预倾角测定装置及预倾角测定方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供能抑制误差的预倾角测定装置及预倾角测定方法。预倾角测定装置(1)具备：透射测定投光部(2)，其向液晶基板(LC)的测定位置(M)照射偏振的测定光；透射测定受光部(3)，其接收测定光的透射光，获取透射光的偏振状态；倾斜测定投光部(41)，其向液晶基板(LC)的测定位置(M)照射倾斜检测用光(L1)；倾斜测定受光部(43)，其接收倾斜检测用光(L1)的反射光(L2)，获取反射光(L2)的受光位置；和控制部(10)，其根据反射光(L2)的受光位置，算出液晶基板(LC)的测定位置(M)的倾角，根据测定光的照射角度、液晶基板(LC)的测定位置(M)的倾角和透射光的偏振状态，算出液晶基板(LC)中所含的液晶分子的预倾角。

Pre inclination measuring device and method for measuring inclination angle

The invention provides a pre tilt angle measuring device capable of suppressing errors and a method for measuring the inclination angle. \u9884\u503e\u89d2\u6d4b\u5b9a\u88c5\u7f6e(1)\u5177\u5907\uff1a\u900f\u5c04\u6d4b\u5b9a\u6295\u5149\u90e8(2)\uff0c\u5176\u5411\u6db2\u6676\u57fa\u677f(LC)\u7684\u6d4b\u5b9a\u4f4d\u7f6e(M)\u7167\u5c04\u504f\u632f\u7684\u6d4b\u5b9a\u5149\uff1b\u900f\u5c04\u6d4b\u5b9a\u53d7\u5149\u90e8(3)\uff0c\u5176\u63a5\u6536\u6d4b\u5b9a\u5149\u7684\u900f\u5c04\u5149\uff0c\u83b7\u53d6\u900f\u5c04\u5149\u7684\u504f\u632f\u72b6\u6001\uff1b\u503e\u659c\u6d4b\u5b9a\u6295\u5149\u90e8(41)\uff0c\u5176\u5411\u6db2\u6676\u57fa\u677f(LC)\u7684\u6d4b\u5b9a\u4f4d\u7f6e(M)\u7167\u5c04\u503e\u659c\u68c0\u6d4b\u7528\u5149(L1)\uff1b\u503e\u659c\u6d4b\u5b9a\u53d7\u5149\u90e8(43)\uff0c\u5176\u63a5\u6536\u503e\u659c\u68c0\u6d4b\u7528\u5149(L1)\u7684\u53cd\u5c04\u5149(L2)\uff0c\u83b7\u53d6\u53cd\u5c04\u5149(L2)\u7684\u53d7\u5149\u4f4d\u7f6e\uff1b\u548c\u63a7\u5236\u90e8(10)\uff0c\u5176\u6839\u636e\u53cd\u5c04\u5149(L2)\u7684\u53d7\u5149\u4f4d\u7f6e\uff0c\u7b97\u51fa\u6db2\u6676\u57fa\u677f(LC)\u7684\u6d4b\u5b9a\u4f4d\u7f6e(M)\u7684\u503e\u89d2\uff0c\u6839\u636e\u6d4b\u5b9a\u5149\u7684\u7167\u5c04\u89d2\u5ea6\u3001\u6db2\u6676\u57fa\u677f(LC)\u7684\u6d4b\u5b9a\u4f4d\u7f6e(M)\u7684\u503e\u89d2\u548c\u900f\u5c04\u5149\u7684\u504f\u632f\u72b6\u6001\uff0c\u7b97\u51fa\u6db2\u6676\u57fa\u677f(LC)\u4e2d\u6240\u542b\u7684\u6db2\u6676\u5206\u5b50\u7684\u9884\u503e\u89d2\u3002

【技术实现步骤摘要】
预倾角测定装置及预倾角测定方法
本专利技术涉及一种预倾角测定装置及预倾角测定方法，尤其是涉及一种液晶基板所含的液晶分子的预倾角的测定。
