提供可获得能得到平滑的彩色抗蚀剂层、能够抑制该彩色抗蚀剂层中的源自颜料等着色剂的异物的产生、而且显影性优异的抗蚀剂组合物的无规共聚物(氟系表面活性剂)、使用其的抗蚀剂组合物、滤色器。具体而言，提供无规共聚物、使用其的抗蚀剂组合物、滤色器，所述无规共聚物为聚合性单体(a1)与聚合性单体(a2)的无规共聚物，并且，重均分子量(Mw)与数均分子量(Mn)的比(Mw/Mn)为1.0～1.8，所述聚合性单体(a1)具有与氟原子直接键合的碳原子的数目为1～6的氟化烷基和聚合性不饱和基团，所述聚合性单体(a2)具有桥环烃的骨架和聚合性不饱和基团。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】无规共聚物、抗蚀剂组合物、滤色器及无规共聚物的制造方法
本专利技术涉及可获得能得到平滑的彩色抗蚀剂层、能够抑制该彩色抗蚀剂层中的源自颜料等着色剂的异物的产生、而且显影性优异的抗蚀剂组合物的无规共聚物(氟系表面活性剂)、使用其的抗蚀剂组合物、滤色器。另外，本专利技术还涉及前述无规共聚物的制造方法。
技术介绍
以往以来在各种涂布领域中，出于提高得到的涂膜的均质性及平滑性的目的，使用了烃系、有机硅系、氟系等各种被称为流平剂的表面活性剂。其中，氟系表面活性剂由于其表面张力降低能高、涂布后的污染少而被广泛使用。前述氟系表面活性剂中，对于利用碳原子数为8以上的全氟烷基的表面活性剂，起因于其表面张力降低能的作为流平剂的性能优异，但由于该具有碳原子数8以上的全氟烷基的表面活性剂会生成全氟辛磺酸等担心环境及会在生体中蓄积的化合物，因此提出了利用碳原子数小于8的全氟烷基的表面活性剂。作为这样的表面活性剂，例如，提出了通过使具有碳原子数6以下的氟化烷基的单体与非氟系单体在共存下进行活性自由基聚合而制造的无规共聚物(例如，参照专利文献1。)另外，前述涂布领域中，尤其是对于用于制造滤色器的组合物(彩色抗蚀剂组合物)，要求即使暴露于用作显影液的碱性水溶液中涂膜也不易变色(难以产生水渍)的性能。为了得到具有这样的性能的抗蚀剂组合物，提出了作为包含具有碳原子数1～6的氟化烷基的聚合性单体的聚合物链段和具有桥环烃的骨架的聚合性单体的聚合物链段的嵌段共聚物的氟系表面活性剂(例如，参照专利文献2。)。但是，包含前述专利文献2中所公开的氟系表面活性剂的抗蚀剂组合物存在基于碱性水溶液的显影性不充分的问题。而且，在形成彩色抗蚀剂组合物的涂膜(彩色抗蚀剂图案)等经着色的涂膜层时，也要求期望的色调。为了得到具有期望色调的涂膜层、例如具有亮度优异的色调的彩色抗蚀剂图案，使用亮度优异的C.I.颜料红254等颜料(着色剂)。但是，前述C.I.颜料红254等颜料具有容易升华、以及因其分子间相互作用而晶体容易生长的性质，因此在形成滤色器时的加热工序中，从涂膜升华出的颜料分子会在涂膜表面发生结晶化·聚集化，将会产生异物。若产生这样的异物，则会引起基于颗粒的光散射、颜料分散的不均匀化，其结果，将会变得难以得到前述期望的色调。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2013-6928号公报专利文献2：国际公开第2015/137229号小册子
技术实现思路
专利技术要解决的问题本专利技术要解决的问题为，提供可获得能得到平滑的彩色抗蚀剂层、也能够抑制该彩色抗蚀剂层中的源自着色剂的异物的产生、而且显影性优异的抗蚀剂组合物的共聚物(氟系表面活性剂)、使用其的抗蚀剂组合物、滤色器。另外，本专利技术要解决的问题为，提供前述含氟聚合物(活性自由基聚合的无规共聚物)的制造方法。