The utility model relates to the field of evaporation technology, in which a precise mask plate component for steam plating is disclosed, including a mask plate frame and a mask unit arranged on a mask plate frame. The mask unit includes a support strip and a mask substrate arranged above the supporting strip. The support bar is a magnetic strip with magnetic force. The utility model is applied to the utility model. The support bar in the type not only plays a supporting role, but also absorbs the mask substrate so as to alleviate the wrinkle of the mask substrate before fitting with the glass substrate. When the magnetic components of the evaporation system fall down, the mask substrate can be closer together with the glass base plate so as to avoid the color mixing. The thickness of evaporating film forming material is uneven.
【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀用精密掩膜板组件
本技术涉及蒸镀
,尤其涉及一种蒸镀用精密掩膜板组件。
技术介绍
OLED器件的制备通常采用的真空蒸镀法,蒸镀工艺的稳定性对成膜质量的好坏有着很大的影响。为了实现彩色化显示,在蒸镀工艺中要分别蒸镀红、绿、蓝三基色对应的材料,常用的方法为掩膜法,即在衬底基板的前面设置一层很薄的金属掩膜板,只在金属掩膜板的开口处蒸镀红、绿、蓝三基色对应的有机材料。而用来蒸镀红、绿、蓝三基色对应的有机材料的位置(也即像素电极的位置)已经被精确的定义了出来,所以在蒸镀工艺中金属掩膜板的开口就要和像素电极位置对应,不允许有超出误差范围之内的偏移,且掩模基板与衬底基板要贴合无间隙,否则将会出现两种发光材料重合在一起的情况,发生混色。当金属掩膜板存在皱褶的情况下与玻璃基板贴合时,由于受到掩膜基板自身的内应力和外界支撑条的影响,使得皱褶情况无法缓解,在有间隙的情况下蒸镀有机发光材料,发光材料不会按照设计好的方式沉积,从而导致色偏,严重时出现混色等不良产品。
技术实现思路
针对上述技术问题,本技术提供了一种实现掩膜基板与玻璃基板紧密贴合在一起,避免混色、蒸镀成膜材料厚度不均等蒸镀不良情况发生的蒸镀用精密掩膜板组件。为了解决上述技术问题,本技术提供的具体方案如下:一种蒸镀用精密掩膜板组件,包括掩膜板框架和设置在掩膜板框架上的掩膜单元,所述掩膜单元包括支撑条和设置在支撑条上方的掩膜基板,所述支撑条是具有磁力的磁条。优选的,所述掩膜基板的数量为N,所述N为大于1的正整数,实际蒸镀过程中,可根据需要设定掩膜基板的数量,提高生产效率。优选的,所述掩膜单元还包括设置在支撑条下方的 ...
【技术保护点】
一种蒸镀用精密掩膜板组件,包括掩膜板框架(1)和设置在掩膜板框架(1)上的掩膜单元,其特征在于:所述掩膜单元包括支撑条(2)和设置在支撑条(2)上方的掩膜基板(3),所述支撑条(2)是具有磁力的磁条。
【技术特征摘要】
1.一种蒸镀用精密掩膜板组件,包括掩膜板框架(1)和设置在掩膜板框架(1)上的掩膜单元,其特征在于:所述掩膜单元包括支撑条(2)和设置在支撑条(2)上方的掩膜基板(3),所述支撑条(2)是具有磁力的磁条。2.根据权利要求1所述的蒸镀用精密掩膜板组件,其特征在于:所述掩膜基板(3)的数量为N,所述N为大于1的正整数。3.根据权利要求2所述的蒸镀用精密掩膜板组件,其特征在于:所述掩...
【专利技术属性】
技术研发人员:周扬川,柯贤军,吴俊雄,王红英,陈聪,苏君海,李建华,
申请(专利权)人:信利惠州智能显示有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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