技术介绍
在日本特开2001‐356072号公报中，公开一种以下的技术：检测以多个入射角透射液晶单元的光的透光强度，根据多个入射角所对应的表观上的延迟，检测出液晶单元的预倾角。
技术实现思路
本专利技术要解决的问题在上述技术中，由于使用透射光学系统，因此需要在液晶基板的下方照射光或者接收光。对此，首先考虑使用玻璃等透明部件构成支撑液晶基板下面整体的基座。然而，在该情况下，由于光在透明部件的内部发生折射，因此会使光轴产生偏离，而导致发生误差的问题。另外，若在透明部件的内部产生因应力造成的应变，则会存在扰乱光的偏振状态而产生误差的问题。对此，为了排除这样的透明部件造成的影响，因此还考虑在隔开间隔排列的多个棒部上载置液晶基板，通过棒部的间隙照射光或者接收光。然而，在棒部的间隙处，液晶基板会因自重产生变形，而有可能导致用于计算的光的入射角度与实际的入射角度产生偏离，而产生误差。这样的问题在发展液晶基板的大型化、薄型化的近年变得更显著。本专利技术是鉴于上述问题而作出的，其目的在于提供一种能够抑制误差的预倾角测定装置及预倾角测定方法。用于解决问题的手段为了解决上述问题，本专利技术的预倾角测定装置具备：第一投光部，其向液晶基板的测定位置照射偏振的测定光；第一受光部，其接收所述测定光的透射光，获取所述透射光的偏振状态；第二投光部，其向所述液晶基板的所述测定位置照射倾斜检测用光；第二受光部，其接收所述倾斜检测用光的反射光，获取所述反射光的受光位置；倾角计算部，其根据所述反射光的受光位置，算出所述液晶基板的所述测定位置的倾角；以及预倾角计算部，其根据所述测定光的照射角度、所述液晶基板的所述测定位置的倾角和所述透射光的偏振状态，算出所述液晶基板中所含的液晶分子的预倾角。另外，本专利技术的预倾角测定方法为：向液晶基板的测定位置照射偏振的测定光；接收所述测定光的透射光，获取所述透射光的偏振状态；向所述液晶基板的所述测定位置照射倾斜检测用光；接收所述倾斜检测用光的反射光，获取所述反射光的受光位置；根据所述反射光的受光位置，算出所述液晶基板的所述测定位置的倾角；以及根据所述测定光的照射角度、所述液晶基板的所述测定位置的倾角和所述透射光的偏振状态，算出所述液晶基板中所含的液晶分子的预倾角。另外，也可以进一步具备：反射镜，其向所述液晶基板反射来自所述第二投光部的所述倾斜检测用光，向所述第二受光部反射来自所述液晶基板的所述反射光。另外，也可以使所述第二受光部在至所述液晶基板的距离不同的多个位置处接收所述反射光，所述倾角计算部根据在所述多个位置的各位置处接收到的所述反射光的受光位置，算出所述液晶基板的所述测定位置的倾角。另外，也可以使所述第二受光部在相对于所述液晶基板的角度不同的多个位置处接收所述反射光，所述倾角计算部根据在所述各位置处接收到的所述反射光的受光位置，算出所述液晶基板的所述测定位置的倾角。另外，也可以使所述第一投光部和所述第一受光部以通过所述测定位置的垂直线为中心而可旋转地被加以支撑。另外，也可以使所述第二投光部和所述第二受光部与所述第一投光部和所述第一受光部一同被支撑为能以通过所述测定位置的垂直线为中心旋转，并且使其在包含所述第一投光部、所述第一受光部和所述测定位置的面内，照射所述倾斜检测用光并且接收所述反射光。另外，也可以进一步具备相交角度获取部：其获取包含所述第一投光部、所述第一受光部和所述测定位置的第一面与包含所述第二投光部、所述第二受光部和所述测定位置的第二面的相交角度，所述倾角计算部根据所述相交角度，算出所述第一面内的所述液晶基板的所述测定位置的倾角。专利技术效果根据本专利技术，利用液晶基板的测定位置的倾角算出预倾角，因此能够抑制误差。附图说明图1是表示是本专利技术实施方式的预倾角测定装置的第一例的示意结构图。图2是用于说明图1的倾斜测定光学系统的光路的说明图。图3是用于说明第二受光部的受光面的说明图。图4是表示本专利技术实施方式的预倾角测定方法的第一例的动作流程图。图5是表示本专利技术实施方式的预倾角测定装置的第二例的示意结构图。图6是表示本专利技术实施方式的预倾角测定方法的第二例的动作流程图。图7是表示本专利技术实施方式的预倾角测定装置的第三例的示意结构图。图8是表示本专利技术实施方式的预倾角测定方法的第三例的动作流程图。图9是表示本专利技术实施方式的预倾角测定装置的第四例的示意结构图。图10是表示本专利技术实施方式的预倾角测定装置的第五例的示意结构图。图11是表示使透射测定光学系统从图10的状态旋转90度的状态的示意结构图。图12是用于说明透射测定面与倾斜测定面所形成的角度的说明图。具体实施方式参照附图说明本专利技术的实施方式。[第一例]图1是表示本专利技术实施方式的预倾角测定装置1的第一例的示意结构图。预倾角测定装置1是对作为测定对象的、液晶基板LC中所含的液晶分子的预倾角进行测定的装置。预倾角是指基板厚度方向的液晶分子的倾角。测定对象的液晶基板LC载置于隔开间隔排列的多个棒部8上。棒部8也可以设置有与液晶基板LC的下表面接触的多个滚珠轴承。液晶基板LC例如为要切割出多个液晶面板前的、包含多个面板区域的大型基板。但不限于此，也可以使切割出的一个液晶面板作为测定对象。在本说明书的说明和附图中，设定水平面内中的多个棒部8的排列方向为X方向，多个棒部8的延伸方向为Y方向。另外，设定垂直方向为Z方向。预倾角测定装置1具备作为透射测定光学系统的透射测定投光部2和透射测定受光部3。透射测定投光部2为第一投光部的一例，其向液晶基板LC的测定位置M照射已偏振的测定光。透射测定受光部3为第一受光部的一例，其接收测定光的透射光，获取透射光的偏振状态。透射测定投光部2具备：光源21，其生成测定光；透镜23，将从光源21通过光纤供给的测定光转换为平行光；以及偏振元件25，将通过透镜23转换为平行光的测定光以直线偏振的方式进行偏振。作为光源21，例如优选在宽波长范围内输出特性平坦的白色光源。偏振元件25例如相对于从透射测定投光部2照射的测定光与由透射测定受光部3接收的透射光的光路形成的面(以下，称为透射测定面)，生成45度的直线偏振。透射测定受光部3具备：旋转检偏元件31；透镜33，其对通过旋转检偏元件31的透射光聚光；以及检测器35，其检测出由透镜33聚光且通过光纤供给的透射光的强度。在预倾角测定中，旋转检偏元件31与偏振元件25设定为正交尼科耳的状态。例如，当偏振元件25相对于透射测定面设定为45度时，则旋转检偏元件31相对于透射测定面设定为135度。检测器35例如也可以为分光器。透射测定投光部2与透射测定受光部3被支撑为能在透射测定面中沿着以测定位置M为中心的圆周方向移动，而不改变测定光的照射角度与透射光的受光角度。透射测定面为包含透射测定投光部2、透射测定受光部3和测定位置M的面。在图1的例中，透射测定投光部2与透射测定受光部3被支撑为能在XZ面中沿着以测定位置M为中心的圆周方向移动，在XZ面中不改变测定光的照射角度与透射光的受光角度。在预倾角测定中，包含透射测定投光部2、透射测定受光部3和测定位置M的透射测定面，被设定为使测定对象的液晶基板LC本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种预倾角测定装置，其特征在于，具备：第一投光部，其向液晶基板的测定位置照射已偏振的测定光；第一受光部，其接收所述测定光的透射光，获取所述透射光的偏振状态；第二投光部，其向所述液晶基板的所述测定位置照射倾斜检测用光；第二受光部，其接收所述倾斜检测用光的反射光，获取所述反射光的受光位置；倾角计算部，其根据所述反射光的受光位置，算出所述液晶基板的所述测定位置的倾角；以及预倾角计算部，其根据所述测定光的照射角度、所述液晶基板的所述测定位置的倾角和所述透射光的偏振状态，算出所述液晶基板中所含的液晶分子的预倾角。

【技术特征摘要】
2015.12.25 JP 2015-2548521.一种预倾角测定装置，其特征在于，具备：第一投光部，其向液晶基板的测定位置照射已偏振的测定光；第一受光部，其接收所述测定光的透射光，获取所述透射光的偏振状态；第二投光部，其向所述液晶基板的所述测定位置照射倾斜检测用光；第二受光部，其接收所述倾斜检测用光的反射光，获取所述反射光的受光位置；倾角计算部，其根据所述反射光的受光位置，算出所述液晶基板的所述测定位置的倾角；以及预倾角计算部，其根据所述测定光的照射角度、所述液晶基板的所述测定位置的倾角和所述透射光的偏振状态，算出所述液晶基板中所含的液晶分子的预倾角。2.根据权利要求1所述的预倾角测定装置，其特征在于，还具备：反射镜，其向所述液晶基板反射来自所述第二投光部的所述倾斜检测用光，向所述第二受光部反射来自所述液晶基板的所述反射光。3.根据权利要求1所述的预倾角测定装置，其特征在于，所述第二受光部在至所述液晶基板的距离不同的多个位置处接收所述反射光，所述倾角计算部根据在所述多个位置的各位置处接收到的所述反射光的受光位置，算出所述液晶基板的所述测定位置的倾角。4.根据权利要求1所述的预倾角测定装置，其特征在于，所述第二受光部在相对于所述液晶基板的角度不同的多个位置处接收所述反射光，所述倾角计算部根据在所述多个位置的各位置处接收到的所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：杉田一宏，稻野大辅，今坂真子，
申请(专利权)人：大塚电子株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP