激光装置制造方法及图纸

一种能够可靠地防止结露的激光装置。在激光装置中，在激光振荡中，向激光装置的内部供给的冷却水的温度被控制为第一规定温度范围内，并且，持续进行除湿使得维持(激光装置的内部的空气的露点)+(第一规定温度差)≤(冷却水温度)的关系。根据激光装置的内部的空气的湿度和温度，通过计算部求出该空气的露点。

【技术实现步骤摘要】
激光装置
本专利技术涉及一种激光装置。
技术介绍
由于激光装置内部的温度差或湿度等，有时在激光装置的内部发生结露。当发生结露时，可能成为发生电短路、或者引起部件的污染或腐蚀的原因。提出了以在激光装置或其它一般的电子设备中防止结露为目的的各种技术(参照日本特开2001-326410号公报、日本特开昭61-079285号公报、日本特开2003-060268号公报、日本特开2012-024778号公报、日本特开平03-252199号公报)。
技术实现思路
寻求一种能够可靠地防止结露的激光装置。根据本申请的第一专利技术，提供一种激光装置，该激光装置具备激光振荡器以及向所述激光振荡器提供驱动电流的电源部，该激光装置的特征在于，构成为从该激光装置的外部的冷却水供给装置供给冷却水以对该激光装置的内部的发热部件进行冷却，所述激光装置具备：壳体，其具备将从所述激光装置的外部向所述激光装置的内部的空气侵入流量抑制为规定的值以下的密封度；除湿器，其对所述激光装置的内部的空气进行除湿；湿度检测器，其检测所述激光装置的内部的空气的湿度；第一温度检测器，其检测所述激光装置的内部的空气的温度；第二温度检测器，其检测从所述激光装置的外部供给的冷却水的温度；计算部，其根据所述湿度检测器和所述第一温度检测器的检测结果，来计算所述激光装置的内部的空气的露点；判定部，其根据所述第二温度检测器的检测结果以及由所述计算部计算出的所述露点，判定是否满足流入开始条件或者振荡开始条件，该流入开始条件是开始向所述激光装置的内部流通所述冷却水的条件，该振荡开始条件是从所述电源部向所述激光振荡器提供驱动电流来在所述激光振荡器中开始激光振荡的条件；以及控制部，其按照所述判定部的判定结果，对设置于从所述冷却水供给装置供给的冷却水的配管的开闭阀的开闭、或者从所述电源部向所述激光振荡器的驱动电力的供给进行控制，所述控制部构成为：在所述判定部将由所述计算部计算出的所述露点与由所述第二温度检测器检测出的冷却水温度进行比较后判定为满足了(露点)+(第一规定温度差)≤(冷却水温度)的关系以及(激光振荡时的冷却水温度的下限容许温度)≤(冷却水温度)≤(激光振荡时的冷却水温度的上限容许温度)的关系这两方的关系的时间点，所述控制部打开设置于所述配管的所述开闭阀来开始向所述激光装置的内部流通冷却水，之后向所述激光振荡器提供驱动电流来开始激光振荡，在激光振荡中，所述冷却水供给装置构成为持续供给被控制为第一规定温度范围内的冷却水，该第一规定温度范围是从所述激光振荡时的冷却水温度的下限容许温度到所述激光振荡时的冷却水温度的上限容许温度的范围，并且，所述除湿器构成为持续进行除湿以维持(露点)+(第一规定温度差)≤(冷却水温度)的关系。根据本申请的第二专利技术，特征在于，所述除湿器具有超过根据将从所述激光装置的外部向所述激光装置的内部的空气侵入流量抑制为规定的值以下的壳体的密封度以及所述激光装置的容许环境条件而假定出的、从所述激光装置的外部向所述激光装置的内部侵入的每单位时间的最大水分量的除湿能力。根据本申请的第三专利技术，特征在于，所述除湿器构成为在从所述冷却水供给装置向所述激光装置的内部供给冷却水的期间内持续除湿。根据本申请的第四专利技术，特征在于，所述除湿器被控制为使所述激光装置的内部的空气的露点进入比所述第一规定温度范围低温的第二规定温度范围内，在所述露点进入所述第二规定温度范围内之后，所述除湿器被控制为使所述露点不脱离所述第二规定温度范围内。根据本申请的第五专利技术，特征在于，所述激光装置还具备对所述激光装置的内部的空气的温度进行调整的空气温度调节器，基于来自所述控制部的指令，通过所述空气温度调节器进行控制，使得由所述第一温度检测器检测的所述激光装置的内部的空气的温度进入第三规定温度范围内，该第三规定温度范围具有与所述第一规定温度范围的下限温度大致同温的下限值、或者比所述第一规定温度范围的下限温度高温的下限值，在所述激光装置的内部的空气的温度进入所述第三规定温度范围内之后，通过所述空气温度调节器进行控制，使得所述激光装置的内部的空气的温度不脱离所述第三规定温度范围内。根据本申请的第六专利技术，特征在于，所述除湿器是以下方式的除湿器：将流入到所述除湿器的空气冷却到露点温度以下，使该空气在所述除湿器内的结露部进行结露，由此进行除湿，所述激光装置还具备对从所述除湿器流出的空气进行加热的加热部，所述加热部通过所述控制部被控制为：该加热部以使所述激光装置的内部的空气的温度不低于所述第三规定温度范围的下限温度的方式进行大致最小限度的加热。