用于解决问题的方案本专利技术人等进行了深入研究，结果发现，通过使用具有氟化烷基和聚合性不饱和基团的聚合性单体、与具有金刚烷环和聚合性不饱和基团的聚合性单体等具有桥环烃的骨架和聚合性不饱和基团的聚合性单体，可得到可以用作表面活性剂的无规共聚物；该无规共聚物中，添加重均分子量(Mw)与数均分子量(Mn)的比〔(Mw)/(Mn)〕处于1.0～1.8的范围的无规共聚物，可得到即使使用容易升华、结晶化的着色剂，也不易在涂膜中引起异物的产生的抗蚀剂组合物；该抗蚀剂组合物的显影性也优异；通过使用这些组合物，可得到具有期望色调的滤色器等，从而完成了本专利技术。即，本专利技术提供一种无规共聚物，其特征在于，其为聚合性单体(a1)与聚合性单体(a2)的无规共聚物，并且，重均分子量(Mw)与数均分子量(Mn)的比(Mw/Mn)为1.0～1.8，所述聚合性单体(a1)具有与氟原子直接键合的碳原子的数目为1～6的氟化烷基和聚合性不饱和基团，所述聚合性单体(a2)具有桥环烃的骨架和聚合性不饱和基团。另外，本专利技术提供一种抗蚀剂组合物，其特征在于，含有前述无规共聚物(A)、着色剂(B)、碱可溶性树脂(C)及聚合性化合物(D)。另外，本专利技术提供一种滤色器，其特征在于，在基板上形成有前述抗蚀剂组合物的涂膜层。另外，本专利技术提供一种无规共聚物的制造方法，其特征在于，使聚合性单体(a1)与聚合性单体(a2)在聚合性单体(a1)和聚合性单体(a2)的共存下进行活性自由基聚合，所述聚合性单体(a1)具有与氟原子直接键合的碳原子的数目为1～6的氟化烷基和聚合性不饱和基团，所述聚合性单体(a2)具有桥环烃的骨架和聚合性不饱和基团。专利技术的效果本专利技术可以提供可获得能得到平滑的彩色抗蚀剂层、也能够抑制该彩色抗蚀剂层中的源自着色剂的异物的产生、而且显影性优异的抗蚀剂组合物的无规共聚物及其制造方法。另外，本专利技术可以提供可得到期望色调的涂膜层的抗蚀剂组合物及具有期望色调的涂膜层的滤色器。另外，本专利技术的无规共聚物不仅能够在彩色抗蚀剂组合物中适合使用、还能够在用于形成黑色矩阵的组合物、用于在电子设备等的壳体等物品的表面形成涂膜层的组合物等中适合使用。附图说明图1为实施例1中得到的无规共聚物(1)的IR谱的图。图2为实施例1中得到的无规共聚物(1)的13C-NMR谱的图。图3为实施例1中得到的无规共聚物(1)的GPC的图。具体实施方式本专利技术提供一种无规共聚物，其特征在于，其为聚合性单体(a1)与聚合性单体(a2)的无规共聚物，并且，重均分子量(Mw)与数均分子量(Mn)的比(Mw/Mn)为1.0～1.8，所述聚合性单体(a1)具有与氟原子直接键合的碳原子的数目为1～6的氟化烷基和聚合性不饱和基团，所述聚合性单体(a2)具有桥环烃的骨架和聚合性不饱和基团。作为前述具有与氟原子直接键合的碳原子的数目为1～6的氟化烷基和聚合性不饱和基团的聚合性单体(a1)，只要为分子中具有前述氟化烷基和聚合性不饱和基团的化合物，就可以没有特别限制地使用。此处，与氟原子直接键合的碳原子的数目为1～6的氟化烷基是与氟原子直接键合的碳原子的数目为1～6的全氟烷基或使氢原子的一部分为氟原子的部分氟化烷基。这些氟化烷基中，从得到的聚合物的作为表面活性剂的效果高的方面出发，全氟烷基是优选的。进而，与氟原子直接键合的碳原子的数目越多越优选，与氟原子直接键合的碳原子的数目特别优选为4～6。作为前述聚合性单体(a1)所具有的聚合性不饱和基团，例如可列举出(甲基)丙烯酰基、乙烯基、马来酰亚胺基等。这些当中，从容易获得原料的方面、在使用得到的无规共聚物制造抗蚀剂组合物、涂布组合物时容易控制无规共聚物与组合物中的配混成分的相容性的方面、及聚合反应性良好的方面出发，优选(甲基)丙烯酰基。作为具有该(甲基)丙烯酰基的具体例，例如，优选可例示出下述通式(1)所示的单体。另外，前述聚合性单体(a1)可以仅使用1种，也可以组合使用2种以上。〔上述通式(1)中，R1表示氢原子、氟原子、甲基、氰基、苯基、苄基或-CnH2n-Rf’(n表示1～8的整数，Rf’表示下述式(Rf-1)～(Rf-4)中的任一基团。)