弹性波装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种弹性波装置，在压电基板中难以发生极化反转、能够抑制插入损耗的增大。弹性波装置(1)具备：压电基板(2)；设置在压电基板(2)的第一主面(2a)上的第一、第二IDT电极(3A，3B)；和分别与第一、第二IDT电极(3A，3B)连接的多个凸块。压电基板(2)的第一、第二边部分(2a1，2a2)在与压电基板(2)的法线方向以及极化轴方向正交的方向上延伸。与第二边部分(2a2)处的压电基板(2)的沿着极化轴方向的长度相比，第一边部分(2a1)处的上述长度短。第一IDT电极(3A)配置在比第二IDT电极(3B)靠近第一边部分(2a1)的位置。多个凸块具有包括配置为夹着第一IDT电极(3A)的第一、第二凸块(5A，5B)在内的三个以上的第一边凸块，第一、第二凸块(5A，5B)间的距离在各第一边凸块中的彼此相邻的各凸块间的距离之中最短。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及弹性波装置。
技术介绍
以往，弹性波装置被广泛应用于移动电话机等中。例如，在下述的专利文献1中，公开了具有IDT电极的弹性波装置的一例。在弹性波装置的压电基板上，沿着压电基板的一个主面的边部分设有多个焊盘。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2015-002511号公报在如专利文献1所记载的弹性波装置的压电基板中，因压电效应、热释电效应导致的电荷的产生而易于发生极化反转。由此，有时会引起压电特性劣化而弹性波装置的插入损耗变大。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种在压电基板中难以发生极化反转、能够抑制插入损耗的增大的弹性波装置。在本专利技术所涉及的弹性波装置的一个较宽的方案中，具备：压电基板，具有相互对置的第一主面和第二主面、以及在所述第一主面侧相互对置的第一边部分和第二边部分，并且具有从所述第一主面的法线方向发生了倾斜的极化轴方向；第一IDT电极以及第二IDT电极，设置在所述压电基板的所述第一主面上，分别具有相互对置的第一汇流条和第二汇流条、一端与所述第一汇流条连接的多根第一电极指、以及一端与所述第二汇流条连接的多根第二电极指；和多个凸块，设置在所述压电基板的所述第一主面上，分别与所述第一IDT电极和第二IDT电极电连接，所述压电基板的所述第一边部分和第二边部分在与所述压电基板的所述法线方向以及所述极化轴方向正交的方向上延伸，所述第一边部分处的所述压电基板的沿着所述极化轴方向的长度短于所述第二边部分处的所述压电基板的沿着所述极化轴方向的长度，所述第一IDT电极在该第一IDT电极的所述多根第一电极指和第二电极指延伸的方向上，配置在比所述第二IDT电极靠近所述第一边部分的位置，所述多个凸块具有设置为沿着所述第一边部分的包括第一凸块、第二凸块和第三凸块在内的三个以上的第一边凸块，所述第一凸块和第二凸块配置为在与所述第一边部分平行的方向上夹着所述第一IDT电极，所述第一凸块和第二凸块间的距离在各所述第一边凸块中的彼此相邻的凸块间的距离之中最短。在本专利技术所涉及的弹性波装置的另一个较宽的方案中，具备：压电基板，具有相互对置的矩形形状的第一主面和第二主面、在所述第一主面侧相互对置的第一边部分和第二边部分、以及对该第一边部分和第二边部分进行连接的第三边部分和第四边部分，并且具有从所述第一主面的法线方向发生了倾斜的极化轴方向；第一IDT电极以及第二IDT电极，设置在所述压电基板的所述第一主面上，分别具有相互对置的第一汇流条和第二汇流条、一端与所述第一汇流条连接的多根第一电极指、以及一端与所述第二汇流条连接的多根第二电极指；和多个凸块，设置在所述压电基板的所述第一主面上，分别与所述第一IDT电极和第二IDT电极电连接，所述压电基