一种无尘室夹基片用的镊子制造技术

本发明专利技术公开了一种无尘室夹基片用的镊子,包括固定臂，固定臂下端连接有第一夹板，第一夹板末端边缘连接有第一胶条；固定臂上部连接有相互平行且垂直于的固定臂的第一导柱和第二导柱，第一导柱和第二导柱连接有活动臂，活动臂下端连接有第二夹板，第二夹板末端边缘连接有第二胶条；第一导柱外圈连接有第一弹簧，第二导柱外圈连接有第二弹簧；第一导柱靠近活动臂的末端连接有第一固定块，第二导柱靠近活动臂的末端连接有第二固定块。本发明专利技术具有夹持尺寸变化幅度较大的基片侧边时不需要更换镊子，不会发生崩边、污染基片表面的特点。

A tweezers for dust free chamber clamping substrates

The invention discloses a pair of tweezers for a dust-free chamber sandwich substrate, including a fixed arm, a first splint is connected at the lower end of the fixed arm, a first adhesive strip is connected at the end of the first splint, a first guide post and a second guide post are connected at the upper part of the fixed arm, and a movable arm is connected with the first guide post and the second guide post. The lower end of the movable arm is connected with a second splint, and the end edge of the second splint is connected with a second rubber strip; the outer ring of the first guide post is connected with a first spring, and the outer ring of the second guide post is connected with a second spring; the first guide post is connected with a first fixed block near the end of the movable arm, and the second guide post is connected with a second fixed block near the end of the movable arm. . The invention has the characteristics of no need to replace tweezers when clamping the side edge of substrate with large variation of size, and no edge collapse and surface pollution occur.

