一种氧化铝基化学机械抛光液制造技术

本发明专利技术涉及一种氧化铝基化学机械抛光液，由以下质量份数的组分组成：氧化铝粉末16～20份、辛癸酸甘油酯18～22份、叔丁基溶纤剂14～18份、脂肪酰二乙醇胺12～16份、醇醚磺基琥珀酸单酯二钠盐18～22份、丁基卡必醇14～18份、多聚磷酸钠12～16份、山梨酸钙18～22份、癸酸甘油酯14～18份、草酸12～16份、巯基苯骈噻唑钠18～22份、二乙烯三胺五甲叉膦酸14～18份、对硝基苯甲酸14～18份、十水四硼酸钠12～16份、氧化硅粉末18～22份、氮化硅粉末14～18份、百菌清12～16份、三乙醇胺18～22份、黄原胶14～18份、咪唑烷基脲12～16份、鲸蜡醇18～22份、二甘醇二苯甲酸酯14～18份、十溴二苯乙烷12～16份、水10000～20000份。本发明专利技术中的产品具有较好的抛光效果。

Alumina based chemical mechanical polishing liquid

\u672c\u53d1\u660e\u6d89\u53ca\u4e00\u79cd\u6c27\u5316\u94dd\u57fa\u5316\u5b66\u673a\u68b0\u629b\u5149\u6db2\uff0c\u7531\u4ee5\u4e0b\u8d28\u91cf\u4efd\u6570\u7684\u7ec4\u5206\u7ec4\u6210\uff1a\u6c27\u5316\u94dd\u7c89\u672b16\uff5e20\u4efd\u3001\u8f9b\u7678\u9178\u7518\u6cb9\u916f18\uff5e22\u4efd\u3001\u53d4\u4e01\u57fa\u6eb6\u7ea4\u524214\uff5e18\u4efd\u3001\u8102\u80aa\u9170\u4e8c\u4e59\u9187\u80fa12\uff5e16\u4efd\u3001\u9187\u919a\u78fa\u57fa\u7425\u73c0\u9178\u5355\u916f\u4e8c\u94a0\u76d018\uff5e22\u4efd\u3001\u4e01\u57fa\u5361\u5fc5\u918714\uff5e18\u4efd\u3001\u591a\u805a\u78f7\u9178\u94a012\uff5e16\u4efd\u3001\u5c71\u68a8\u9178\u949918\uff5e22\u4efd\u3001\u7678\u9178\u7518\u6cb9\u916f14\uff5e18\u4efd\u3001\u8349\u917812\uff5e16\u4efd\u3001\u5def\u57fa\u82ef\u9a88\u567b\u5511\u94a018\uff5e22\u4efd\u3001\u4e8c\u4e59\u70ef\u4e09\u80fa\u4e94\u7532\u53c9\u81a6\u917814\uff5e18\u4efd\u3001\u5bf9\u785d\u57fa\u82ef\u7532\u917814\uff5e18\u4efd\u3001\u5341\u6c34\u56db\u787c\u9178\u94a012\uff5e16\u4efd\u3001\u6c27\u5316\u7845\u7c89\u672b18\uff5e22\u4efd\u3001\u6c2e\u5316\u7845\u7c89\u672b14\uff5e18\u4efd\u3001\u767e\u83cc\u6e0512\uff5e16\u4efd\u3001\u4e09\