板的所述第一边部分和第二边部分沿着所述压电基板的所述第一主面且在与所述极化轴方向正交的方向上延伸，所述第一边部分处的所述压电基板的沿着所述极化轴方向的长度短于所述第二边部分处的所述压电基板的沿着所述极化轴方向的长度，所述第一IDT电极在该第一IDT电极的所述多根第一电极指和第二电极指延伸的方向上，配置在比所述第二IDT电极靠近所述第一边部分的位置，所述多个凸块具有设置为沿着所述第一边部分的包括第一凸块、第二凸块和第三凸块在内的三个以上的第一边凸块，在与所述第一边部分平行的方向上，所述第一凸块和第二凸块配置为夹着所述第一IDT电极，所述第一凸块和第二凸块间的距离比各所述第一边凸块中其他的彼此相邻的凸块间的距离短。在本专利技术的弹性波装置的另一特定的方案中，所述多个凸块具有设置为沿着所述压电基板的所述第二边部分的包括多个第四凸块在内的多个第二边凸块，所述第一凸块与所述第二凸块的距离比各所述第二边凸块中的彼此相邻的凸块间的距离的任一者都短。在该情况下，压电基板更难以发生变形，从而能够有效地抑制压电效应导致的电荷的产生。因此，更难以发生极化反转，能够更进一步抑制插入损耗的增大。在本专利技术的弹性波装置的又一其他的特定的方案中，所述第一凸块与所述第二凸块的距离在所有的各所述凸块的彼此相邻的凸块间的距离之中最短。在该情况下，压电基板更难以发生变形，从而能够更有效地抑制压电效应导致的电荷的产生。在本专利技术的弹性波装置的另一特定的方案中，所述第一凸块以及所述第二凸块中的至少任一者与所述第一IDT电极连接。在该情况下，能够使由于压电效应等而产生的电荷容易地移动到外部。因此，更难以发生极化反转，能够更进一步抑制插入损耗的增大。在本专利技术的弹性波装置的又一特定的方案中，所述第一凸块以及所述第二凸块与所述第一IDT电极连接。在该情况下，能够使由于压电效应等而产生的电荷更容易地移动到外部。在本专利技术的弹性波装置的又一特定的方案中，还具备对所述第一IDT电极和所述多个凸块进行连接的连接布线，所述连接布线配置在比所述第一IDT电极靠近所述压电基板的所述第一边部分的位置。该情况下，在第一边部分附近产生的电荷更难以到达设有第一IDT电极的第一、第二电极指的部分。所以，能够更进一步抑制插入损耗的增大。专利技术效果根据本专利技术，能够提供在压电基板中难以发生极化反转、能够抑制插入损耗的增大的弹性波装置。附图说明图1是本专利技术的第一实施方式所涉及的弹性波装置的示意性俯视图。图2是本专利技术的第一实施方式中的压电基板的立体图。图3是表示本专利技术的第一实施方式中的第一IDT电极的电极构造的局部切除俯视图。图4是比较例的弹性波装置的示意性俯视图。图5是本专利技术的第二实施方式所涉及的弹性波装置的示意性俯视图。图6是本专利技术的第三实施方式所涉及的弹性波装置的示意性俯视图。符号说明1…弹性波装置2…压电基板2a、2b…第一、第二主面2a1～2a4…第一～第四边部分2b1…第五边部分2c、2d…第一、第二侧面3A、3B…第一、第二IDT电极3Aa1、3Aa2…第一、第二汇流条3Ab1、3Ab2…第一、第二电极指5A～5F…第一～第六凸块6A、6B…连接布线11…弹性波装置13B…第二IDT电极15A…第一凸块16A…连接布线21…弹性波装置25B…第二凸块26A…连接布线101…弹性波装置105A…第一凸块106A…连接布线具体实施方式以下，参照附图来说明本专利技术的具体实施方式，以使本专利技术变得明了。此外，预先指出本说明书所记载的各实施方式仅为例示性，在不同的实施方式之间能够进行构成的局部置换或组合。图1是本专利技术的第一实施方式所涉及的弹性波装置的示意性俯视图。弹性波装置1具有压电基板2。压电基板2具有相互对置的第一主面2a以及第二主面。第一主面2a以及第二主面具有矩形形状。第一主面2a具有相互对置的第一、第二边部分2a1、2a2。第一主面2a还具有对第一、第二边部分2a1、2a2进行连接的第三、第四边部分2a3、2a4。