加速器阴极-磁体套筒同轴度的测量方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及加速器阴极‑磁体套筒同轴度的测量方法及装置，旨在解决传统方法在对中时无法给出同轴度偏差的大小和方向的弊端。该方法包括步骤：(1)将图像采集单元置于磁体套筒中的初始角度下；(2)采集阴极图像；(3)通过边缘提取算法得到阴极外圆轮廓线；(4)将所得到的外圆轮廓线经圆测量算法处理得到其圆心坐标O1；(5)将图像采集单元旋转到任意不同的角度并重新定位于磁体套筒中；(6)重复步骤(2)～步骤(5)，进行N次测量，分别获取相应的阴极外圆轮廓线的圆心坐标；(7)将步骤(4)和(6)中的圆心坐标拟合为一个圆，则该圆的直径即为阴极‑磁体套筒同轴度，O1相对于该圆圆心的角度即为初始角度时阴极的偏移方向。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光学精密测量
，具体涉及一种加速器与磁体装配过程中阴极-磁体套筒同轴度的测量方法及装置。
技术介绍
微波器件由于工作频率高，其产生效率对阴极(电子枪)的尺寸和位置精度的敏感性特别高，因此对加工和装配的工艺提出了严苛的要求。其中驱动微波产生器件的加速器二极管阴极与磁体内套筒的装配同轴度是影响微波产生效率的重要因素之一。目前微波产生系统加速器与磁体装配过程中主要采用对心滑块检验同轴度是否符合要求，该方法存在以下几个缺点：(1)该方法属于检验方法而不属于测量方法，只能检验同轴度是否达到要求，无法给出同轴度偏差的大小及方向，并且用这种方法进行装配调心耗时较长；(2)采用该方法进行对心存在较大的随机误差和系统误差：其中，随机误差来自于对心滑块外圆柱面与套筒内圆柱面的间隙、对心滑块内圆柱面与阴极外圆柱面的间隙以及对心滑块本身由于加工带来的同轴度偏差；系统误差来自于当系统水平放置进行测量时，由于重力作用，将对心滑块外圆柱面与套筒内圆柱面的间隙大部分集中在上部，使得“对中”后的阴极位置偏下；(3)对心滑块具有一定的导向作用，检验装配时由于间隙的存在使得阴极发生弹性变形以适应对心滑块，对中后取走对心滑块，阴极便又恢复到原先具有偏差的位置上；(4)该方法属于接触法，检验的过程中会对阴极造成磕碰和磨损。
技术实现思路
基于以上背景，本专利技术提出了一种基于旋转相机法与机器视觉技术的加r>速器阴极-磁体套筒同轴度的测量方法及装置，旨在解决传统方法在对中时无法给出同轴度偏差的大小及方向、对中精度差以及对被测目标物有损伤等问题。本专利技术的技术方案是：加速器阴极-磁体套筒同轴度的测量方法，其特征在于：包括以下步骤：(1)将带有刚性定位支撑的图像采集单元定位于磁体套筒中的初始标准角度下；(2)利用图像采集单元采集阴极的图像；(3)通过边缘提取算法处理，得到阴极外圆轮廓线；(4)将步骤(3)中得到的阴极外圆轮廓线经过圆测量算法处理得到阴极外圆轮廓线的圆心坐标，记为O1；(5)将带有刚性定位支撑的图像采集单元旋转到任意不同的角度并重新定位于磁体套筒中；(6)重复步骤(2)～步骤(5)，共进行N次测量，分别获取相应的阴极外圆轮廓线的圆心坐标，依次记为O2、O3，……，ON；(7)采用圆测量算法将步骤(4)和(6)中的O1、O2、O3，……，ON坐标拟合为一个圆，得到该圆的直径和圆心坐标，则该圆的直径即为阴极端面与磁体套筒的同轴度，O1相对于该圆圆心的角度即为初始标准角度时阴极的偏移方向。上述步骤(6)中N≥3，可以通过拟合减小单次测量误差，提高测量精度。本专利技术还提供了一种采用上述测量方法对加速器阴极-磁体套筒同轴度进行测量的装置，其特殊之处在于：包括图像采集单元、刚性定位支撑以及图像处理与输出单元；图像采集单元用于采集阴极的图像，并通过数据线或者无线网络与外部的图像处理与输出单元通信；刚性定位支撑为多点接触式支撑结构，用于将图像采集单元固定在磁体套筒中任意角度下；刚性定位支撑的接触点所在圆半径是可调的，并且定位后能够锁死；图像处理与输出单元将图像采集单元采集的图像处理后得到阴极-磁体套筒的同轴度和阴极的偏移方向，并将所得结果输出。基于上述基本方案，本专利技术还作出如下优化：上述测量装置还包括照明系统，用于对阴极进行照明，以便图像采集单元更好的采集阴极图像。上述刚性定位支撑的接触点有6个。上述图像采集单元的光学系统由透镜组和面阵CCD组成。上述面阵CCD的光敏面与磁体套筒的轴线垂直，面阵CCD的面阵中心在磁体套筒的轴线附近。本专利技术具有以下有益效果：1.相比传统使用对心滑块检验同轴度的方法，本专利技术可以给出同轴度的大小以及偏差方向，为装配对心提供依据；2、本专利技术采用旋转图像采集单元的方法最大可将偏差放大至原先的2倍，并且通过将多角度测量结果拟合的方法可以大大提高测量精度；3.本专利技术通过旋转图像采集单元的方法测量同轴度，图像采集单元的光学系统的轴线与磁体套筒轴线的偏差不反映在最终的测量结果上，因此对光学系统的装配不必提出很高的要求，在测量同轴度时也不需要预先调整光学系统的轴线，简化了操作程序；4、本专利技术属于非接触测量方法，不破坏阴极本身的状态，且无重力影响，消除了传统测量方法的系统误差。说明书附图图1是传统同轴度检验工装-对心滑块的结构示意图；图中标号：1-磁体，2-磁体套筒，3-阴极，4-图像采集单元，41-透镜组，42-面阵CCD，5-刚性定位支撑，6-图像处理与输出单元，7-照明系统；图2是本专利技术所提供的同轴度测量装置的结构示意图；图3是本专利技术所提供的同轴度的测量方法测量过程示意图；图中：A-CCD面阵中心；B-磁体套筒的轴线位置；C1-初始标准角度下经图像处理得到的阴极外轮廓线；CN‐不同角度下经图像处理得到的阴极外轮廓线；O1-初始标准角度下经图像处理得到的阴极外轮廓线圆心；C-不同角度下经图像处理得到的阴极外轮廓线圆心轨迹拟合圆；θerror-偏移方向；Derror-同轴度；图4是本专利技术的刚性定位支撑的其中一种形式的结构示意图；图中：51-支撑块；52-内支撑筒；53-螺母；54-外滑动筒；55-窗口。具体实施方式下面通过附图和具体实施方式对本专利技术作进一步的说明。结合图1和图3所示，本专利技术所提供的加速器阴极-磁体套筒同轴度的测量方法包括以下步骤：(1)将带有刚性定位支撑5的图像采集单元4定位于磁体套筒2中的初始标准角度下；(2)利用图像采集单元4采集阴极3的图像；(3)通过边缘提取算法处理，得到阴极外圆轮廓线；(4)将步骤(3)中得到的阴极3外圆轮廓线经过圆测量算法处理得到阴极外圆轮廓线的圆心坐标，记为O1；(5)将带有刚性定位支撑5的图像采集单元4旋转到任意不同的角度并重新定位于磁体套筒2中；(6)重复步骤(2)～步骤(5)，共进行N次测量，分别获取相应的阴极外圆轮廓线CN的圆心坐标，依次记为O2、O3，……，ON，N≥3时可通过拟合减小单次测量误差，提高测量精度；(7)采用圆测量算法将步骤(4)和(6)中的O1、O2、O3，……，ON坐标拟合为一个圆C，得到圆C的直径Derror和圆心坐标，则圆C的直径Derror即为阴极3端面与磁体套筒2的同轴度，O1相对于圆C圆心的角度θerror即为初始标准角度时阴极3的偏移方向。...

