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无规共聚物、抗蚀剂组合物、滤色器及无规共聚物的制造方法技术
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文档序号:19267893
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提供可获得能得到平滑的彩色抗蚀剂层、能够抑制该彩色抗蚀剂层中的源自颜料等着色剂的异物的产生、而且显影性优异的抗蚀剂组合物的无规共聚物(氟系表面活性剂)、使用其的抗蚀剂组合物、滤色器。具体而言,提供无规共聚物、使用其的抗蚀剂组合物、滤色器,所...
该专利属于DIC株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过DIC株式会社授权不得商用。
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