根据本申请的第七专利技术，特征在于，通过所述空气温度调节器将所述激光装置的内部的空气的温度控制为所述第三规定温度范围内或所述第三规定温度范围的下限温度以上，所述激光装置具备检测所述激光装置的外部温度或所述壳体的温度的第三温度检测器，所述第三规定温度范围被设定为随时间变化的条件，所述第三规定温度范围的下限温度被设定为所述第一规定温度范围的下限温度与第二规定温度差相加而得到的温度以及由所述第三温度检测器检测出的温度减去第三规定温度差而得到的温度中的较高一方的温度，所述激光装置的内部的空气温度被控制为所述第三规定温度范围内或所述第三规定温度范围的下限温度以上。根据本申请的第八专利技术，特征在于，通过所述加热部将所述激光装置的内部的空气的温度控制为所述第三规定温度范围内或所述第三规定温度范围的下限温度以上，所述激光装置具备检测所述激光装置的外部温度或所述壳体的温度的第三温度检测器，所述第三规定温度范围被设定为随时间变化的条件，所述第三规定温度范围的下限温度被设定为所述第一规定温度范围的下限温度与第二规定温度差相加而得到的温度以及由所述第三温度检测器检测出的温度减去第三规定温度差而得到的温度中的较高一方的温度，所述激光装置的内部的空气温度被控制为所述第三规定温度范围内或所述第三规定温度范围的下限温度以上。根据本申请的第九专利技术，特征在于，具有以下功能：除了对所述激光装置发出完全停止指令的情况以外，即使在未对所述激光装置发出启动指令的期间内，也通过所述湿度检测器、所述第一温度检测器、所述计算部、所述判定部以及所述控制部来始终地或者以规定的时间为间隔地监视所述激光装置的内部的空气的湿度和温度，当所述激光装置的内部的空气的露点与所述第一规定温度差相加而得到的温度变得高于由所述第一温度检测器检测出的所述激光装置的内部的空气的温度时，所述除湿器自动开始运转来进行除湿。根据本申请的第十专利技术，特征在于，所述激光装置还具备第四温度检测器，该第四温度检测器检测相对于所述发热部件位于大致相同的位置或上游侧的所述冷却水配管的配管内的冷却水的温度、或者与相对于所述发热部件位于大致相同的位置或上游侧的所述冷却水配管热接触的构件的温度，所述激光装置具有以下功能：除了对所述激光装置发出完全停止指令的情况以外，即使在未对所述激光装置发出启动指令的期间内，当所述空气的露点与所述第一规定温度差相加而得到的温度变得高于由所述第四温度检测器检测出的温度以及由所述第一温度检测器检测出的所述激光装置的内部的空气的温度中的至少任一个时，所述除湿器也自动开始运转来进行除湿。附图说明通过参照附图所示的本专利技术的例示性的实施例所涉及的详细说明，本发本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光装置，具备激光振荡器以及向所述激光振荡器提供驱动电流的电源部，该激光装置的特征在于，构成为从该激光装置的外部的冷却水供给装置供给冷却水以对该激光装置的内部的发热部件进行冷却，所述激光装置具备：壳体，其具备将从所述激光装置的外部向所述激光装置的内部的空气侵入流量抑制为规定的值以下的密封度；除湿器，其对所述激光装置的内部的空气进行除湿；湿度检测器，其检测所述激光装置的内部的空气的湿度；第一温度检测器，其检测所述激光装置的内部的空气的温度；第二温度检测器，其检测从所述激光装置的外部供给的冷却水的温度；计算部，其根据所述湿度检测器和所述第一温度检测器的检测结果，来计算所述激光装置的内部的空气的露点；判定部，其根据所述第二温度检测器的检测结果以及由所述计算部计算出的所述露点，判定是否满足流入开始条件或者振荡开始条件，该流入开始条件是开始向所述激光装置的内部流通所述冷却水的条件，该振荡开始条件是从所述电源部向所述激光振荡器提供驱动电流来在所述激光振荡器中开始激光振荡的条件；以及控制部，其按照所述判定部的判定结果，对设置于从所述冷却水供给装置供给的冷却水的配管的开闭阀的开闭、或者从所述电源部向所述激光振荡器的驱动电力的供给进行控制，所述控制部构成为：在所述判定部将由所述计算部计算出的所述露点与由所述第二温度检测器检测出的冷却水温度进行比较后判定为满足了(露点)+(第一规定温度差)≤(冷却水温度)的关系以及(激光振荡时的冷却水温度的下限容许温度)≤(冷却水温度)≤(激光振荡时的冷却水温度的上限容许温度)的关系这两方的关系的时间点，所述控制部打开设置于所述配管的所述开闭阀来开始向所述激光装置的内部流通冷却水，之后向所述激光振荡器提供驱动电流来开始激光振荡，在激光振荡中，所述冷却水供给装置构成为持续供给被控制为第一规定温度范围内的冷却水，该第一规定温度范围是从所述激光振荡时的冷却水温度的下限容许温度到所述激光振荡时的冷却水温度的上限容许温度的范围，并且，所述除湿器构成为持续进行除湿以维持(露点)+(第一规定温度差)≤(冷却水温度)的关系。...