【技术保护点】
加速器阴极‑磁体套筒同轴度的测量方法，其特征在于：包括以下步骤：(1)将带有刚性定位支撑的图像采集单元定位于磁体套筒中的初始标准角度下；(2)利用图像采集单元采集阴极的图像；(3)通过边缘提取算法处理，得到阴极外圆轮廓线；(4)将步骤(3)中得到的阴极外圆轮廓线经过圆测量算法处理得到阴极外圆轮廓线的圆心坐标，记为O1；(5)将带有刚性定位支撑的图像采集单元旋转到任意不同的角度并重新定位于磁体套筒中；(6)重复步骤(2)～步骤(5)，共进行N次测量，分别获取相应的阴极外圆轮廓线的圆心坐标，依次记为O2、O3，……，ON；(7)采用圆测量算法将步骤(4)和(6)中的O1、O2、O3，……，ON坐标拟合为一个圆，得到该圆的半径和圆心坐标，则该圆的直径即为阴极端面与磁体套筒的同轴度，O1相对于该圆圆心的角度即为初始标准角度时阴极的偏移方向。

【技术特征摘要】
1.加速器阴极-磁体套筒同轴度的测量方法，其特征在于：包括以下步
骤：
(1)将带有刚性定位支撑的图像采集单元定位于磁体套筒中的初始标准
角度下；
(2)利用图像采集单元采集阴极的图像；
(3)通过边缘提取算法处理，得到阴极外圆轮廓线；
(4)将步骤(3)中得到的阴极外圆轮廓线经过圆测量算法处理得到阴
极外圆轮廓线的圆心坐标，记为O1；
(5)将带有刚性定位支撑的图像采集单元旋转到任意不同的角度并重新
定位于磁体套筒中；
(6)重复步骤(2)～步骤(5)，共进行N次测量，分别获取相应的阴
极外圆轮廓线的圆心坐标，依次记为O2、O3，……，ON；
(7)采用圆测量算法将步骤(4)和(6)中的O1、O2、O3，……，ON坐标
拟合为一个圆，得到该圆的半径和圆心坐标，则该圆的直径即为阴极端面与
磁体套筒的同轴度，O1相对于该圆圆心的角度即为初始标准角度时阴极的偏移
方向。
2.根据权利要求1所述的加速器阴极-磁体套筒同轴度的测量方法，其
特征在于：所述步骤(6)中N≥3。
3.实现权利要求1所述测量方法的加速器阴极-磁体套筒同轴度的测量

【专利技术属性】
技术研发人员：沈志远，宋玮，田稷源，程攀伦，朱晓欣，谭维兵，苏建仓，
申请(专利权)人：西北核技术研究所，
类型：发明
国别省市：陕西;61