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一种用于镀膜中固定基片的弹性装夹装置，构成包括基片夹具、多个弹性固定块、盖板和螺栓，通过弹性固定块对放置于基片夹具内的基片进行固定，通过螺栓使盖板固定于基片夹具上。基片加工过程中会产生一定的尺寸误差，在镀膜过程中基片尺寸误差偏小、振动或温度...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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