【技术特征摘要】
2015.12.04 JP 2015-2375041.一种激光装置，具备激光振荡器以及向所述激光振荡器提供驱动电流的电源部，该激光装置的特征在于，构成为从该激光装置的外部的冷却水供给装置供给冷却水以对该激光装置的内部的发热部件进行冷却，所述激光装置具备：壳体，其具备将从所述激光装置的外部向所述激光装置的内部的空气侵入流量抑制为规定的值以下的密封度；除湿器，其对所述激光装置的内部的空气进行除湿；湿度检测器，其检测所述激光装置的内部的空气的湿度；第一温度检测器，其检测所述激光装置的内部的空气的温度；第二温度检测器，其检测从所述激光装置的外部供给的冷却水的温度；计算部，其根据所述湿度检测器和所述第一温度检测器的检测结果，来计算所述激光装置的内部的空气的露点；判定部，其根据所述第二温度检测器的检测结果以及由所述计算部计算出的所述露点，判定是否满足流入开始条件或者振荡开始条件，该流入开始条件是开始向所述激光装置的内部流通所述冷却水的条件，该振荡开始条件是从所述电源部向所述激光振荡器提供驱动电流来在所述激光振荡器中开始激光振荡的条件；以及控制部，其按照所述判定部的判定结果，对设置于从所述冷却水供给装置供给的冷却水的配管的开闭阀的开闭、或者从所述电源部向所述激光振荡器的驱动电力的供给进行控制，所述控制部构成为：在所述判定部将由所述计算部计算出的所述露点与由所述第二温度检测器检测出的冷却水温度进行比较后判定为满足了(露点)+(第一规定温度差)≤(冷却水温度)的关系以及(激光振荡时的冷却水温度的下限容许温度)≤(冷却水温度)≤(激光振荡时的冷却水温度的上限容许温度)的关系这两方的关系的时间点，所述控制部打开设置于所述配管的所述开闭阀来开始向所述激光装置的内部流通冷却水，之后向所述激光振荡器提供驱动电流来开始激光振荡，在激光振荡中，所述冷却水供给装置构成为持续供给被控制为第一规定温度范围内的冷却水，该第一规定温度范围是从所述激光振荡时的冷却水温度的下限容许温度到所述激光振荡时的冷却水温度的上限容许温度的范围，并且，所述除湿器构成为持续进行除湿以维持(露点)+(第一规定温度差)≤(冷却水温度)的关系。2.根据权利要求1所述的激光装置，其特征在于，所述除湿器具有超过根据将从所述激光装置的外部向所述激光装置的内部的空气侵入流量抑制为规定的值以下的壳体的密封度以及所述激光装置的容许环境条件而假定出的、从所述激光装置的外部向所述激光装置的内部侵入的每单位时间的最大水分量的除湿能力。3.根据权利要求1或2所述的激光装置，其特征在于，所述除湿器构成为在从所述冷却水供给装置向所述激光装置的内部供给冷却水的期间内持续除湿。4.根据权利要求1或2所述的激光装置，其特征在于，所述除湿器被控制为使所述激光装置的内部的空气的露点进入比所述第一规定温度范围低温的第二规定温度范围内，在所述露点进入所述第二规定温度范围内之后，所述除湿器被控制为使所述露点不脱离所述第二规定温度范围内。5.根据权利要求1～4中的任一项所述的激光装置，其特征在于，所述激光装置还具备对所述激光装置的内部的空气的温度进行调整的空气温度调节器，基于来自所述控制部的指令，通过所述空气温度调节器进行控制，使得由所述第一温度检测器检测的所述激光装置的内部的空气的温度进入第三规定温度范围内，该第三规定温度范围具有与所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：泷川宏，西尾明彦，
申请(专利权)人：发那科株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP