The utility model discloses a distillation apparatus for high purity phosphorus, the distillation device comprises a distillation furnace, a heating unit and the cooling unit and a control unit, wherein the distillation furnace includes from left to right are connected and connected feed evaporator, filling area and condensate recovery area, the feed evaporation area is arranged on the outer wall of feed port and protective gas inlet and the heating unit set in the evaporation zone on the condensation zone is arranged on the discharge port and the outer wall of the circulation cooling unit is disposed on the condensation area; the control unit including the power switch, temperature indication controller and thermocouple, the thermocouple is arranged on the outer wall of the inlet area, filling area and the condensation zone, the temperature indication controller and power switch, thermocouple and heating unit Electrical connection.
【技术实现步骤摘要】
一种高纯磷的蒸馏装置
本技术涉及高纯材料生产除杂提纯的
,更具体地讲,涉及一种高纯磷的蒸馏装置。
技术介绍
高纯磷是制备半导体材料的重要原料,主要用于制作Ⅲ~Ⅴ族化合物半导体材料如InP、GaP,少数用于锗、硅单晶掺杂剂等。如InP、GaP分别是制备红色发光二极管合绿色发光二极管的首选材料,其中GaP早在七十年代就已进入使用阶段,其发光效率高于早期的GaAsP化合物半导体。由这些化合物材料制成的光学元件或电子器件应用广泛,如多功能显示器、电脑、智能手机、汽车红外等数字显示上。我国在高纯磷的研究起步晚,技术相对滞后。目前在国内有能力生产5N-6N级高纯磷的企业不多,而生产磷的企业大多生产的是工业用的3N级白磷,多采用浓硫酸批量精制白磷,且工艺因不安全因素较多,容易发生安全事故。由于受到生产工艺的影响,市场上现有5N-6N级高纯磷产品中杂质S的含量波动较大,产品质量不稳定,为了保证产品质量并稳定降低S含量,结合磷蒸馏、磷精馏、磷的氧化法、磷的氯化物还原法等高纯磷制备技术方案的实验结果,确定采用蒸馏方式提纯。在生产过程中,能够使S、As、Fe、Cu等杂质元素在蒸馏提纯过程中得到有效降低,尤其是提纯产品中元素S的含量得到有效控制,产品质量稳定。但是,以往高纯磷蒸馏设备是石英材质,主要有以下缺点:1、设备不利于复杂设计,满足不了个别要求。2、石英承受压力有限,设备易损坏。3、原料投料量少,个别杂质元素得不到有效去除。4、生产过程可控性较差。
技术实现思路
为了解决现有技术中存在的问题,本技术的目的是提供一种能够保证产品质量稳定的高纯磷蒸馏设备,高效分离杂质,特别降低杂 ...
【技术保护点】
一种高纯磷的蒸馏装置,其特征在于,所述蒸馏装置包括蒸馏炉、加热单元、冷却循环单元和控制单元,其中,所述蒸馏炉包括从左至右依次连接且互相连通的进料蒸发区、填料区和冷凝回收区,所述进料蒸发区上设置有进料端口和保护气进气口并且所述加热单元套装在所述进料蒸发区的外壁上,所述冷凝回收区上设置有出料端口并且所述冷却循环单元设置在所述冷凝回收区的外壁上;所述控制单元包括电源开关、温度指示控制器和热电偶,所述热电偶设置在进料蒸发区、填料区和冷凝回收区的外壁上,所述温度指示控制器与电源开关、热电偶和加热单元电连接。
【技术特征摘要】
1.一种高纯磷的蒸馏装置,其特征在于,所述蒸馏装置包括蒸馏炉、加热单元、冷却循环单元和控制单元,其中,所述蒸馏炉包括从左至右依次连接且互相连通的进料蒸发区、填料区和冷凝回收区,所述进料蒸发区上设置有进料端口和保护气进气口并且所述加热单元套装在所述进料蒸发区的外壁上,所述冷凝回收区上设置有出料端口并且所述冷却循环单元设置在所述冷凝回收区的外壁上;所述控制单元包括电源开关、温度指示控制器和热电偶,所述热电偶设置在进料蒸发区、填料区和冷凝回收区的外壁上,所述温度指示控制器与电源开关、热电偶和加热单元电连接。2.根据权利要求1所述高纯磷的蒸馏装置,其特征在于,所述蒸馏炉还包括设置在所述冷凝回收区端部的盲板,所述进料蒸发区、填料区、冷凝回收区和盲板通过法兰和垫片连接。3.根据权利要求1所述高纯磷的蒸馏装置,其特征在于,所述加热单元为电阻炉,所述电阻炉为石墨炉管管身缠绕加热电阻丝并外接电源接引线和热电偶制成。4.根据权利要求1所述高纯磷的蒸馏装置,其特征在于,所述填料区内设置有填料内筒和保温层,所述填料内筒内装填有填料...
【专利技术属性】
技术研发人员:张双全,曹昌威,段榆忠,黄远坤,田庭光,
申请(专利权)人:峨嵋半导体材料研究所,
类型:新型
国别省市:四川,51
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