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本发明涉及一种氧化铝基化学机械抛光液，由以下质量份数的组分组成：氧化铝粉末16～20份、辛癸酸甘油酯18～22份、叔丁基溶纤剂14～18份、脂肪酰二乙醇胺12～16份、醇醚磺基琥珀酸单酯二钠盐18～22份、丁基卡必醇14～18份、多聚磷酸钠...
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