u4e59\u9187\u80fa18\uff5e22\u4efd\u3001\u9ec4\u539f\u80f614\uff5e18\u4efd\u3001\u54aa\u5511\u70f7\u57fa\u813212\uff5e16\u4efd\u3001\u9cb8\u8721\u918718\uff5e22\u4efd\u3001\u4e8c\u7518\u9187\u4e8c\u82ef\u7532\u9178\u916f14\uff5e18\u4efd\u3001 Ten bromine ethane 12 ~ ~ two to 16 parts, water of 10000 ~ 20000 copies. The product of the invention has good polishing effect.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种氧化铝基化学机械抛光液，属于抛光剂

技术介绍
抛光液是一种不含任何硫、磷、氯添加剂的水溶性抛光剂，抛光液具有良好的去油污，防锈，清洗和增光性能，并能使金属制品超过原有的光泽。性能稳定、无毒，对环境无污染等作用。本产品性能稳定、无毒，对环境无污染等作用，光液使用方法：包括棘轮扳手、开口扳手，批咀、套筒扳手，六角扳手，螺丝刀等，铅锡合金、锌合金等金属产品经过研磨以后，再使用抛光剂配合振动研磨光饰机，滚桶式研磨光式机进行抛光；1抛光剂投放量为(根据不同产品的大小，光饰机的大小和各公司的产品光亮度要求进行适当配置)，2：抛光时间：根据产品的状态来定。3、抛光完成后用清水清洗一次并且烘干即可。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种氧化铝基化学机械抛光液，以便更好地实现氧化铝基化学机械抛光液的功能。为了实现上述目的，本专利技术的技术方案如下。一种氧化铝基化学机械抛光液，由以下质量份数的组分组成：、氧化铝粉末16～20份、辛癸酸甘油酯18～22份、叔丁基溶纤剂14～18份、脂肪酰二乙醇胺12～16份、醇醚磺基琥珀酸单酯二钠盐18～22份、丁基卡必醇14～18份、多聚磷酸钠12～16份、山梨酸钙18～22份、癸酸甘油酯14～18份、草酸12～16份、巯基苯骈噻唑钠18～22份、二乙烯三胺五甲叉膦酸14～18份、对硝基苯甲酸14～18份、十水四硼酸钠12～16份、氧化硅粉末18～22份、氮化硅粉末14～18份、百菌清12～16份、三乙醇胺18～22份、黄原胶14～18份、咪唑烷基脲12～16份、鲸蜡醇18～22份、二甘醇二苯甲酸酯14～18份、十溴二苯乙烷12～16份、水10000～20000份。进一步地，上述氧化铝基化学机械抛光液，由以下质量份数的组分组成：氧化铝粉末16份、辛癸酸甘油酯18份、叔丁基溶纤剂14份、脂肪酰二乙醇胺12份、醇醚磺基琥珀酸单酯二钠盐18份、丁基卡必醇14份、多聚磷酸钠12份、山梨酸钙18份、癸酸甘油酯14份、草酸12份、巯基苯骈噻唑钠18份、二乙烯三胺五甲叉膦酸14份、对硝基苯甲酸14份、十水四硼酸钠12份、氧化硅粉末18份、氮化硅粉末14份、百菌清12份、三乙醇胺18份、黄原胶14份、咪唑烷基脲12份、鲸蜡醇18份、二甘醇二苯甲酸酯14份、十溴二苯乙烷12份、水10000份。进一步地，上述氧化铝基化学机械抛光液，由以下质量份数的组分组成：氧化铝粉末18份、辛癸酸甘油酯20份、叔丁基溶纤剂16份、脂肪酰二乙醇胺14份、醇醚磺基琥珀酸单酯二钠盐20份、丁基卡必醇16份、多聚磷酸钠14份、山梨酸钙20份、癸酸甘油酯16份、草酸14份、巯基苯骈噻唑钠20份、二乙烯三胺五甲叉膦酸16份、对硝基苯甲酸16份、十水四硼酸钠14份、氧化硅粉末20份、氮化硅粉末16份、百菌清14份、三乙醇胺20份、黄原胶16份、咪唑烷基脲14份、鲸蜡醇20份、二甘醇二苯甲酸酯16份、十溴二苯乙烷14份、水15000份。