一种在GaAs（511）A衬底上生长高质量InAs量子点的方法技术

本发明专利技术公开了一种在GaAs（511）A衬底上生长高质量InAs量子点的方法，该方法主要包括以下步骤：（1）衬底清洗；（2）生长前准备；（3）衬底In退火除氧；（4）衬底原位退火取出表面In液滴；（5）量子点的生长。衬底的退火与量子点的生长均在MBE设备中进行。通过本发明专利技术中所述的In退火工艺对衬底进行处理，衬底表面形成了InGaAs二维岛。InGaAs二维岛的存在可以为外延层提供成核位点和应变能并限制量子点的迁移，提高量子点的密度以及均匀性。该工艺过程简单，所获得的量子点密度大、均匀性好。

Method for growing high quality InAs quantum dots on GaAs (511) A substrate

The invention discloses a method of A in GaAs (511) substrate on growth of high quality InAs quantum dots, the method includes the following steps: (1) substrate cleaning; (2) the growth of preparation; (3) the In substrate (4) substrate oxygen annealing; in situ annealing removes the surface droplets (In; 5) the growth of quantum dots. The annealing of the substrate and the growth of quantum dots were performed in the MBE device. The In annealing process is adopted to process the substrate, and the surface of the substrate forms a InGaAs two-dimensional island. The existence of InGaAs 2D islands can provide nucleation sites and strain energy for epitaxial layers and limit the migration of quantum dots, which can improve the density and uniformity of quantum dots. The process is simple, and the density and uniformity of the quantum dots are good.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及中间带太阳能电池领域，尤其涉及一种在GaAs（511）A衬底上生长高质量InAs量子点的方法。技术背景中间带太阳能电池具有高达63.1%的理论光电转换效率因而受到人们的广泛关注。实现中间带比较通用的方法是在衬底上生长量子点。GaAs材料的禁带宽度为1.42eV，InAs材料的禁带宽度是0.42eV，它们都是直接带隙半导体，因此采用InAs/GaAs材料有利于生长出光学特性好、量子效应显著的量子点。为了保证太阳能电池的转换效率以及光学质量，量子点材料应具有量子点密度高、均匀性好的特点。在采用常规方法生长InAs/GaAs量子点时存在着以下局限：在GaAs衬底上In原子的迁移长度长，量子点在生长的过程中容易发生合并会使得量子点尺寸不均匀，与此同时量子点的密度也很难得到保证。提高量子点的密度和均匀性有两种方法，一种是减小量子点的迁移长度，另一种是缩短量子点的迁移时间。现在人们往往采用的是降低量子点的生长温度以及加快量子点的沉积速率等方法来达到提高量子点密度的目的，然而这两种方法仍然存在一些弊端：降低生长温度在一定范围内确实可以减小量子点的迁移长度，但是由于量子点的生长是存在临界温度的，温度过低不利于量子点的生长；加快沉积速率也确实可以在一定程度上缩短量子点的生长时间，但是使用这种方法会产生一些缺陷，在生长多层量子点的时候不利于后续量子点的生长。采用这两种方法对量子点密度的提高都是有限的，并且量子点的均匀性得不到提高，这些都使得中间带太阳能电池的实际光电转换效率难以达到一个比较理想的值。因此提出一种可行的生长方法，在不给材料引入过多缺陷的情况下，提高量子点的密度与均匀性具有十分重要的意义。
技术实现思路
为了克服现有的InAs/GaAs量子点生长方法的缺点与不足，本专利技术目的在于提供一种在GaAs衬底上生长高密度、高均匀性量子点的方法。通过采用低温In退火的方法，使得In液滴与GaAs衬底表面发生反应生成InGaAs二维岛，再经原位退火取出反应残余的In液滴获得平坦的衬底表面。在经过以上退火工艺后的衬底表面生长InAs量子点，获得了密度较高、均匀性好的量子点样品。本专利技术通过如下技术方案实现。一种在GaAs（511）A衬底上生长高质量InAs量子点的方法，包含以下步骤：（1）生长前准备将清洗后的GaAs衬底送入MBE设备准备室中预抽真空至1×10-8到5×10-7Torr，再将GaAs衬底送入生长室；关闭生长室阀门，在生长室外灌入液氮；进行生长程序设定；（2）对衬底进行In退火除氧在1×10-8-5×10-7Torr的条件下，将衬底升温至200到400℃，In源炉升温至710到750℃，在衬底表面沉积1-3MLIn液滴，去除衬底表面氧化层，此时衬底表面存在InGaAs二维岛和In液滴；（3）衬底表面In液滴的去除In退火后，将衬底升温至480-580℃，原位退火10-30min，去除衬底表面In液滴，获得平坦的衬底表面；（4）InAs量子点的生长：在步骤（3）所得衬底温度为480-580℃，反应室压力为1×10-8-5×10-7Torr的条件下，将In源炉升温至730-815℃，As源炉升温至260-300℃沉积InAs生长量子点。优选的，步骤（1）所述衬底为GaAs（511）A衬底。优选的，步骤（1）所述GaAs（511）A衬底使用前需经丙酮、乙醇、去离子水依次清洗，去除光刻胶后用氮气枪吹干。优选的，步骤（2）所述InAs沉积的厚度在1.5-2.5ML，沉积的速率在0.02-0.15ML/s。该方法得到的GaAs衬底上生长的InAs量子点，依次包括GaAs衬底、InGaAs二维岛以及InAs量子点。对生长出来的量子点样品进行AFM表征，得到的样品表面形貌图表明量子点的密度与均匀性都很好。本专利技术的量子点材料均是采用分子束外延的方法制得。上述方法得到的量子点材料依次包括：GaAs衬底、InGaAs二维岛、InAs量子点。本专利技术描述了采用分子束外延法结合In退火工艺制得高密度、高均匀性的量子点样品的详细步骤。本专利技术公开的方法中，采用In退火的工艺，在去除衬底表面氧化层的同时，In与GaAs衬底发生反应生成InGaAs二维岛，量子点在二维岛处优先成核。二维岛的存在一方面给外延层提供应变能，可以减小浸润层厚度并缩短量子点生长时间；另一方面，由于InGaAs二维岛边缘存在势垒，量子点若想要跨越二维岛边缘进行合并则需要克服势垒，这使得量子点的迁移受到限制。在这种前提下，采用本专利技术中所述的In退火工艺可以明显提高量子点的密度与均匀性。相对于现有技术，本专利技术具有以下优点和有益效果：（1）与传统方法相比，本工艺简单，采用低温沉积In液滴的方法，经原位退火后获得了具有InGaAs二维岛的平坦衬底表面，可以有效降低衬底的退火温度，并且获得表面平整的GaAs衬底。（2）本专利技术中In退火所生成的InGaAs二维岛有助于量子点的形核生长，能够减小量子点生长浸润层的厚度、提高量子点的密度和均匀性。综上所述，本专利技术技术工艺简单，可以明显提高量子点的密度和均匀性。附图说明图1、图2、图3是本专利技术制备的不同沉积厚度的量子点样品的原子力显微镜表面形貌图。图4、图5、图6是在其他制备条件相同的情况下采用常规As退火工艺生长出来的量子点样品的表面形貌图。具体实施方式以下结合实施例对本专利技术作进一步的说明，但本专利技术的实施方式不限于此。实施例1在GaAs衬底上生长高密度、高均匀性的InAs量子点样品主要包含以下步骤：（1）衬底的清洗GaAs（511）A衬底经丙酮、乙醇、去离子水依次清洗，去除光刻胶后用氮气枪吹干；（2）生长前准备将清洗后的衬底送入MBE设备准备室中预抽真空至1×10-8Torr，再将衬底送入生长室；关闭生长室阀门，在生长室外灌入液氮；进行生长程序设定；（3）对衬底进行In退火除氧在1×10-8的条件下，将衬底升温至400℃，In源炉升温至710℃，在衬底表面沉积1MLIn液滴，去除衬底表面氧化层，此时衬底表面存在InGaAs二维岛和In液滴；（4）衬底表面In液滴的去除In退火后，将衬底升温至480℃，原位退火20min，去除衬底表面In液滴，获得平坦的衬底表面；（5）InAs量子点的生长InAs量子点的生长：在步骤（4）所得衬底温度为480℃，反应室压力为1×10-8的条件下，将In源炉升温至730℃，As源炉升温至260℃沉积InAs生长量子点，InAs沉积厚度在1.5ML，沉积速率在0.02ML/s。对生长出来的量子点样品进行AFM表征，测试结果如图1所示，得到的样品表面形貌图表明量子点的密度与均匀性都很好。而通过常规As退火工艺在其他生长条件不变时的AFM结果如图4，图中未观察到量子点生成，说明In退火相较于传统的As退火工艺能有效降低InAs量子点的行核势垒，在较低的InAs沉积量下就能获得质量高，密度合适的量子点样品。实施例2在GaAs衬底上生长高密度、高均匀性的InAs量子点样品主要包含以下步骤：（1）衬底的清洗GaAs（511）A衬底经丙酮、乙醇、去离子水依次清洗，去除光刻胶后用氮气枪吹干；（2）生长前准备将清洗后的衬底送入MBE设备准备室中预抽真空至1×10-7Torr，再将衬底送入生长室；本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在GaAs（511）A衬底上生长高质量InAs量子点的方法，其特征在于，包含以下步骤：（1）量子点生长前In退火工艺：将GaAs衬底送入MBE设备中，在GaAs衬底升温至200‑400℃，In源炉升温至710‑750℃，生长室压力在1×10‑8‑5×10‑7 Torr的条件下，在GaAs衬底表面沉积1‑3 ML In；然后将所得衬底升温至480‑580℃进行原位退火，退火时间为10‑30 min，获得具有InGaAs二维岛的表面平整的GaAs衬底；（2）InAs量子点的生长：在步骤（1）所得衬底温度为480‑580℃，反应室压力为1×10‑8‑5×10‑7 Torr的条件下，将In源炉升温至730‑815℃，As源炉升温至260‑300℃沉积InAs生长量子点。

【技术特征摘要】
1.一种在GaAs（511）A衬底上生长高质量InAs量子点的方法，其特征在于，包含以下步骤：（1）量子点生长前In退火工艺：将GaAs衬底送入MBE设备中，在GaAs衬底升温至200-400℃，In源炉升温至710-750℃，生长室压力在1×10-8-5×10-7Torr的条件下，在GaAs衬底表面沉积1-3MLIn；然后将所得衬底升温至480-580℃进行原位退火，退火时间为10-30min，获得具有InGaAs二维岛的表面平整的GaAs衬底；（2）InAs量子点的生长：在步骤（1）所得衬底温度为480-580℃，反应室压力为1×10-8-5×10-7Torr的条件下，将In源炉升...

【专利技术属性】
技术研发人员：李国强，温雷，冯逸宇，
申请(专利权)人：华南理工大学，
类型：发明
国别省市：广东;44