压电基板2由LiNbO3、LiTaO3等的压电单晶构成。此外，压电基板2也可以由压电陶瓷等构成。图2是压电基板2的立体图。压电基板2具有与第一主面2a的法线方向平行的厚度方向Z。压电基板2还具有从第一主面2a的法线方向发生倾斜的极化轴方向C。压电基板2的第一边部分2a1以及第二边部分2a2在与厚度方向Z以及极化轴方向C正交的方向上延伸。压电基板2的沿着厚度方向Z的长度在第一主面2a中的任意位置均相等。另一方面，详本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种弹性波装置，其中，具备：压电基板，具有相互对置的第一主面和第二主面、以及在所述第一主面侧相互对置的第一边部分和第二边部分，并且具有从所述第一主面的法线方向发生了倾斜的极化轴方向；第一IDT电极以及第二IDT电极，设置在所述压电基板的所述第一主面上，分别具有相互对置的第一汇流条和第二汇流条、一端与所述第一汇流条连接的多根第一电极指、以及一端与所述第二汇流条连接的多根第二电极指；和多个凸块，设置在所述压电基板的所述第一主面上，分别与所述第一IDT电极和第二IDT电极电连接，所述压电基板的所述第一边部分和第二边部分在与所述压电基板的所述法线方向以及所述极化轴方向正交的方向上延伸，所述第一边部分处的所述压电基板的沿着所述极化轴方向的长度短于所述第二边部分处的所述压电基板的沿着所述极化轴方向的长度，所述第一IDT电极在该第一IDT电极的所述多根第一电极指和第二电极指延伸的方向上，配置在比所述第二IDT电极靠近所述第一边部分的位置，所述多个凸块具有设置为沿着所述第一边部分的包括第一凸块、第二凸块和第三凸块在内的三个以上的第一边凸块，所述第一凸块和第二凸块配置为在与所述第一边部分平行的方向上夹着所述第一IDT电极，所述第一凸块和第二凸块间的距离在各所述第一边凸块中的彼此相邻的凸块间的距离之中最短。...

【技术特征摘要】
2015.06.24 JP 2015-1264901.一种弹性波装置，其中，具备：压电基板，具有相互对置的第一主面和第二主面、以及在所述第一主面侧相互对置的第一边部分和第二边部分，并且具有从所述第一主面的法线方向发生了倾斜的极化轴方向；第一IDT电极以及第二IDT电极，设置在所述压电基板的所述第一主面上，分别具有相互对置的第一汇流条和第二汇流条、一端与所述第一汇流条连接的多根第一电极指、以及一端与所述第二汇流条连接的多根第二电极指；和多个凸块，设置在所述压电基板的所述第一主面上，分别与所述第一IDT电极和第二IDT电极电连接，所述压电基板的所述第一边部分和第二边部分在与所述压电基板的所述法线方向以及所述极化轴方向正交的方向上延伸，所述第一边部分处的所述压电基板的沿着所述极化轴方向的长度短于所述第二边部分处的所述压电基板的沿着所述极化轴方向的长度，所述第一IDT电极在该第一IDT电极的所述多根第一电极指和第二电极指延伸的方向上，配置在比所述第二IDT电极靠近所述第一边部分的位置，所述多个凸块具有设置为沿着所述第一边部分的包括第一凸块、第二凸块和第三凸块在内的三个以上的第一边凸块，所述第一凸块和第二凸块配置为在与所述第一边部分平行的方向上夹着所述第一IDT电极，所述第一凸块和第二凸块间的距离在各所述第一边凸块中的彼此相邻的凸块间的距离之中最短。2.一种弹性波装置，其中，具备：压电基板，具有相互对置的矩形形状的第一主面和第二主面、在所述第一主面侧相互对置的第一边部分和第二边部分、以及对该第一边部分和第二边部分进行连接的第三边部分和第四边部分，并且具有从所述第一主面的法线方向发生了倾斜的极化轴方向；第一IDT电极以及第二IDT电极，设置在所述压电基板的所述第一
\t主面上，分别具有相互对置的第一汇流条和第二汇流条、一端...

【专利技术属性】
技术研发人员：安田润平，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP