The invention discloses a micro cantilever array of circular scanning system, which is characterized by the same laser is fixed as a common laser source M laser scanning unit, a fixed level of a laser beam; micro cantilever array consisting of M root micro cantilever, root for M micro cantilever 11 the corresponding set M plane mirror; M plane mirror fixed together in different position with a rotating table; driving rotating table, the M flat mirror with rotation of the rotary table one by one in the light path of the laser beam, and only in the M plane mirror on one by one the formation of M beam reflected light at different positions, and the corresponding investment according to the free end of the micro cantilever array in the micro cantilever, the micro cantilever array scanning system, driving the rotary table rotation cycle, to achieve Cyclic scanning of microcantilever arrays. The system of the invention has simple structure, easy control and high precision.
【技术实现步骤摘要】
一种微悬臂梁阵列循环扫描系统
本专利技术属于微梁扫描系统领域,特别涉及一种微悬臂梁阵列循环扫描系统。
技术介绍
微悬臂梁传感技术是在原子力显微镜和微系统出现后迅速发展起来的一种传感方法,作为最简单的微机械元件,一直是微纳传感技术研究热点。目前大量使用的单根微悬臂梁生化传感器由于每次只能用一根实验,浪费了大量时间;并且由于生化反应的中需要参照样对照,这就是将多根微梁在同样环境进行实验,就迫切需要实现多根微梁检测研究;利用一根激光器对微梁阵列进行照射并检测每根微梁的弯曲信号是当前国内外研究热点。在公开号为CN101278357A的专利文献中公开了一种“微机械及纳米机械结构进行检测的系统及方法”,其采用音圈电机带动激光器实现对阵列上的每根梁的扫描;但是,激光器长时间运动会给系统带来一些不稳定因素;若是带动池子运动则对系统音圈电机带来更高的要求,更使在池子中的反应溶液中粒子运动带来数据上的不稳定性。申请号为2014200942732的专利文献中公开了一种“基于平面镜反射的微悬臂梁阵列传感器的微悬臂梁偏转检测系统”;提出了利用激光空中变向实现对阵列微梁偏转的扫描和检测,实现了激光器和微悬臂梁的固定,因而在一定程度上消除了由于运动而带来的不稳定因素,但其存在音圈电机的往复平动,这对音圈电机在稳定性上提出了更高的要求,同时音圈电机的往复平动带来信号处理上的不便和信号识别困难。申请号为2014100755444的专利文献中公开了一种“基于多角度平面透射镜的微悬臂梁阵列传感器的微悬臂梁偏转扫描系统及扫描方法”,同样是利用激光空中变向实现对阵列微梁偏转的扫描和检测,利用步进电 ...
【技术保护点】
一种微悬臂梁阵列循环扫描系统,其特征是:设置由M个扫描单元所构成的循环扫描系统的结构形式为:以固定设置的同一只激光器(1)作为M个扫描单元的共用激光光源,所述激光器(1)固定地呈水平发出激光光束;以M根微悬臂梁构成微悬臂梁阵列,针对M根微悬臂梁一一对应设置M只平面反射镜;所述M只平面反射镜共同固定设置在同一只转动台(10)的不同位置上;驱动转动台(10)的转动,使M只平面反射镜随着转动台(10)的转动逐一地处在所述激光光束的光路中,并在所述M只平面反射镜上逐一地形成不同位置上的M束反射光,所述M束反射光逐一地且一一对应地投照在微悬臂梁阵列中各微悬臂梁的自由端,构成微悬臂梁阵列扫描系统,驱动转动台(10)循环转动,经转动台(10)上平面反射镜的反射,实现对微悬臂梁阵列的循环扫描。
【技术特征摘要】
1.一种微悬臂梁阵列循环扫描系统,其特征是:设置由M个扫描单元所构成的循环扫描系统的结构形式为:以固定设置的同一只激光器(1)作为M个扫描单元的共用激光光源,所述激光器(1)固定地呈水平发出激光光束;以M根微悬臂梁构成微悬臂梁阵列,针对M根微悬臂梁一一对应设置M只平面反射镜;所述M只平面反射镜共同固定设置在同一只转动台(10)的不同位置上;驱动转动台(10)的转动,使M只平面反射镜随着转动台(10)的转动逐一地处在所述激光光束的光路中,并在所述M只平面反射镜上逐一地形成不同位置上的M束反射光,所述M束反射光逐一地且一一对应地投照在微悬臂梁阵列中各微悬臂梁的自由端,构成微悬臂梁阵列扫描系统,驱动转动台(10)循环转动,经转动台(10)上平面反射镜的反射,实现对微悬臂梁阵列的循环扫描。2.根据权利要求1所述的微悬臂梁阵列循环扫描系统,其特征是:所述微悬臂梁阵列中M只微悬臂梁间隔且并列设置,各微悬臂梁的自由端处在同一直线A上,所述直线A与所述激光光...
【专利技术属性】
技术研发人员:薛长国,牛晓燕,滕艳华,张飞,闵凡飞,胡业林,
申请(专利权)人:安徽理工大学,
类型:发明
国别省市:安徽,34
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