弹性装夹装置制造方法及图纸

一种用于镀膜中固定基片的弹性装夹装置，构成包括基片夹具、多个弹性固定块、盖板和螺栓，通过弹性固定块对放置于基片夹具内的基片进行固定，通过螺栓使盖板固定于基片夹具上。基片加工过程中会产生一定的尺寸误差，在镀膜过程中基片尺寸误差偏小、振动或温度降低会造成固定松动，使所镀薄膜性能下降，同时也会由于基片尺寸误差偏大、振动以及温度升高导致基片固定时应力过大，甚至出现卡片、崩边等现象，同样影响薄膜的性能。本发明专利技术使基片在夹具内固定不动，可消除镀膜时基片因尺寸误差、振动及升温产生的应力。该装置具有结构简单、造价低廉、寿命长、通用性强和使用方便的特点。

【技术实现步骤摘要】
弹性装夹装置
本专利技术涉及镀膜，特别是一种用于镀膜中固定基片的弹性装夹装置。
技术介绍
薄膜技术在电子元器件、集成光学、电子技术、红外技术、激光技术以及航天技术和光学仪器等各个领域都得到了广泛的应用，它们不仅成为一门独立的应用技术，而且成为材料表面改性和提高某些工艺水平的重要手段。镀膜过程将直接影响薄膜的质量，并将影响薄膜的性能，如功能性薄膜的热电、铁电和压电等性能，光学薄膜的光谱特性、抗激光损伤特性，薄膜的致密度、内应力、膜层均匀性、表面光洁度、基底与膜层的吸附力等性能。特别是应用于精密器件或精密仪器设备的薄膜元件，对镀膜过程的要求更加严格。在镀膜过程中，基片尺寸难免会出现加工误差，如果基片夹具不能有效固定基片，将会产生固定松动或固定应力过大的情况，会严重影响到镀膜的稳定性，合适的基片夹具对镀膜过程至关重要。并且在镀膜过程中基片温度可能会发生较大的变化，由于基片与夹具的热膨胀系数不同，导致基片出现卡片、崩边等现象，某些镀膜过程中基片夹具会旋转、振动等，使基片产生相应的应力，消除这些应力将有效提高薄膜的稳定性和可靠性。
技术实现思路
本专利技术要解决的问题是镀膜过程中由于基片的加工误差及温度变化所导致的基片尺寸变化，从而产生应力导致的薄膜稳定性下降。提供一种用于镀膜中固定基片的弹性装夹装置，通过弹簧与夹具的组合，弹性的补偿由于长时间镀膜等带来的基片固定松动距离，使基片在镀膜中保持在夹具内固定不动，并有效补偿基片尺寸加工误差及温度变化产生的热膨胀尺寸变化，消除应力，提高所镀薄膜稳定性。本专利技术的技术解决方案如下：一种用于镀膜中固定基片的弹性装夹装置，其特点在于包括基片夹具、多个弹性固定块、盖板和螺栓，所述的基片夹具是一圆杯状空腔，该空腔的底中央是一镀膜孔，在空腔的内壁具有均匀分布的三个以上弹簧孔，腔壁的上端面具有一个以上螺孔，所述的弹性固定块由弹簧和固定块横向焊接构成，所述的固定块成方形，该固定块的下端面具有与待镀膜基片嵌设的吻合的缺口，所述的弹性固定块通过弹簧置于所述的基片夹具内壁弹簧孔中，使所述的固定块的缺口朝下，所述的盖板成圆形，周边具有与所述的基片夹具的螺孔相对应的螺孔，所述的螺栓旋入所述的盖板的螺孔和所述的基片夹具的螺孔，将所述的盖板和所述的基片夹具构成一体。本专利技术的技术效果：1、本专利技术中弹性固定块的大小、形状易于加工和处理，弹簧的长度可以灵活改变，对不同大小、不同厚度的基片在基片装夹装置中进行有效固定。2、本专利技术中通过弹性固定块与夹具的组合利用弹簧的弹性补偿在夹具移动过程中的固定误差，可以有效消除由于基片加工的直径误差、振动及镀膜过程温度变化产生的应力，使基片在夹具内固定不动，并能有效提高镀膜中的薄膜质量。3、本夹具通用性强，可用于多种镀膜设备中的基片装夹，在弹性固定领域有着广泛的应用前景。4、本专利技术设计简单，加工容易，徒手快速装卸基片装置简单，通用性强，使用方便，造价便宜，永久使用，易操作，具有极大的灵活性。附图说明图1为本专利技术弹性装夹装置实施例的爆炸图图2为本专利技术弹性装夹装置未加盖子的装配立体图图3为本专利技术弹性装夹装置未加盖子的俯视图图4为基片夹具的俯视图具体实施方式先请参阅图1，图1是本专利技术弹性装夹装置实施例的爆炸图。