The invention relates to a device, such as an electrostatic chuck, comprising a base, an electrostatic chuck, a heating plate, and a bond layer including phosphorescent material. In one form, an optical sensor is disposed near the adhesive layer to detect the temperature of the bonding layer in the optical sensor visual field. Phosphorescent material is luminescent, and subsequent decay is detected by optical sensors. According to the information, the temperature of the electrostatic chuck and the substrate are determined, and the heating element can be adjusted by a controller.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有在粘结层中集成温度感测的粘结装置相关申请的交叉引用本申请根据35U.S.C.§119(e)要求申请日为2014年7月8日提交的美国临时申请号为62/021,937的美国申请的优先权,其的全部内容通过引用并入本文。
本申请通常涉及加热装置,更具体地涉及用于这种装置的温度检测和控制系统,包括通过举例的方式,在半导体加工设备中的静电吸盘以及基底。
技术介绍
本段中的声明只提供与本专利技术披露有关的背景信息,不会构成现有技术。加热装置经常用于具有有限的空间且需要精确控制的应用中。在半导体加工的现有技术中,例如,卡盘或基座用于保持基底(或晶片),并且在加工过程中的基底上提供均匀的温度曲线。参见附图1,示出了现有技术中静电吸盘的支撑装置110,支撑装置110包括具有嵌入式电极114的静电吸盘112,以及通过粘合层118与静电吸盘112粘结的加热板116。加热器120被固定到加热板116,加热器120可以是蚀刻箔加热器,通过举例的方式。该加热器装置又通过粘合层124粘结到冷却板122上。基底126设置在静电吸盘112上,并且电极114连接到电源(未显示),从而产生静电功率,保持基底126在适当的位置。射频(RF)电源(未显示)连接到静电吸盘112,围绕支撑装置110的腔室连接到地面。当材料沉积或基底126上的薄膜被蚀刻时,加热器120向基底126提供必要的热量。当材料沉积至基底126上或当材料从基底126被蚀刻时,加热器120向基底126提供必要的热量。在基底126处理期间,重要的是,静电吸盘112的温度曲线是高度均匀的,以减少被蚀刻的基底126中的变化。用于改善温 ...
【技术保护点】
一种装置,其包括:第一构件;邻近第一构件设置的第二构件;设置在第一构件和第二构件之间的粘结层,粘结层将第二构件固定到第一构件并且包含磷光材料;以及;至少一个邻近所述粘结层设置的光学传感器,以在所述光学传感器视野区域中检测所述粘结层的温度。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.07.08 US 62/021,9371.一种装置,其包括:第一构件;邻近第一构件设置的第二构件;设置在第一构件和第二构件之间的粘结层,粘结层将第二构件固定到第一构件并且包含磷光材料;以及;至少一个邻近所述粘结层设置的光学传感器,以在所述光学传感器视野区域中检测所述粘结层的温度。2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述第一构件是静电吸盘,并且第二构件是用于在半导体加工过程中的支撑装置的加热板。3.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,至少一个加热元件嵌入到所述加热板内。4.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,至少一个加热元件固定到所述加热板。5.根据权利要求3或4所述的装置,其特征在于,还包括控制器,所述控制器接受并处理来自所述光学传感器的信号,以根据磷光材料的衰变率来确定所述粘结层的温度,并且相应地控制至少一个加热元件。6.根据权利要求2至5中任一项所述的装置,其特征在于,还包括邻近所述加热板设置的调谐层。7.根据权利要求1至6中任一项所述的装置,其特征在于,所述光学传感器被设置成观测粘结层的下侧。8.根据权利要求1至7中任一项所述的装置,其特征在于,还包括延伸通过第二构件的孔,其中所述光学传感器设置在所述孔中。9.根据权利要求8所述的装置,其特征在于,所述磷光材料包括与所述孔对准的粘结层的至少一部分。10.根据权利要求1至9中任一项所述的装置,其特征在于,所述磷光材料包括整个粘结层的至少一部分。11.根据权利要求1至10中任一...
【专利技术属性】
技术研发人员:约翰·帕特里克·博根,达里尔·G·詹姆斯,
申请(专利权)人:沃特洛电气制造公司,
类型:发明
国别省市:美国,US
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