加热型离子注入机安全互锁装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种加热型离子注入机安全互锁装置，其包括电流互感器、控制器和加热灯；所述控制器与加热灯连接，用于控制加热灯的开关状态；电流互感器的一次侧与靶盘马达供电回路耦合，用于获取靶盘马达供电回路上的电流，二次侧与控制器连接；电流互感器一次侧的电流信号低于一阈值电流时，所述控制器控制所述加热灯处于关闭状态。本发明专利技术提供的加热型离子注入机安全互锁装置，基于靶盘马达的供电回路中电流的大小，来控制加热灯是否通电，有效防止了因靶盘通讯故障导致的硬件损坏问题，对离子注入机本身和其处理的硅片都起到了很好的保护作用。

【技术实现步骤摘要】
加热型离子注入机安全互锁装置
本专利技术涉及半导体
，尤其涉及一种加热型离子注入机安全互锁装置。
技术介绍
加热型离子注入机在正常工艺过程中会有偶发性的靶盘通讯故障。所述靶盘通讯故障的具体表现为：靶盘实际已停止转动，但是在控制系统上靶盘仍然显示正常转动，加热灯正常工作，束流继续注入硅片。在发生所述靶盘通讯故障后，停止转动的靶盘上的硅片会被离子束(50mA@200kev)继续轰击后融化，继而离子束会轰击到硅片固定器，造成其损坏。同时，在加热灯区域的硅片会因为加热灯的持续加热而发生形变。在现有技术中，为了解决这种故障，只能打开所述离子注入机的工艺腔体进行处理，会造成较长时间的停机及硬件损坏。因此，如何防止发生靶盘通讯故障，防止所述离子注入机的硬件损坏，是目前亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本专利技术提供一种加热型离子注入机安全互锁装置，用以防止靶盘通讯故障的发生，保护离子注入机的硬件安全。为了解决上述问题，本专利技术提供了一种加热型离子注入机安全互锁装置，包括电流互感器、控制器和加热灯；所述控制器与所述加热灯连接，用于控制所述加热灯的开关状态；所述电流互感器的一次侧与靶盘马达供电回路耦合，用于获取靶盘马达供电回路上的电流，所述电流互感器的二次侧与所述控制器连接；所述电流互感器一次侧的电流信号低于一阈值电流的情况下，所述控制器控制所述加热灯处于关闭状态。优选的，所述控制器为一开关组件；所述开关组件串联在加热灯与加热灯电源之间。优选的，所述开关组件串联至所述加热灯电源的供电接触器的线包电路上。优选的，所述开关组件为一电容器，所述电容器的两端分别连接所述电流互感器二次侧的两输出端。优选的，所述阈值电流低于靶盘马达的工作电流。优选的，所述阈值电流为4A。本专利技术提供的加热型离子注入机安全互锁装置，基于靶盘马达的供电回路中电流的大小，来控制加热灯是否通电，有效防止了因靶盘通讯故障导致的硬件损坏问题，对离子注入机本身和其处理的硅片都起到了很好的保护作用。附图说明附图1是本专利技术具体实施方式的加热型离子注入机安全互锁装置的结构示意图；附图2是本专利技术具体实施方式的加热型离子注入机安全互锁装置的电路结构图。具体实施方式下面结合附图对本专利技术提供的加热型离子注入机安全互锁装置的具体实施方式做详细说明。本具体实施方式提供了加热型离子注入机安全互锁装置，附图1是本专利技术具体实施方式的加热型离子注入机安全互锁装置的结构示意图，附图2是本专利技术具体实施方式的加热型离子注入机安全互锁装置的电路结构图。如图1-2所示，本具体实施方式提供的加热型离子注入机安全互锁装置，包括电流互感器11、控制器12和加热灯15；所述控制器12与所述加热灯15连接，用于控制所述加热灯15的开关状态；所述电流互感器11的一次侧与靶盘马达供电回路13耦合，用于获取所述靶盘马达供电回路13上的电流，所述电流互感器11的二次侧与所述控制器12连接；所述电流互感器11一次侧的电流信号低于一阈值电流的情况下，所述控制器12控制所述加热灯15处于关闭状态。