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一种炉管的开管扩散装置制造方法及图纸
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下载一种炉管的开管扩散装置的技术资料
文档序号:15274400
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本实用新型公开一种炉管的开管扩散装置,其放置于中空的炉管内,其包括:石英套管,其为中空的管状;石英固定件,其具有若干个;若干个所述石英固定件等长度;以及,测温热偶,其匹配插接到所述石英套管中;其中,若干个所述石英固定件沿轴向分布在所述石英套...
该专利属于安徽富芯微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽富芯微电子有限公司授权不得商用。
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