一种炉管的开管扩散装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种炉管的开管扩散装置，其放置于中空的炉管内，其包括：石英套管，其为中空的管状；石英固定件，其具有若干个；若干个所述石英固定件等长度；以及，测温热偶，其匹配插接到所述石英套管中；其中，若干个所述石英固定件沿轴向分布在所述石英套管外侧；每个所述石英固定件一端固定连接到所述石英套管外侧、另一端匹配抵顶到所述炉管内侧。本实用新型专利技术的石英套管内侧插接有测温热偶，石英套管外侧沿轴向连接有与炉管内侧抵顶的石英固定件，使得该石英套管放入炉管内时位于炉管中心，有效测量炉管中心温度，提高了测量恒温区的精度，结构简单。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体工艺
，更具体地说，本技术涉及一种炉管的开管扩散装置。
技术介绍
扩散是半导体工艺中最主要的工序之一，保证扩散的均匀性和一致性显得尤为重要。为了保证扩散的均匀性和一致性，测量炉管的恒温区是非常关键的工艺步骤。在现有的扩散工艺中，测定炉管恒温区的热偶通常从炉口放进去，置于炉管下沿，因而测得的温度也是炉管下沿温度，不是炉管中心温度，且受炉管壁的影响，测得的温度存在一定偏差。
技术实现思路
针对上述技术中存在的不足之处，本技术提供一种炉管的开管扩散装置，石英套管内侧插接有测温热偶，石英套管外侧沿轴向连接有与炉管内侧抵顶的石英固定件，使得该石英套管放入炉管内时位于炉管中心，有效测量炉管中心温度，提高了测量恒温区的精度，结构简单。为了实现根据本技术的这些目的和其它优点，本技术通过以下技术方案实现：本技术提供一种炉管的开管扩散装置，其放置于中空的炉管内，其特征在于，其包括：石英套管，其为中空的管状；石英固定件，其具有若干个；若干个所述石英固定件等长度；以及，测温热偶，其匹配插接到所述石英套管中；其中，若干个所述石英固定件沿轴向分布在所述石英套管外侧；每个所述石英固定件一端固定连接到所述石英套管外侧、另一端匹配抵顶到所述炉管内侧。优选的是，若干个所述石英固定件沿轴向等间距分布在所述石英套管外侧。优选的是，若干个沿轴向分布在所述石英套管外侧的所述石英固定件为一组石英固定件；所述开管扩散装置包括若干组石英固定件；若干组石英固定件沿所述石英套管径向等距分布。优选的是，每个所述石英固定件一端焊接到所述石英套管外侧。优选的是，每个所述石英固定件是圆形或长方形或正方形。本技术至少包括以下有益效果：本技术提供的炉管的开管扩散装置，石英套管内侧插接有测温热偶，石英套管外侧沿轴向连接有与炉管内侧抵顶的石英固定件，使得该石英套管放入炉管内时位于炉管中心，结构简单，有效测量炉管中心温度，提高了测量恒温区的精度，提高了产品表面浓度的一致性和均匀性。本技术的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本技术的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。附图说明图1为本技术所述的炉管的开管扩散装置推进示意图；图2为图1中A-A方向的剖面图；图中：10-炉管；20-开管扩散装置；21-石英套管；22-石英固定件；30-测温热偶。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不配出一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。如图1和图2所示，本技术提供一种炉管的开管扩散装置20，其放置于中空状的炉管10内。开管扩散装置20包括：石英套管21，其为中空的管状；石英固定件22，其具有若干个；若干个石英固定件22的长度均相同；以及，测温热偶30，其匹配插接到石英套管21中；其中，若干个石英固定件22沿轴向分布在石英套管21外侧；每个石英固定件22一端固定连接到石英套管21外侧、另一端匹配抵顶到炉管10内侧。上述实施方式中，通过炉管10的开管扩散装置20的测温方法为：S1，将连接有石英固定件22的石英套管21放入炉管10内，每个石英固定件22的第二端匹配抵顶炉管10内侧；S2，将测温热偶30插入石英套管21内；S3，启动扩散程序，升温至待测量温度；S4，测量炉管10的恒温区，修正偏差温度。S5，降温，依次取出测温热偶30和石英套管21。上述实施方式中，石英套管21内侧插接有测温热偶30，石英套管21外侧沿轴向连接有与炉管10内侧抵顶的石英固定件22，使得该石英套管21放入炉管10内时位于炉管10中心，进一步使得位于石英套管21内的测温热偶30有效测量炉管中心温度，提高测量恒温区的测量精度，提高了产品表面浓度的一致性和均匀性，提高产品参数一致性和产品对档率。上述实时方式中，每个石英固定件22是圆形或长方形或正方形，满足每个石英固定件22一端固定连接到石英套管21外侧、另一端匹配抵顶到炉管10内侧以将石英套管21放置于炉管10中心位置即可。图2给出了石英固定件22是长方形的示例。作为优选，若干个石英固定件22沿轴向等间距分布在石英套管21外侧。若其中一个石英固定件22损坏，则不影响石英套管21稳定地位于炉管10的中心处。作为进一步优选，若干个沿轴向分布在石英套管21外侧的石英固定件22为一组石英固定件；开管扩散装置20包括若干组石英固定件；若干组石英固定件沿石英套管径向等距分布。图1给出了一组石英固定件的示例。若其中一组石英固定件损坏，则不影响石英套管21稳定地位于炉管10的中心处。作为一种具体实施方式，每个石英固定件22一端焊接到石英套管21外侧。每个石英固定件22通过焊接方式固定到石英套管21外侧，具有较高的连接稳定性。尽管本技术的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用。它完全可以被适用于各种适合本技术的领域。对于熟悉本领域的人员而言可容易地实现另外的修改。因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本技术并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种炉管的开管扩散装置，其放置于中空的炉管内，其特征在于，其包括：石英套管，其为中空的管状；石英固定件，其具有若干个；若干个所述石英固定件等长度；以及，测温热偶，其匹配插接到所述石英套管中；其中，若干个所述石英固定件沿轴向分布在所述石英套管外侧；每个所述石英固定件一端固定连接到所述石英套管外侧、另一端匹配抵顶到所述炉管内侧。

【技术特征摘要】
1.一种炉管的开管扩散装置，其放置于中空的炉管内，其特征在于，其包括：石英套管，其为中空的管状；石英固定件，其具有若干个；若干个所述石英固定件等长度；以及，测温热偶，其匹配插接到所述石英套管中；其中，若干个所述石英固定件沿轴向分布在所述石英套管外侧；每个所述石英固定件一端固定连接到所述石英套管外侧、另一端匹配抵顶到所述炉管内侧。2.如权利要求1所述的炉管的开管扩散装置，其特征在于，若干个所述石英固定件沿轴向等间距分布...

【专利技术属性】
技术研发人员：李超，纪锦程，陆益，顾晶伟，
申请(专利权)人：安徽富芯微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34