【技术实现步骤摘要】
一种无尘室夹基片用的镊子
本专利技术涉及一种无尘室夹基片用的镊子。
技术介绍
在无尘室中进行微电子器件、MEMS器件等研发时经常使用镊子夹持基片。目前，无尘室夹基片用的镊子是靠镊子臂的旋转运动夹紧基片的，夹持方法有夹持基片的上下表面和夹持基片的侧边两种。夹持基片上下表面的方法，因为两个夹臂之间夹角较小可以对不同尺寸的基片进行牢固的夹持，但是由于镊子与基片上表面直接接触容易造成基片表面的污染或划伤。夹持基片侧边的方法，可以避免基片表面因镊子的直接接触而污染或划伤，但是存在以下两个问题：一方面，对于尺寸差异较大的基片需要更换不同尺寸的镊子，否则容易出现两个夹臂之间夹角过大，镊子臂与基片侧边接触面积较小，造成基片滑落；另一方面，即使使用合适尺寸的镊子，如果操作不当，夹持压力过大时仍会给基片侧边的尖锐棱边造成较大的局部应力而发生基片崩边，基片崩边产生的碎屑会污染基片上表面。因此现有的无尘室夹基片用的镊子存在夹持尺寸变化幅度较大的基片侧边时需要更换镊子和操作不当会发生崩边、污染基片表面的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种无尘室夹基片用的镊子。本专利技术具有夹持尺寸变化幅度较大的基片侧边时不需要更换镊子，不会发生崩边、污染基片表面的特点。本专利技术的技术方案：一种无尘室夹基片用的镊子，包括固定臂，固定臂下端连接有第一夹板，第一夹板末端边缘连接有第一胶条；固定臂上部连接有相互平行且垂直于的固定臂的第一导柱和第二导柱，第一导柱和第二导柱连接有活动臂，活动臂下端连接有第二夹板，第二夹板末端边缘连接有第二胶条；第一导柱外圈设有第一弹簧，第二导柱外圈设有第二弹簧；第一导柱靠近活动臂的末端连接有第一固定块，第二导柱靠近活动臂的末端连接有第二固定块。前述的无尘室夹基片用的镊子中，所述第一固定块，与第一导柱采用螺纹连接。前述的无尘室夹基片用的镊子中，所述第二固定块，与第二导柱采用螺纹连接。与现有技术相比，本专利技术通过采用相互平行的第一导柱和第二导柱使活动臂无法发生旋转运动而只能平移运动，因此镊子给基片侧边的压力与基片侧边垂直，从而避免基片滑落；另外，本专利技术通过在第一夹板末端边缘设置第一胶条和在第二夹板末端边缘设置第二胶条，不仅可以增大镊子和基片侧边的摩擦力从而防止基片滑落，还可以减小基片侧边的局部应力从而防止基片崩边。本专利技术具有夹持尺寸变化幅度较大的基片侧边时不需要更换镊子，不会发生崩边、污染基片表面的特点。附图说明图1是本专利技术的结构示意图；图2是本专利技术使用方法示意图。附图中的标记为：1-固定臂，2-第一夹板，3-第一胶条，4-第一导柱，5-第二导柱，6-第一弹簧，7-第二弹簧，8-活动臂，9-第二夹板，10-第二胶条，11-第一固定块，12-第二固定块，13-基片。具体实施方式下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步的说明，但并不作为对本专利技术限制的依据。实施例。一种无尘室夹基片用的镊子，构成如图1-2所示，包括固定臂1，固定臂1下端连接有第一夹板2，第一夹板2末端边缘连接有第一胶条3；固定臂1上部连接有相互平行且垂直于的固定臂1的第一导柱4和第二导柱5，第一导柱4和第二导柱5连接有活动臂8，活动臂8下端连接有第二夹板9，第二夹板9末端边缘连接有第二胶条10；第一导柱4外圈连接有第一弹簧6，第二导柱5外圈连接有第二弹簧7；第一导柱4靠近活动臂8的末端连接有第一固定块11，第二导柱5靠近活动臂8的末端连接有第二固定块12。所述第一固定块11，与第一导柱4采用螺纹连接。所述第二固定块12，与第二导柱5采用螺纹连接。本专利技术是通过采用相互平行的第一导柱4和第二导柱5使活动臂无法发生旋转运动而只能平移运动，因此夹持尺寸不同的基片时，镊子给基片13侧边的压力始终与基片13侧边垂直，从而避免基片13滑落；其次，本专利技术通过在第一夹板2末端边缘设置第一胶条3和在第二夹板9末端边缘设置第二胶条10，不仅可以增大镊子和基片13侧边的摩擦力从而防止基片13滑落，还可以减小基片13侧边的局部应力从而防止基片13崩边。本专利技术在夹取基片13时固定臂1和活动臂8分别位于基片13两侧且与基片13的上下表面垂直，通过按压活动臂8使基片13的两侧面分别与第一胶条3和第二胶条10平行且紧密接触(参考图2)，第一夹板2和第二夹板9相比固定臂1和活动臂8宽度增加，使基片13与镊子有较大的接触面积而防止基片13滑落。松开活动臂8之后，活动臂8会在第一弹簧6和第二弹簧7的推动下离开固定臂1，最终被第一固定块11和第二固定块12阻挡而停止。由于第一弹簧6和第二弹簧7可以在较大长度变化范围内发生弹性变形，本专利技术可以夹持尺寸变化幅度较大的基片13。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种无尘室夹基片用的镊子，其特征在于：包括固定臂(1)，固定臂(1)下端连接有第一夹板(2)，第一夹板(2)末端边缘连接有第一胶条(3)；固定臂(1)上部连接有相互平行且垂直于的固定臂(1)的第一导柱(4)和第二导柱(5)，第一导柱(4)和第二导柱(5)连接有活动臂(8)，活动臂(8)下端连接有第二夹板(9)，第二夹板(9)末端边缘连接有第二胶条(10)；第一导柱(4)外圈设有第一弹簧(6)，第二导柱(5)外圈设有第二弹簧(7)；第一导柱(4)靠近活动臂(8)的末端连接有第一固定块(11)，第二导柱(5)靠近活动臂(8)的末端连接有第二固定块(12)。

【技术特征摘要】
1.一种无尘室夹基片用的镊子，其特征在于：包括固定臂(1)，固定臂(1)下端连接有第一夹板(2)，第一夹板(2)末端边缘连接有第一胶条(3)；固定臂(1)上部连接有相互平行且垂直于的固定臂(1)的第一导柱(4)和第二导柱(5)，第一导柱(4)和第二导柱(5)连接有活动臂(8)，活动臂(8)下端连接有第二夹板(9)，第二夹板(9)末端边缘连接有第二胶条(10)；第一导柱(4)外圈设有第一弹簧...

【专利技术属性】
技术研发人员：林峰，
申请(专利权)人：湖州正鸣塑胶科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33