进一步地，上述氧化铝基化学机械抛光液，由以下质量份数的组分组成：氧化铝粉末20份、辛癸酸甘油酯22份、叔丁基溶纤剂18份、脂肪酰二乙醇胺16份、醇醚磺基琥珀酸单酯二钠盐22份、丁基卡必醇18份、多聚磷酸钠16份、山梨酸钙22份、癸酸甘油酯18份、草酸16份、巯基苯骈噻唑钠22份、二乙烯三胺五甲叉膦酸18份、对硝基苯甲酸18份、十水四硼酸钠16份、氧化硅粉末22份、氮化硅粉末18份、百菌清16份、三乙醇胺22份、黄原胶18份、咪唑烷基脲16份、鲸蜡醇22份、二甘醇二苯甲酸酯18份、十溴二苯乙烷16份、水20000份。进一步地，上述氧化铝基化学机械抛光液制备方法步骤如下：(1)将所述质量份数的氧化铝粉末、辛癸酸甘油酯、叔丁基溶纤剂、脂肪酰二乙醇胺、醇醚磺基琥珀酸单酯二钠盐、二乙烯三胺五甲叉膦酸、对硝基苯甲酸、十水四硼酸钠、氧化硅粉末、氮化硅粉末、二甘醇二苯甲酸酯、十溴二苯乙烷加入上述质量份数的水中，超声高速分散，超声波频率为20～40KHz，分散速度5000～5400r/min，分散时间为30～60min；(2)加入所述质量份数的丁基卡必醇、多聚磷酸钠、山梨酸钙、癸酸甘油酯、草酸、巯基苯骈噻唑钠，超声高速分散，超声波频率为20～35KHz，分散速度4800～5200r/min，分散时间为30～50min；(3)加入所述质量份数的百菌清、三乙醇胺、黄原胶、咪唑烷基脲、鲸蜡醇，超声高速分散，超声波频率为20～30KHz，分散速度4600～4800r/min，分散时间为20～40min；混合均匀后制得本品。该专利技术的有益效果在于：本氧化铝基化学机械抛光液制备工艺方法简单，本专利技术中的产品具有较好的抛光效果，并具有较好的灭菌功能，其性能也较为优异.对人体伤害小。具体实施方式下面结合实施例对本专利技术的具体实施方式进行描述，以便更好的理解本专利技术。实施例1本实施例中的氧化铝基化学机械抛光液，由以下质量份数的组分组成：氧化铝粉末16份、辛癸酸甘油酯18份、叔丁基溶纤剂14份、脂肪酰二乙醇胺12份、醇醚磺基琥珀酸单酯二钠盐18份、丁基卡必醇14份、多聚磷酸钠12份、山梨酸钙18份、癸酸甘油酯14份、草酸12份、巯基苯骈噻唑钠18份、二乙烯三胺五甲叉膦酸14份、对硝基苯甲酸14份、十水四硼酸钠12份、氧化硅粉末18份、氮化硅粉末14份、百菌清12份、三乙醇胺18份、黄原胶14份、咪唑烷基脲12份、鲸蜡醇18份、二甘醇二苯甲酸酯14份、十溴二苯乙烷12份、水10000份。上述氧化铝基化学机械抛光液制备方法步骤如下：(1)将所述质量份数的氧化铝粉末、辛癸酸甘油酯、叔丁基溶纤剂、脂肪酰二乙醇胺、醇醚磺基琥珀酸单酯二钠盐、二乙烯三胺五甲叉膦酸、对硝基苯甲酸、十水四硼酸钠、氧化硅粉末、氮化硅粉末、二甘醇二苯甲酸酯、十溴二苯乙烷加入上述质量份数的水中，超声高速分散，超声波频率为20kHz，分散速度5400r/min，分散时间为60min；(2)加入所述质量份数的丁基卡必醇、多聚磷酸钠、山梨酸钙、癸酸甘油酯、草酸、巯基苯骈噻唑钠，超声高速分散，超声波频率为20kHz，分散速度5200r/min，分散时间为50min；(3)加入所述质量份数的百菌清、三乙醇胺、黄原胶、咪唑烷基脲、鲸蜡醇，超声高速分散，超声波频率为20kHz，分散速度4800r/min，分散时间为40min；混合均匀后制得本品。