从图可见，本专利技术用于镀膜中固定基片的弹性装夹装置，包括基片夹具1、多个弹性固定块3、盖板4和螺栓8，所述的基片夹具1是一圆杯状空腔，该空腔的底中央是一镀膜孔9，在空腔的内壁具有均匀分布的三个弹簧孔6，腔壁的上端面具有两个螺孔5，所述的弹性固定块3由弹簧和固定块横向焊接构成，所述的固定块成方形，该固定块的下端面具有与待镀膜基片嵌设的吻合的缺口，所述的弹性固定块3通过弹簧置于所述的基片夹具1内壁弹簧孔6中，使所述的固定块的缺口朝下，所述的盖板4成圆形，周边具有与所述的基片夹具1的螺孔5相对应的螺孔7，所述的螺栓8旋入所述的盖板4的螺孔7和所述的基片夹具1的螺孔5，将所述的盖板4和所述的基片夹具1构成一体。本专利技术弹性装夹装置结合结构图具体使用方法如下：首先将基片2放置于基片夹具1的底部中央，基片2待镀膜面朝向镀膜孔9，通过压缩弹簧将三个弹性固定块3的弹簧端置于基片夹具1的弹簧孔6中，释放弹性固定3块实现对基片2的固定，将盖板4放置于基片夹具上并使盖板4的两个螺孔7与基片夹具1的两个螺孔5相匹配，最后将两个螺栓8依次旋入所述盖板4的螺孔7和基片夹具1的螺孔5，实现弹性装夹装置的安装。如果在使用过程中基片2过薄，可以在基片2上面加一块与基片2直径尺寸相近的树脂圆薄片，实现对基片稳定的固定。可以在将弹性装夹装置放置于镀膜机内或将装置结构应用于行星盘结构，通过基片夹具1的镀膜孔9，对基片下表面进行沉积镀膜。在弹性装夹装置中，弹簧利用其弹性补偿在镀膜过程中的基片松动，保持基片固定不动，并利用自身弹性消除由于振动、基片尺寸误差及温度变化导致的热膨胀或收缩效应引起的应力变化，可以均匀地在基片上镀膜，对于镀膜中的基片固定具有重要意义，并对所镀薄膜稳定性的提高有一定的帮助。本专利技术弹性装夹装置能够针对一定尺寸的基片在镀膜中有效消除基片尺寸误差、温度变化及振动等引起的应力变化，可有效改善基片固定中的稳定性，并使所镀薄膜的稳定性、可靠性得到提高。可以徒手快速装卸基片，易操作，设计相对简单，易于加工，造价低廉，使用寿命长，通用性强，灵活性高，在弹性固定领域有着广泛的应用前景。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于镀膜中固定基片的弹性装夹装置，其特征在于包括基片夹具(1)、多个弹性固定块(3)、盖板(4)和螺栓(8)，所述的基片夹具(1)是一圆杯状空腔，该空腔的底中央是一镀膜孔(9)，在空腔的内壁具有均匀分布的三个以上弹簧孔(6)，腔壁的上端面具有一个以上螺孔(5)，所述的弹性固定块(3)由弹簧和固定块横向焊接构成，所述的固定块成方形，该固定块的下端面具有与待镀膜基片嵌设的吻合的缺口，所述的弹性固定块(3)通过弹簧置于所述的基片夹具(1)内壁弹簧孔(6)中，使所述的固定块的缺口朝下，所述的盖板(4)成圆形，周边具有与所述的基片夹具(1)的螺孔(5)相对应的螺孔(7)，所述的螺栓(8)旋入所述的盖板(4)的螺孔(7)和所述的基片夹具(1)的螺孔(5)，将所述的盖板(4)和所述的基片夹具(1)构成一体。

【技术特征摘要】
1.一种用于镀膜中固定基片的弹性装夹装置，其特征在于包括基片夹具(1)、多个弹性固定块(3)、盖板(4)和螺栓(8)，所述的基片夹具(1)是一圆杯状空腔，该空腔的底中央是一镀膜孔(9)，在空腔的内壁具有均匀分布的三个以上弹簧孔(6)，腔壁的上端面具有一个以上螺孔(5)，所述的弹性固定块(3)由弹簧和固定块横向焊接构成，所述的固定块成方形，该固定块的下端...

【专利技术属性】
技术研发人员：王胭脂，郭可升，陈宇，刘加，朱晔新，朱美萍，张伟丽，王建国，赵娇玲，孙建，齐红基，易葵，邵建达，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：上海,31