当所述加热型离子注入机的靶盘因意外停止转动时，所述电流互感器11的一次侧感测到靶盘马达的供电回路的电流低于一阈值电流电流，经转换后二次侧输出电流信号至所述控制器12，所述控制器12控制所述加热灯15处于关闭状态，所述加热灯15停止工作，从而不会对硅片造成损坏。同时，由于所述加热灯15工作的信号为离子束引束的必要条件之一，当所述加热灯15停止工作后，离子束也会相应的中断，从而对所述加热型离子注入机的硬件形成了有效的保护。为了简化电路结构，优选的，所述控制器12为一开关组件；所述开关组件串联在加热灯15与加热灯电源14之间。当所述电流互感器11的一次侧获取的电流信号高于所述阈值电流时，经所述电流互感器11转换后，从所述电流互感器11的二次侧输出高电流信号至所述开关组件时，所述开关组件导通，使得所述加热灯电源14能够为所述加热灯15供电，所述加热灯处于正常工作状态；当所述电流互感器11的一次侧获取的电流信号低于所述阈值电流时，经所述电流互感器11转换后，从所述电流互感器11的二次侧输出低电流信号至所述开关组件时，所述开关组件断开，使得所述加热灯电源14不能为所述加热灯15供电，所述加热灯15处于关闭状态，保护了硅片和硬件设备的安全。为了能够更加及时的切断所述加热灯15的电源，优选的，所述开关组件串联至所述加热灯电源14的供电接触器22的线包电路上。更优选的，所述开关组件为一电容器21，所述电容器21的两端分别连接所述电流互感器11二次侧的两输出端。优选的，所述阈值电流低于靶盘马达的工作电流。更优选的，所述阈值电流为4A。这是因为，靶盘马达正常转动时的电流为5.3A左右，当所述靶盘马达供电回路13中的电流低于4A时，则可以认为所述靶盘马达停止转动，此时，所述电流互感器11的一次侧获取的电流信号低于所述阈值电流，经所述电流互感器11转换后，所述控制器12从所述电流互感器11的二次侧获取低电流信号，则所述控制器12控制所述加热灯15处于关闭状态。本专利技术提供的加热型离子注入机安全互锁装置，基于靶盘马达的供电回路中电流的大小，来控制加热灯是否通电，有效防止了因靶盘通讯故障导致的硬件损坏问题，对离子注入机本身和其处理的硅片都起到了很好的保护作用。以上所述仅是本专利技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员，在不脱离本专利技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本专利技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加热型离子注入机安全互锁装置，其特征在于，包括电流互感器、控制器和加热灯；所述控制器与所述加热灯连接，用于控制所述加热灯的开关状态；所述电流互感器的一次侧与靶盘马达供电回路耦合，用于获取靶盘马达供电回路上的电流，所述电流互感器的二次侧与所述控制器连接；所述电流互感器一次侧的电流信号低于一阈值电流的情况下，所述控制器控制所述加热灯处于关闭状态。

【技术特征摘要】
1.一种加热型离子注入机安全互锁装置，其特征在于，包括电流互感器、控制器和加热灯；所述控制器与所述加热灯连接，用于控制所述加热灯的开关状态；所述电流互感器的一次侧与靶盘马达供电回路耦合，用于获取靶盘马达供电回路上的电流，所述电流互感器的二次侧与所述控制器连接；所述电流互感器一次侧的电流信号低于一阈值电流的情况下，所述控制器控制所述加热灯处于关闭状态。2.根据权利要求1所述的加热型离子注入机安全互锁装置，其特征在于，所述控制器为一开关组件；所述开关组件串联在加热灯与加...

【专利技术属性】
技术研发人员：张俊，朱广金，
申请(专利权)人：上海新傲科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31