The invention discloses a multifunctional semiconductor device and method for rapid test of electrical properties, including multifunctional sample rod, tube furnace, double terminal board and electrical properties testing instrument, three corundum core multifunctional sample rod with three rectangular pipe clamps, the three group three silver plated terminal samples with the double terminal board to be tested by silver and silver wire connection, three groups of silver plated terminal ends of double terminal board connection, the three group of silver plated terminals and the corresponding three pluggable terminal four wire connectors with silver wire connection; at the same time, the electrical properties of test instruments and four wires a four terminal lead connect plug socket, the socket can be arbitrary and three joints of a connection, the invention has the advantages of simple structure, low cost, test sample and test project handover The utility model has the advantages of high speed and convenience, and can simultaneously complete the electrical property characterization of a plurality of samples at the same temperature and atmosphere, thereby greatly shortening the test time and improving the testing efficiency.
【技术实现步骤摘要】
一种多功能半导体电学性质快速测试装置及方法
本专利技术涉及电学性质测试设备
,具体为一种多功能半导体电学性质快速测试装置及方法。
技术介绍
半导体陶瓷材料的直流电学性质表征常采用四端法,该方法利用四条导线与样品连接,连接处粘有等间距的四个电极,外侧两条导线提供恒定电流,内侧两条导线测量电压,通过欧姆定律计算得到材料的本征电阻和体电阻率;该方法的优点在于消除了测试电极与样品间的接触电阻以及导线本身的电阻对样品电阻值的影响,非常适于测试电阻值较小的半导体材料的本征电阻和电阻率。另外,通过自制样品杆,结合程序控温系统和气氛调节系统还可实现一定温度和气氛条件下的直流电学性质测试功能。半导体陶瓷材料的直流电学性质表征常采用四端法,该方法利用四根探针与样品接触,触点位置粘有等间距的四个电极,两条导线提供恒定电流,两条导线测量电压,通过欧姆定律计算得到材料的本征电阻和体电阻率。四根探针的排列方式主要有两种,一种为四根探针等间距排列成一条直线,简称线形排列;另一种为四根探针等间距排列成正方形,简称方形排列。当待测试样为片状时,两种排布方式都可适用;当待测试样为条状时,则第一种探针排列方式更为方便;该方法的优点在于降低了测试电极与样品间的接触电阻以及导线本身的电阻对样品电阻值的影响,非常适用于测试电阻值较小的半导体材料的本征电阻和电阻率。另外,通过自制样品杆,结合程序控温系统和气氛调节系统还可实现一定温度和气氛条件下的直流电学性质测试功能。半导体陶瓷材料的交流电学性质表征常采用LCR数字电桥法;LCR数字电桥法具有低阻测量、高阻屏蔽的优点。其结构特点是外侧导体可以作为 ...
【技术保护点】
一种多功能半导体电学性质快速测试装置,包括多功能样品杆、管式加热炉、双排端子接线板和电学性质测试仪表,其特征在于:所述多功能样品杆设置在管式加热炉中,所述管式加热炉中设有三孔氧化铝隔热砖,所述多功能样品杆的三根刚玉芯用三孔矩形管夹固定,并通过银线将三个待测样品与双排端子接线板的三组第一镀银端子接线柱连接,所述双排端子接线板两端的第一镀银端子接线柱和第二镀银端子接线柱通过银线连接,所述第二镀银端子接线柱分别连接三个接头,所述电学性质测试仪表的四根导线与一个可插拔四端子导线插座连接,所述可插拔四端子导线插座与三个接头当中的任意一个接头连接。
【技术特征摘要】
1.一种多功能半导体电学性质快速测试装置,包括多功能样品杆、管式加热炉、双排端子接线板和电学性质测试仪表,其特征在于:所述多功能样品杆设置在管式加热炉中,所述管式加热炉中设有三孔氧化铝隔热砖,所述多功能样品杆的三根刚玉芯用三孔矩形管夹固定,并通过银线将三个待测样品与双排端子接线板的三组第一镀银端子接线柱连接,所述双排端子接线板两端的第一镀银端子接线柱和第二镀银端子接线柱通过银线连接,所述第二镀银端子接线柱分别连接三个接头,所述电学性质测试仪表的四根导线与一个可插拔四端子导线插座连接,所述可插拔四端子导线插座与三个接头当中的任意一个接头连接。2.根据权利要求1所述的一种多功能半导体电学性质快速测试装置,其特征在于:所述多功能样品杆由四孔刚玉管、测试台、连接测试台和四孔刚玉管的连接杆构成;所述四孔刚玉管由矩形管夹固定,所述连接杆由喉箍卡固定;所述测试台包括螺丝、样品台、待测样品、成对刚玉片、可控长度螺丝组成;所述螺丝连接连接杆;所述成对刚玉片包括第一刚玉片、第二刚玉片,所述待测样品设置于样品台上,所述待测样品设置在第一刚玉片与第二刚玉片之间,所述待测样品引出的银丝穿过第二刚玉片,与四孔刚玉管引出的四根银丝相互打结,所述可控长度螺丝设置在成对刚玉片外侧。3.根据权利要求1所述的一种多功能半导体电学性质快速测试装置,其特征在于:所述管式加热炉包括程序控温管式马弗炉、钢制进气法兰、减压器以及相关气瓶和通气管路;所述钢制进气法兰固定在程序控温管式马弗炉的进气一侧,钢制进气法兰进气嘴经通气管路与气氛混合与流量控制设备连接,气氛混合与流量控制设备通过减压器与相关气瓶连接。4.根据权利要求1所述的一种多功能半导体电学性质快速测试装置,其特征在于:所述银线的直径为0.7mm;所述银线外包热缩绝缘管。5.根据权利要求1所述的一种多功能半导体电学性质快速测试装置,其特征在于:所述电学性质测试仪表包括交、直流电学性质快速切换装置,...
【专利技术属性】
技术研发人员:白一甲,马文路,王东,王宏涛,黄春明,王惠芬,
申请(专利权)人:内蒙古工业大学,
类型:发明
国别省市:内蒙古,15
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