒的工件予以作成晶圆状(作成切片)的晶圆切断步骤等。
技术介绍
例如，于半导体制造领域，通过将以单晶拉提装置所拉提的半导体单晶硅晶棒，使用内周刃切片器于轴直角方向薄薄地切断而得到多个半导体硅晶圆。然而，近年来半导体晶圆的大直径化的倾向，使得已知的使用内周刃切片器切断晶棒变得困难。再者，由于以内周刃切片器的切断方法是一片片地切出晶圆的缘故，由于没效率而有生产性差的问题。因此，近年来通过线锯(特别是多线锯)的切断方法受到关注。此切断方法通过将工件推压于螺旋状卷绕于多条导线器(主辊)之间的钢线列，将浆液供给于该工件与钢线的接触部并同时使钢线移动，而将工件切断为晶圆状的方法(例如，专利文献1)。通过这种切断方法，可以一次切出多数片(例如，数量100片)的晶圆。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本特开平11-156694号公报
技术实现思路
[专利技术所欲解决的问题]在使用如上述的线锯的切断方法所使用的线锯装置中，钢线供给轴盘和导线器之间配置有长型辊、张力臂等，自钢线供给轴盘伸出的钢线在长型辊的轴方向移动的同时通过长型辊上。此时，于长型辊的轴方向没有滑顺地移动的钢线会有突发性地回到原来位置(行进中的钢线的长度成为最短的位置)的情况。此情况下，有钢线供给轴盘之侧的张力臂会大幅摆动至控制范围外，而有钢线断线的问题。若发生钢线断线则会导致切断加工中的工件的质量恶化。鉴于上述已知技术额问题点，本专利技术的目的在于提供一种线锯装置的制造方法及线锯装置，能使自钢线供给轴盘伸出的钢线在长型辊上于轴方向滑顺地移动，且防止张力臂朝控制范围外大幅摆动。[解决问题的技术手段]为了达成上述目的，依据本专利技术提供一种线锯装置的制造方法，该线锯装置包括：伸出钢线的钢线供给轴盘、使得自该钢线供给轴盘伸出的该钢线得以通过表面上的长型辊、供该钢线螺旋状缠绕于周围的多个导线器、卷收该钢线的钢线卷收轴盘、以及配置于该钢线供给轴盘与该导线器之间且被控制而在经设定的控制角度±A(°)内动作并且对该钢线赋予张力的张力臂，该钢线得以在该长型辊上以轴方向移动的同时通过该长型辊上，该线锯装置的制造方法包含下列步骤：测定该长型辊的表面粗糙度Rmax；在自该钢线供给轴盘伸出该钢线时，测定该张力臂的角度摆动至经设定控制角度范围外时该张力臂的角度a(°)；将经测定的该长型辊的表面粗糙度Rmax作为R1(μm)，计算出R1×2×A÷(|a|+A)＝R2；以及使该长型辊的表面粗糙度Rmax成为该计算出的数值R2以下。如此一来，可以制造能使自钢线供给轴盘伸出的钢线在长型辊上滑顺地于轴方向移动，防止张力臂大幅摆动至控制范围外，防止钢线的断线的线锯装置。另外，在此所提到的表面粗糙度Rmax为遵照JISB0601而测定的剖面曲线的最大剖面高度。此时，该长型辊以由邵氏硬度A80～96的聚氨酯制者为佳。若使用此硬度范围者，钢线容易滑顺地移动，再者，能降低长型辊的形状变化、形状劣化，提高耐用次数。通过使其为邵氏硬度A80以上，能防止长型辊的变形、提高使用次数，通过使其为邵氏硬度A96以下，能有效率地进行降低表面粗糙度的加工(研磨)。再者此时，于使前述长型辊表面粗糙度Rmax成为该计算出的数值R2以下的步骤上，以通过以#800～3000的研磨片研磨前述长型辊的表面，而使长型辊的表面粗糙度Rmax成为该计算出数值R2以下为佳。如此，通过使其为#800以上的号数，可使长型辊的表面粗糙度Rmax更确实地成为R2以下。再者，通过使其为#3000以下的号数，可防止研磨片堵塞，而更有效率地研磨。并且，依据本专利技术提供一种线锯装置，该线锯装置包含：伸出钢线的钢线供给轴盘、使得自该钢线供给轴盘伸出的该钢线得以通过长型辊表面上的长型辊、供该钢线螺旋状缠绕于导线器周围的多个导线器、卷收该钢线的钢线卷收轴盘、以及配置于该钢线供给轴盘与该导线器之间且被控制而在经设定的控制角度±A(°)内动作并且对该钢线赋予张力的张力臂，该钢线得以在于该长型辊的轴方向移动的同时通过该长型辊上，其中前述长型辊的表面粗糙度Rmax为21μm以下之物。若为此种装置，能使自钢线供给轴盘伸出的钢线于长型辊上于轴方向滑顺地移动，防止张力臂大幅摆动至控制范围外，防止钢线断线。此时，该长型辊以由邵氏硬度A80～96的聚氨酯制者为佳。若为如此硬度范围者，能使钢线易于滑顺地移动，再者，降低长型辊的形状化、形状劣化，提高耐用次数。通过使其为邵氏硬度A96以下，能有效率地进行降低表面粗糙度的加工(研磨)。〔对照现有技术的功效]若为本专利技术的线锯装置的制造方法及线锯装置，能使自钢线供给轴盘被伸出的钢线于长型辊上于轴方向滑顺地移动，防止张力臂大幅摆动到控制范围外，防止钢线的断线。