实施例2本实施例中的氧化铝基化学机械抛光液，由以下质量份数的组分组成：氧化铝粉末18份、辛癸酸甘油酯20份、叔丁基溶纤剂16份、脂肪酰二乙醇胺14份、醇醚磺基琥珀酸单酯二钠盐20份、丁基卡必醇16份、多聚磷酸钠14份、山梨酸钙20份、癸酸甘油酯16份、草酸14份、巯基苯骈噻唑钠20份、二乙烯三胺五甲叉膦酸16份、对硝基苯甲酸16份、十水四硼酸钠14份、氧化硅粉末20份、氮化硅粉末16份、百菌清14份、三乙醇胺20份、黄原胶16份、咪唑烷基脲14份、鲸蜡醇20份、二甘醇二苯甲酸酯16份、十溴二苯乙烷14份、水15000份。上述氧化铝基化学机械抛光液制备方法步骤如下：(1)将所述质量份数的氧化铝粉末、辛癸酸甘油酯、叔丁基溶纤剂、脂肪酰二乙醇胺、醇醚磺基琥珀酸单酯二钠盐、二乙烯三胺五甲叉膦酸、对硝基苯甲酸、十水四硼酸钠、氧化本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氧化铝基化学机械抛光液，其特征在于：由以下质量份数的组分组成：、氧化铝粉末16～20份、辛癸酸甘油酯18～22份、叔丁基溶纤剂14～18份、脂肪酰二乙醇胺12～16份、醇醚磺基琥珀酸单酯二钠盐18～22份、丁基卡必醇14～18份、多聚磷酸钠12～16份、山梨酸钙18～22份、癸酸甘油酯14～18份、草酸12～16份、巯基苯骈噻唑钠18～22份、二乙烯三胺五甲叉膦酸14～18份、对硝基苯甲酸14～18份、十水四硼酸钠12～16份、氧化硅粉末18～22份、氮化硅粉末14～18份、百菌清12～16份、三乙醇胺18～22份、黄原胶14～18份、咪唑烷基脲12～16份、鲸蜡醇18～22份、二甘醇二苯甲酸酯14～18份、十溴二苯乙烷12～16份、水10000～20000份。

【技术特征摘要】
1.一种氧化铝基化学机械抛光液，其特征在于：由以下质量份数的组分组成：、氧化铝粉末16～20份、辛癸酸甘油酯18～22份、叔丁基溶纤剂14～18份、脂肪酰二乙醇胺12～16份、醇醚磺基琥珀酸单酯二钠盐18～22份、丁基卡必醇14～18份、多聚磷酸钠12～16份、山梨酸钙18～22份、癸酸甘油酯14～18份、草酸12～16份、巯基苯骈噻唑钠18～22份、二乙烯三胺五甲叉膦酸14～18份、对硝基苯甲酸14～18份、十水四硼酸钠12～16份、氧化硅粉末18～22份、氮化硅粉末14～18份、百菌清12～16份、三乙醇胺18～22份、黄原胶14～18份、咪唑烷基脲12～16份、鲸蜡醇18～22份、二甘醇二苯甲酸酯14～18份、十溴二苯乙烷12～16份、水10000～20000份。2.根据权利要求1所述的氧化铝基化学机械抛光液，其特征在于：所述氧化铝基化学机械抛光液由以下质量份数的组分组成：氧化铝粉末16份、辛癸酸甘油酯18份、叔丁基溶纤剂14份、脂肪酰二乙醇胺12份、醇醚磺基琥珀酸单酯二钠盐18份、丁基卡必醇14份、多聚磷酸钠12份、山梨酸钙18份、癸酸甘油酯14份、草酸12份、巯基苯骈噻唑钠18份、二乙烯三胺五甲叉膦酸14份、对硝基苯甲酸14份、十水四硼酸钠12份、氧化硅粉末18份、氮化硅粉末14份、百菌清12份、三乙醇胺18份、黄原胶14份、咪唑烷基脲12份、鲸蜡醇18份、二甘醇二苯甲酸酯14份、十溴二苯乙烷12份、水10000份。3.根据权利要求1至2所述的氧化铝基化学机械抛光液，其特征在于：所述氧化铝基化学机械抛光液由以下质量份数的组分组成：氧化铝粉末18份、辛癸酸甘油酯20份、叔丁基溶纤剂16份、脂肪酰二乙醇胺14份、醇醚磺基琥珀酸单酯二钠盐20份、丁基卡必醇16份、多聚磷酸钠14份、山梨酸钙20份、癸酸甘油酯16份、草酸14份、巯基苯骈噻唑钠20份、二乙烯三胺五甲叉膦酸16份、对硝基苯甲酸16...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒲昌权，白韵竹，
申请(专利权)人：广安欧奇仕电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51