弹性波装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种弹性波装置，其频率温度系数（ＴＣＦ）小，插入损耗少，机电耦合系数大，而且可以增大电极指间距。弹性波装置（１）包括：压电体（１０）、ＩＤＴ电极（３０）、和覆盖ＩＤＴ电极（３０）的电介质层（２０）。电介质层（２０）的频率温度系数的符号与压电体（１０）相反或相同，频率温度系数的绝对值小于压电体（１０）。ＩＤＴ电极（３０）的电极指（３１ａ）、（３１ｂ）具有第１电极层（２１）和第２电极层（２２）。第１电极层（２１）位于沟槽（１０ａ）内部；第２电极层（２２）位于沟槽（１０ａ）上端面的上侧。第１电极层２１的（ρ３×Ｃ４４）１／２大于第２电极层（２２）的（ρ３×Ｃ４４）１／２。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于例如共振子和频带滤波器的弹性波装置，具体涉及具有被绝缘层 覆盖的IDT电极的弹性波装置。
技术介绍
在移动通信系统等中使用的双工器(DPX =Duplexer)和RF滤波器中，存在两方面 的要求频带要宽且温度特性良好。同时满足宽频带且温度特性良好的弹性表面波装置已 经在例如专利文献1中公开，该弹性表面波装置的IDT电极由填充在LiTaO3基板中的Al组 成，被具有正频率温度系数(TCF Temperature Coefficient of Frequency)的 SiO2 层覆 盖。如专利文献1公开的弹性表面波装置那样，通过将IDT电极嵌入压电基板，会得到较大 的机电耦合系数(k2)。其结果将实现宽频带。此外，利用具有正TCF的SiA层覆盖IDT电 极，会实现良好的温度特性。专利文献1 :W02006/011417 Al 号公报在IDT电极嵌入压电基板的弹性波装置中，要得到更大的机电耦合系数(k2)，优选 提高IDT电极的密度。另外，从减小插入损耗的观点出发，优选使用电阻率低的材料，将 IDT电极的电极指形成得较厚，减小电极指的电阻。然而，将密度高的IDT电极形成本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种弹性波装置，其特征在于，包括：压电体，形成有多条沟槽；ＩＤＴ电极，具有一部分位于所述多条沟槽内的多个电极指；和电介质层，以覆盖所述ＩＤＴ电极的方式形成在所述压电体上，其频率温度系数的符号与所述压电体的频率温度系数的符号相反或相同，所述电介质层的频率温度系数的绝对值小于所述压电体的频率温度系数的绝对值，所述电极指具有：第１电极层，位于所述沟槽的内部；和第２电极层，形成在所述第１电极层上、位于所述沟槽上端面的上侧，所述第１电极层的平均密度ρａ的３次方与平均硬度Ｃ４４ａ的乘积的开平方（ρａ３×Ｃ４４ａ）１／２大于第２电极层的平均密度ρｂ的３次方与平均硬度Ｃ４４ｂ的乘积的开平方（ρｂ３×Ｃ４４...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：木村哲也，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：JP