，X表示下述式(X-1)～(X-10)中的任一基团，Rf表示下述式(Rf-1)～(Rf-4)中的任一基团。〕-OCnH2n-(X-1)-OCH2CH2OCH2-(X-2)〔上述式(X-1)、(X-3)、(X-4)、(X-5)、(X-6)及(X-7)中本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种无规共聚物，其特征在于，其为聚合性单体(a1)与聚合性单体(a2)的无规共聚物，并且，重均分子量(Mw)与数均分子量(Mn)的比(Mw/Mn)为1.0～1.8，所述聚合性单体(a1)具有与氟原子直接键合的碳原子的数目为1～6的氟化烷基和聚合性不饱和基团，所述聚合性单体(a2)具有桥环烃的骨架和聚合性不饱和基团。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.02.23 JP 2016-0320561.一种无规共聚物，其特征在于，其为聚合性单体(a1)与聚合性单体(a2)的无规共聚物，并且，重均分子量(Mw)与数均分子量(Mn)的比(Mw/Mn)为1.0～1.8，所述聚合性单体(a1)具有与氟原子直接键合的碳原子的数目为1～6的氟化烷基和聚合性不饱和基团，所述聚合性单体(a2)具有桥环烃的骨架和聚合性不饱和基团。2.根据权利要求1所述的无规共聚物，其中，所述聚合性单体(a2)所具有的桥环烃的骨架为金刚烷环、二环戊烷环、二环戊烯环、降冰片烷环或降冰片烯环。3.根据权利要求1所述的无规共聚物，其中，所述聚合性单体(a2)所具有的桥环烃的骨架为金刚烷环。4.根据权利要求1所述的无规共聚物，其中，所述聚合性单体(a1)为下述通式(1)所示的单体，上述通式(1)中，R1表示氢原子、氟原子、甲基、氰基、苯基、苄基或-CnH2n-Rf’；n表示1～8的整数，Rf’表示下述式(Rf-1)～(Rf-4)中的任一基团；X表示下述式(X-1)～(X-10)中的任一基团；Rf表示下述式(Rf-1)～(Rf-4)中的任一基团，-OCnH2n-(X-1)-OCH2CH2OCH2-(X-2)上述式(X-1)、(X-3)、(X-4)、(X-5)、(X-6)及(X-7)中的n表示1～8的整数；上述式(X-8)、(X-9)及(X-10)中的m表示1～8的整数，n表示0～8的整数；上述式(X-6)及(X-7)中的Rf”表示下述式(Rf-1)～(Rf-4)中的任一基团，-CnF2n+1(Rf-1)-CnF2nH(Rf-2)-CnF2n-1(Rf-3)-CnF2n-3(Rf-4)上述式(Rf-1)及(Rf-2)中的n表示1～6的整数；上述式(Rf-3)中的n表示2～6的整数；上述式(Rf-4)中的n表示4～6的整数。5.根据权利要求1所述的无规共聚物，其重均分子量(Mw)与数均分子量(Mn)的比(Mw/Mn)为1.0～1.5。6.一种抗蚀剂组合物，其特征在于，含有权利要求1～5中任一项所述的无规共聚物(A)、着色剂(B)、碱可溶性树脂(C)及聚合性化合物(D)。7.根据权利要求6所述的抗蚀剂组合物，其中，所述着色剂(B)为选自由C.I.颜料红177、C.I.颜料红207、C.I.颜料红254、C.I.颜料绿7、C.I.颜料绿36、C.I.颜料绿58、C.I.颜料绿59、C.I.颜料黄83、C.I.颜料黄93、C.I.颜料黄109、C.I.颜料黄110、C.I.颜料黄129、C.I.颜料黄138、C.I.颜料黄139、C.I....
【专利技术属性】
技术研发人员：清水良平，坂本圭亮，笹本慎，高野启，
申请(专利权)人：DIC株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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