A hollow silicon core holder production method, belonging to the clamping mechanism of lapping silicon core, comprises a connecting seat (5) and a vertical silicon core pipe (3) of the fixing mechanism, the connecting seat (5) is provided with a vertical silicon core pipe (3) on the upper surface of the fixing mechanism. The vertical silicon core pipe (3) fixing mechanism for vertical silicon core pipe (3) at the lower end of the inner hole of the fixed; or vertical silicon core pipe (3) at the lower end of the external fixation; or vertical silicon core pipe (3) at the lower end of the inner hole and the vertical silicon core pipe (3) of the outer surface of the fixing; the invention of the plug rod through a connecting seat on the hollow silicon core fixed or connected by the sleeve seat on the hollow silicon core is fixed, can also pass through the inserting rod and the casing of the hollow silicon core is fixed on the lower end, the invention has the advantages of simple structure, especially suitable for hollow silicon core fixed structure.
【技术实现步骤摘要】
一种空心硅芯的夹持座的生产方法
本专利技术属于硅芯的搭接中的夹持机构,尤其是涉及一种空心硅芯的夹持座生产方法。
技术介绍
已知的,在西门子法生产多晶硅的过程中硅芯搭接技术是一项非常重要的技术,它主要应用于多晶硅生产的一个环节、即还原反应过程。所述的还原反应过程的原理是:还原反应是在一个密闭的还原炉中进行的,在装炉前先在还原炉内用硅芯搭接成若干个闭合回路,也就是行话中的“搭桥”;每个闭合回路都由两根竖硅芯和一根横硅芯形成“∏”字形结构;每一个闭合回路的两个竖硅芯分别接在炉底上的两个电极上,两个电极分别接直流电源的正负极,然后对硅芯进行加热,加热中一组搭接好的硅芯相当于一个大电阻,然后向密闭的还原炉内通入氢气和三氯氢硅,开始进行还原反应;这样,所需的多晶硅就会在硅芯表面生成。以上所述就是硅芯及其搭接技术在多晶硅生产中的应用。在现有的西门子法生产多晶硅的过程中,由于所使用的硅芯直径通常为φ8mm左右的实心硅芯或经过线切割形成的方硅芯,搭接好的硅芯在正常还原反应过程中,生成的硅不断沉积在硅芯表面,硅芯的表面积也越来越大,反应气体分子对沉积面(硅芯表面)的碰撞机会和数量也随之增大,当单位面积的沉积速率不变时,表面积愈大则沉积的多晶硅量也愈多;因此在多晶硅生长时,还原反应时间越长,硅芯的直径越大,多晶硅的生长效率也越高,这样不仅可以大大提高生产效率,同时也降低了生产成本;但是现有的实心硅芯或方硅芯在还原中,都无法很好的克服由于搭接“实心硅芯或方硅芯”的硅芯强度较低,由此导致还原过程中所产生的硅芯倒伏现象,给生产带来不必要的麻烦和成本的增加;硅芯所述的倒伏现象是指硅芯在 ...
【技术保护点】
一种空心硅芯的夹持座生产方法,其特征是 :包括连接座 (5) 和竖硅芯管 (3) 的固定机构,在 连接座 (5) 的上部面上设有竖硅芯管 (3) 的固定机构,所述竖硅芯管 (3) 的固定机构为竖 硅芯管(3)的下端内孔固定 ;或竖硅芯管(3)的下端外部固定 ;或竖硅芯管(3)的下端内孔 及其竖硅芯管 (3) 的外缘面同时固定。
【技术特征摘要】
1.一种空心硅芯的夹持座生产方法,其特征是:包括连接座(5)和竖硅芯管(3)的固定机构,在连接座(5)的上部面上设有竖硅芯管(3)的固定机构,所述竖硅芯管(3)的固定机构为竖硅芯管(3)的下端内孔固定;或竖硅芯管(3)的下端外部固定;或竖硅芯管(3)的下端内孔及其竖硅芯管(3)的外缘面同时固定。2.根据权利要求1所述的一种空心硅芯的夹持座生产方法,其特征是:所述竖硅芯管(3)的下端内孔固定为在连接座(5)的上部设置插杆(4),所述插杆(4)与竖硅芯管(3)的下端内孔插接。3.根据权利要求2所述的一种空心硅芯的夹持座生产方法,其特征是:所述插杆(4)的外缘面与竖硅芯管(3)的下端内孔紧密配合。4.根据权利要求1所述的一种空心硅芯的夹持座生产方法,其特征是:在插杆(4)的上端...
【专利技术属性】
技术研发人员:李质玉,
申请(专利权)人:合肥果成科技有限公司,
类型:发明
国别省市:安徽,34
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