The invention relates to a deep cavity R-angle processing technology, which is applied to the deep cavity R-angle processing in IC equipment manufacturing field and aviation manufacturing field. The R-angle is processed by drilling method to avoid large milling resistance during the radial milling of the cutter, and the cutter is broken and the parts are damaged. Before machining the R angle, drill the hole at the R angle with the drill first, so as to avoid the large force area at the R angle when milling, resulting in the breakage of the cutter. If there is a clear mark of roughness at R angle in machining, drilling can be used to improve the surface roughness at R angle. It reduces the difficulty of R-angle machining, improves the efficiency and precision of R-angle machining, avoids chattering and over-cutting caused by too small R-angle and too long milling tool.
【技术实现步骤摘要】
一种深腔R角的加工工艺
本专利属于IC装备制造领域及航空制造领域的深腔R角加工，特别是涉及一种深腔R角加工工艺。适用于机械制造行业(汽车、航空航天等)有类似高洁净度反应腔腔内R角的加工。
技术介绍
随着电子集成电路，智能制造的快速发展和普及，对于IC装备的需求量也日益增加。对芯片等有高洁净度要求的产品制造过程把控严格，对芯片所在反应腔内壁粗糙度有很高要求。本专利技术中的深腔R角的加工工艺，有效解决了刀具悬伸过长，刀具长径比过大而产生的震颤，这种震颤会直接导致零件粗糙度下降，甚至过切，减少零件使用寿命，并对芯片造成污染。这种震颤已成为深腔R角加工中较难解决的问题之一。
技术实现思路
针对上述存在的问题，本专利技术的目的是提供一种深腔R角的加工工艺，它适用于类似深腔零件的R角加工，加工效率高，工艺稳定。本专利技术的目的是通过如下技术方案实现的：一种深腔R角的加工工艺，采用钻头钻削的方式加工R角，避免铣削刀具径向加工时铣削阻力大，使刀具折断，损伤零件。加工R角前，先用钻头在R角处钻孔，避免铣削时R角处受力面积过大，导致断刀。在加工中若R角处有明确粗糙度标识，可以采用钻扩的形式，提高R角处表面粗糙度。本专利技术的有益效果是：1、本专利技术采用钻削替代径向铣削，将切削力由径向转移到轴向，避免径向力使刀具震颤，损伤零件甚至过切。2、本专利技术有效提高R角加工效率及加工效果，极大的降低了R角返修几率，提高表面粗糙度的同时也提高了零件使用寿命。附图说明图1是深腔零件结构图。图2是深腔R角示意图。图3是钻削刀具加工图。图4是铣削刀具加工图。具体实施方式下面结合附图1-4及实施例...
【技术保护点】
1.一种深腔R角的加工工艺，其特征在于：采用钻头钻削的方式加工R角，避免铣削刀具径向加工时铣削阻力大，使刀具折断，损伤零件。
【技术特征摘要】
1.一种深腔R角的加工工艺，其特征在于：采用钻头钻削的方式加工R角，避免铣削刀具径向加工时铣削阻力大，使刀具折断，损伤零件。2.根据权利要求1所述的一种深腔R角的加工工艺，其特征在于：加工R角前，...
【专利技术属性】
技术研发人员：李万峰，丛雪，
申请(专利权)人：沈阳富创精密设备有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁,21
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