The invention relates to a sample bearing device and a testing method for a semiconductor wafer X ray image. The sample bearing device comprises a sample bearing device comprises a sample stage, a plurality of clamping and layout on the sample table and the buckling grooves matching number; groove to specified position on the sample table as the starting point extending outward; buckle is arranged in the groove and can slide in the groove. The semiconductor wafer is fixed on the sample table of the sample bearing device, and the sample bearing device is fixed in the X ray topography instrument to carry out the X ray imaging test by the connecting structure of the sample bearing device. By adopting the technical proposal of the invention, the semiconductor wafer can be directly fixed on the sample bearing device through the snap fastener, thereby avoiding the defects of the semiconductor wafer caused by the absorption of the photo and the lobe.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体晶体领域,特别涉及一种半导体晶片X射线形貌像的样品承载装置及测试方法。
技术介绍
采用垂直布里奇曼法生长的碲锌镉晶体由于其生长特性极易形成孪晶、小角晶界及亚晶等缺陷,因此从碲锌镉晶锭中经定向切割出的晶片必须通过检测从而揭示出这些缺陷,选出晶格质量好的区域来划作碲镉汞薄膜液相外延用的衬底。另外,碲锌镉衬底的位错、孪晶等部分缺陷也能通过液相外延能延升至碲镉汞薄膜中。所以在碲锌镉衬底的选择和碲镉汞薄膜质量的评估中需要用到一种可以反映这种缺陷的测试方法,既要快捷、无损伤和无污染,又能全面反映这些缺陷。目前,X射线形貌术已广泛应用于碲锌镉和碲镉汞材料质量的检测,该方法兼备以上各种优点,可以说是在碲锌镉基碲镉汞的研制工艺中必不可少的测试方法。现有的X射线形貌仪在的使用过程中采用吸附式固定。该样品承载装置的中心有一细小通路,背面接到一个小型真空泵上,通过抽气的形式把样品吸附在样品承载装置上。采用该样品承载装置的照相结果不能完整反映碲锌镉晶片的特征,即照相不全,且晶片有被吸附产生的应力损坏的风险。而且由于承载装置的材质问题,当X射线照射到样品承载装置上会产生较多的二次射线散射,胶片背景曝光严重。
技术实现思路
为了解决X射线形貌像测试中产生的照相不全的问题,本专利技术提供了一种半导体晶片X射线形貌像的样品承载装置及测试方法。本专利技术提供的半导体晶片X射线形貌像测试的样品承载装置,所述样品承载装置包括样品台、若干卡扣以及布设在所述样品台上与所述卡扣数量相匹配的若干凹槽;所述凹槽以样品台上指定位置为起点向外延伸;所述卡扣设在所述凹槽内且可在所述凹槽内滑动。 ...
【技术保护点】
一种半导体晶片X射线形貌像测试的样品承载装置,其特征在于,所述样品承载装置包括样品台、若干卡扣以及布设在所述样品台上与所述卡扣数量相匹配的若干凹槽;所述凹槽以样品台上指定位置为起点向外延伸;所述卡扣设在所述凹槽内且可在所述凹槽内滑动。
【技术特征摘要】
1.一种半导体晶片X射线形貌像测试的样品承载装置,其特征在于,所述样品承载装置包括样品台、若干卡扣以及布设在所述样品台上与所述卡扣数量相匹配的若干凹槽;所述凹槽以样品台上指定位置为起点向外延伸;所述卡扣设在所述凹槽内且可在所述凹槽内滑动。2.如权利要求1所述的样品承载装置,其特征在于,所述样品承载装置还包括与所述样品台一体化设计的把持结构。3.如权利要求1所述的样品承载装置,其特征在于,所述样品承载装置还包括用于与X射线形貌仪固定连接的连接结构。4.如权利要求3所述的样品承载装置,其特征在于,所述连接结构为螺丝固定槽。5.如权利要求1所述的样品承载装置,其特征在于,所述若干凹槽均匀的布设在所述样品台上。6.如权利要求1所述的样品承载装置,其特征在于,所述指定位置包括:所述样品台的中心位置。7.如权利要求1所述的样品承载装置,其特征在于,所述样品台的材质为改...
【专利技术属性】
技术研发人员:折伟林,沈宝玉,李达,赵会崧,周立庆,
申请(专利权)人:中国电子科技集团公司第十一研究所,
类型:发明
国别省市:北京;11
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