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一种晶圆基板支架结构，主要解决现有晶圆基板与支架结构定位不准确，摩擦大等问题，本发明提供一种晶圆基板支架结构该支架结构包括定位蓝宝石球、支撑蓝宝石球、支架主体、内六角螺栓、弹簧垫片、双向沉头孔。本发明的支架结构可以充分保证晶圆基板在传递过程...
该专利属于沈阳拓荆科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳拓荆科技有限公司授权不得商用。

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