A wafer substrate support structure, which mainly solves the existing wafer substrate and the support structure and positioning is not accurate, friction and so on, the invention provides a wafer substrate support structure of the bracket structure comprises a positioning ball, sapphire sapphire ball, the support bracket body, inner six angle bolt, spring washer, two-way countersunk hole. Support structure of the invention can fully guarantee the wafer substrate to reach the desired position accuracy in the transmission process, and can reduce the friction and collision between the substrate and the support structure, reducing particle generation semiconductor is helpful to improve the production efficiency and the yield, and can be installed in a positive, suitable for both upper and lower two kinds of cavity installation, simple and reliable structure, low manufacturing cost.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种晶圆基板支架结构,属于半导体薄膜设备的应用
技术介绍
在半导体设备中,晶圆基板常需要用机械手从大气环境与真空腔体之间来回传送,因此需要一个气压可自由切换的负载模块作为过渡空间;对于机械手将晶圆基板置入或取出负载模块的过程,由于机械手的传递过程具有一定误差,晶圆基板的放置位置必须达到一定的精度要求,又要尽可能减小晶圆基板与支撑结构之间的接触和碰撞,以防接触碰撞过程产生颗粒物带入反应腔内影响产品良率;为了满足以上要求,需要设计一种基板支架结构,既能保证定位的准确性、可靠性,又要有尽可能有小的接触面积,减小基板与支架结构间的摩擦和碰撞。
技术实现思路
本专利技术以解决上述问题为目的,提供一种晶圆基板支架结构,该支架结构具有自动定位功能,可以充分保证晶圆基板在传递过程中达到所需的位置精度,并可减小基板和支撑结构相互之间的接触面积、减少基板与支架结构之间的摩擦和碰撞,进而减少颗粒物的产生,定位过程迅速可靠,有助于提高半导体的生产效率和产品良率。为实现上述目的,本专利技术采用下述技术方案:一种晶圆基板支架结构,该支架结构包括定位蓝宝石球、支撑蓝宝石球、支架主体、内六角螺栓、弹簧垫片、双向沉头孔;所述定位蓝宝石球与支撑蓝宝石球分别安装于支架主体上的圆孔中,双向沉头孔安装于支架主体上,采用内六角螺栓与弹簧垫片通过双向沉头孔将支架主体正装在上负载腔体或反装在下负载腔体上。进一步地,所述支架主体与上负载腔体和下负载腔体的接触面为精加工平面。本专利技术的有益效果是:1、具有自动定位功能:晶圆基板放置在支架上,将会自动调整至中心位置,定位 ...
【技术保护点】
一种晶圆基板支架结构,其特征在于,该支架结构包括定位蓝宝石球、支撑蓝宝石球、支架主体、内六角螺栓、弹簧垫片、双向沉头孔;所述定位蓝宝石球与支撑蓝宝石球分别安装于支架主体上的圆孔中,双向沉头孔对称安装于支架主体上,采用内六角螺栓与弹簧垫片通过双向沉头孔将支架主体正装在上负载腔体或反装在下负载腔体上。
【技术特征摘要】
1.一种晶圆基板支架结构,其特征在于,该支架结构包括定位蓝宝石球、支撑蓝宝石球、支架主体、内六角螺栓、弹簧垫片、双向沉头孔;所述定位蓝宝石球与支撑蓝宝石球分别安装于支架主体上的圆孔中,双向沉头孔对称安装于支架...
【专利技术属性】
技术研发人员:范川,周仁,方仕彩,廉杰,杜广宇,
申请(专利权)人:沈阳拓荆科技有限公司,
类型:发明
国别省市:辽宁;21
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。