附图说明图1(a)是显示本专利技术线锯装置之一范例的示意图。图1(b)是显示自斜上方(图1(a)的箭头(b′)方向)观看钢线供给轴盘、长型辊及滚轮的线锯装置的一部分之示意图。图2是显示本专利技术线锯装置的制造方法之一范例的步骤图。图3是显示长型辊的表面粗糙度Rmax为34μm的情况的张力臂的动作的曲线图。图4是显示长型辊的表面粗糙度Rmax为21μm的情况的张力臂的动作的曲线图。图5是显示将表面粗糙度Rmax为34μm的长型辊分别经以#600、800、2000、3000、4000的研磨片研磨时的长型辊的轴方向的表面粗糙度Rmax的曲线图。具体实施方式以下，针对本专利技术说明实施例，但是本专利技术并非限定于此。如前述内容，自钢线供给轴盘伸出的钢线于长型辊上于轴方向移动的同时通过的线锯中，于长型辊的轴方向没有滑顺地移动的钢线会有突发性地回到原来位置的情况，此时，钢线供给轴盘之侧的张力臂会大幅摆动到控制范围外，而有钢线会断线的问题。因此，本专利技术者欲解决此问题而反复专心研究。结果，想到通过规定长型辊的表面粗糙度Rmax，能使得自钢线供给轴盘送出的钢线在长型辊上滑顺地于轴方向移动，防止张力臂大幅摆动至控制范围外，能防止由于此大幅摆动而造成的钢线的断线。然后，推敲对于用以实施这些的最佳方式，而完成本专利技术。首先，参考图1(a)及图1(b)而说明本专利技术的线锯装置24。如图1(a)所举例说明，本专利技术的线锯装置24是由伸出钢线25的钢线供给轴盘1、自该钢线供给轴盘1伸出的钢线25得以通过表面上的长型辊2、供钢线25螺旋状缠绕于周围的多个导线器26、卷收钢线25的钢线卷收轴盘18、以及配置于钢线供给轴盘1和导线器26之间且被控制在设定角度±A(°)内动作并且对钢线25赋予张力的张力臂19。然后，如图1(b)所示，钢线25为得以在于该长型辊2的轴方向移动的同时通过该长型辊2上者。导线器26可由例如主导线器10和从导线器11两者所构成。自钢线供给轴盘1伸出的钢线25通过长型辊2、紧线器3、滚轮4、张力臂滚轮5、张力测定器滚轮6、滚轮7、滚轮8及滚轮9，于主导线器10和从导线器11以规定的节距平行地缠绕而形成钢线列27。然后，成为通过使工件23下降至钢线列27而切断工件23的构造。再者，由从导线器11出去的钢线25通过滚轮12、滚轮13、张力测定器滚轮14、张力臂滚轮15、滚轮16及紧线器17而卷收于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种线锯装置的制造方法，该线锯装置包括：伸出钢线的钢线供给轴盘、使得自该钢线供给轴盘伸出的该钢线得以通过表面上的长型辊、供该钢线螺旋状缠绕于周围的多个导线器、卷收该钢线的钢线卷收轴盘、以及配置于该钢线供给轴盘与该导线器之间且被控制而在经设定的控制角度±A(°)内动作并且对该钢线赋予张力的张力臂，该钢线得以在于该长型辊的轴方向移动的同时通过该长型辊上，该线锯装置的制造方法包含下列步骤：测定该长型辊的表面粗糙度Rmax；自该钢线供给轴盘伸出该钢线时，测定该张力臂的角度摆动至该经设定的控制角度的范围外时的该张力臂的角度a(°)；将经测定的该长型辊的表面粗糙度Rmax作为R1(μm)，计算出R1×2×A÷(|a|+A)＝R2；以及使该长型辊的表面粗糙度Rmax成为该计算出的数值R2以下。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.04.21 JP 2016-0852081.一种线锯装置的制造方法，该线锯装置包括：伸出钢线的钢线供给轴盘、使得自该钢线供给轴盘伸出的该钢线得以通过表面上的长型辊、供该钢线螺旋状缠绕于周围的多个导线器、卷收该钢线的钢线卷收轴盘、以及配置于该钢线供给轴盘与该导线器之间且被控制而在经设定的控制角度±A(°)内动作并且对该钢线赋予张力的张力臂，该钢线得以在于该长型辊的轴方向移动的同时通过该长型辊上，该线锯装置的制造方法包含下列步骤：测定该长型辊的表面粗糙度Rmax；自该钢线供给轴盘伸出该钢线时，测定该张力臂的角度摆动至该经设定的控制角度的范围外时的该张力臂的角度a(°)；将经测定的该长型辊的表面粗糙度Rmax作为R1(μm)，计算出R1×2×A÷(|a|+A)＝R2；以及使该长型辊的表面粗糙度Rmax成为该计算出的数值R2以下。...

【专利技术属性】
技术研发人员：宇佐美佳宏，
申请(专利权)人：信越半导体株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP