The testing system of MEMS inertial switch with adjustable threshold includes signal input system, including impact block, impact bar and buffer device. The impact bar provides a monotonic increase in speed, and the kinetic energy is converted to the elastic potential of the air spring in the cushion device. The buffer device provides an acceleration signal input that is monotonically increased first and then monotonically decreased. The output signal of the system, including test circuit, galvanometer and oscilloscope. The test circuit includes a MEMS inertial switch. The test circuit uses the self-locking function of the inertia switch to realize the output of the signal. Galvanometer and oscilloscope is to output signal measuring circuit. Make up for the vacancy of MEMS inertial switch test system in china.
【技术实现步骤摘要】
阈值可调MEMS惯性开关的测试系统
本专利技术属于MEMS的微机械领域,为MEMS惯性开关的测试系统。涉及到MEMS加工技术。
技术介绍
在国防现代化的进程中,武器朝着小型化、智能化发展,这促进了引信的发展。为了满足引信小型化的需求,基于电容器的原理,集成传感器和执行器功能的惯性开关被提出。电容式开关无论作为一种传感器还是执行器,其相应的测试方法和设备已经被提出。然而,集成后的惯性开关却没有相应的测试方法和设备。为推动国防的现代化和产业的批量化,该测试系统被首次提出。
技术实现思路
本专利技术是设计阈值可调MEMS惯性开关的测试系统,测试系统模拟MEMS惯性开关受到的惯性力,并获取MEMS惯性开关的输出信号。采用的技术方案是。本专利技术的技术方案是在MEMS惯性开关结构的基础上建立测试系统即信号的输入系统和信号的输出系统。信号的输入系统,包括冲击滑块、冲击杆和缓冲装置。冲击杆可为钢制。冲击杆提供单调递增的速度,实现动能转化为缓冲装置中空气弹簧的弹性势能。缓冲装置提供先单调递增后单调递减的加速度信号输入。加速度传感器识别加速度信号,并为校准提供参考。信号的输出系统,包括测试电路、检流计和示波器。测试电路包括MEMS惯性开关。测试电路是利用惯性开关的自锁功能,实现信号的输出。检流计和示波器是为了测量测试电路的输出信号,这为验证惯性开关的设计和加工提供参考。其优点在于:将国内的微机电领域在引信上研究的概念阶段推向了实用阶段,弥补了国内对MEMS惯性开关测试系统的空缺。附图说明图1是阈值可调MEMS惯性开关的结构图。图2是阈值可调MEMS惯性开关惯性参数表。图3是惯性 ...
【技术保护点】
阈值可调MEMS惯性开关的测试系统:包括测试电路和冲击系统;其特征在于:测试电路包括MEMS惯性开关(17);MEMS惯性开关(17),包括可动电极(1)、驱动电极(2)、介质层(8)、第一下接触电极(3)、第二下接触电极(4)、上接触电极(5)和基板(6);可动电极(1)通过弹性支撑部支撑在基板(6)上方;可动电极(1)右侧通过至少一个连接梁(9)连接上连接部(24);梁(7)、可动电极(1)、连接梁(9)和上连接部(24)的下表面设有介质层(8);驱动电极(2)固定设置在基板(6)上表面,位于可动电极(1)的下方;第一下接触电极(3)和第二下接触电极(4)固定设置在基板(6)上表面,位于上接触电极(5)下方;可动电极(1)、驱动电极(2)、第一下接触电极(3)和第二下接触电极(4)引出四个引脚,分别为可动电极引脚、驱动电极引脚、第一下接触电极引脚和第二下接触电极引脚;第一下接触电极引脚连接第一直流电源(21)一端,第二下接触电极引脚通过电阻R
【技术特征摘要】
1.阈值可调MEMS惯性开关的测试系统:包括测试电路和冲击系统;其特征在于:测试电路包括MEMS惯性开关(17);MEMS惯性开关(17),包括可动电极(1)、驱动电极(2)、介质层(8)、第一下接触电极(3)、第二下接触电极(4)、上接触电极(5)和基板(6);可动电极(1)通过弹性支撑部支撑在基板(6)上方;可动电极(1)右侧通过至少一个连接梁(9)连接上连接部(24);梁(7)、可动电极(1)、连接梁(9)和上连接部(24)的下表面设有介质层(8);驱动电极(2)固定设置在基板(6)上表面,位于可动电极(1)的下方;第一下接触电极(3)和第二下接触电极(4)固定设置在基板(6)上表面,位于上接触电极(5)下方;可动电极(1)、驱动电极(2)、第一下接触电极(3)和第二下接触电极(4)引出四个引脚,分别为可动电极引脚、驱动电极引脚、第一下接触电极引脚和第二下接触电极引脚;第一下接触电极引脚连接第一直流电源(21)一端,第二下接触电极引脚通过电阻Ra连接...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘双杰,郝永平,邓炬峰,
申请(专利权)人:沈阳理工大学,
类型:发明
国别省市:辽宁,21
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。