【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体薄膜沉积应用与半导体设备制造领域,具体地来讲为一种PECVD设备低温控制系统。
技术介绍
PECVD设备在薄膜制备中占有很大的比重,而低温工艺的应用在PECVD设备中同样占有很大的比重,因此保证低温工艺的产能是一个非常重要的事情。目前,在PECVDTEOS低温工艺中,随着薄膜沉积时间的增加,电加热加热盘的温度会高于初始设置温度,沉积后需要给予加热盘降温的时间,该现象严重影响了加工车间的产能。因此需要一种新的加热方式,使得工艺中加热盘的温度保持不变,提高薄膜制备的效率。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于提供一种PECVD设备低温控制系统,解决油温加热过程中,随着薄膜沉积时间的增加,电加热加热盘的温度会高于初始设置温度,沉积后需要给予加热盘降温的时间,该现象严重影响了加工车间的产能的问题。本专利技术是这样实现的,一种PECVD设备低温控制系统,包括:本地温控器、调节阀、油温机以及连接的管道,本地温控器,能够读取加热盘的温度,同时根据自身的PID调节,输出4-20mA的信号来控制调节阀的开度;调节阀,根据本地温控器输入的信号,来调节阀的开度,从而调节管路内液体的流量;油温机,通过调节阀连接至加热盘,通过调节油的温度来控制加热盘的温度。进一步地,油温机内有两个油箱,油箱的温度分别控制,油温机出口为一路管路,油温机内部通过控制四通阀的切换来控制出口流出的是哪一油箱的油,四通阀的切换通过本地温控器控制实现。进一步地,本地温控器包括采用热电偶检测加热盘的温度。进一步地,本地温控器包括输入键盘用于输入设置的油温机内油箱的温度 ...
【技术保护点】
一种PECVD设备低温控制系统,其特征在于,包括:本地温控器、调节阀、油温机以及连接的管道,本地温控器,能够读取加热盘的温度,同时根据自身的PID调节,输出4‑20mA的信号来控制调节阀的开度;调节阀,根据本地温控器输入的信号,来调节阀的开度,从而调节管路内液体的流量;油温机,通过调节阀连接至加热盘,通过调节油的温度来控制加热盘的温度。
【技术特征摘要】
1.一种PECVD设备低温控制系统,其特征在于,包括:本地温控器、调节阀、油温机以及连接的管道,本地温控器,能够读取加热盘的温度,同时根据自身的PID调节,输出4-20mA的信号来控制调节阀的开度;调节阀,根据本地温控器输入的信号,来调节阀的开度,从而调节管路内液体的流量;油温机,通过调节阀连接至加热盘,通过调节油的温度来控制加热盘的温度。2.按照权利要求1所述的PECVD设备低温控制系统,其...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘忠武,周仁,李丹,
申请(专利权)人:沈阳拓荆科技有限公司,
类型:发明
国别省市:辽宁;21
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