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本发明涉及一种例如静电吸盘的装置，设置包括基底、静电吸盘、加热板以及包括磷光材料的粘结层。在一种形式中，光学传感器被设置在所述粘结层附近以检测所述光学传感器视野区域中粘结层的温度。磷光材料发光，并且随后的衰变由光学传感器检测。根据这些信息，...
该专利属于沃特洛电气制造公司所有，仅供学习研究参考，未经过沃特洛电气制造公司授权不得商用。

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