【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片显影定影装置。
技术介绍
目前,硅片加工工艺中的显影定影设备主要是硅片浸没晃动显影定影设备,这种设备需要在显影定影液中将硅片晃动清洗,虽然能大批量处理硅片,但晃动过程中容易导致硅片破碎损坏。还有一种是采用喷嘴在硅片上喷洒显影定影液,同时硅片低速旋转,这种设备处理硅片数量少,而且设备成本高。
技术实现思路
为了克服上述现有技术存在的缺点,本技术的目的在于提供一种处理硅片效率高,结构简单,成本低的硅片显影定影装置。 为了解决上述问题,本技术采用以下技术方案:一种硅片显影定影装置,其特征在于,它包括槽体、槽盖、吹气泵、吸气泵、气体罐、流量调节阀和气体分流装置,所述吹气泵的进气端与气体罐连通,其出气端与所述气体分流装置连通,在出气端与气体分流装置连通的管道上设置所述流量调节阀;所述吸气泵的进气端与槽体连通,其出气端与所述气体罐连通;所述气体分流装置设置在槽体底部。 优选的,所述气体分流装置为分流管,所述分流管上设置有若干出气孔。 作为本技术的另一个优选实施例,所述气体分流装置为设置在所述槽体底部的盒体,所述盒体的上表面设置有若干出气孔。 本技术的有益效果是:它通过在槽体内设置气体分流装置,在显影定影液中通入气体,利用气泡的冲击力对硅片进行清洗,同时,气体可回收利用,不仅不会对环境造成污染,而且使用成本低。附图说明 下面结合附图和实施例对本技术做进一步的说明:图1为本技术第一实施例的俯视结构示意图;图2为本技术第二实施 ...
【技术保护点】
一种硅片显影定影装置,其特征在于,它包括槽体、槽盖、吹气泵、吸气泵、气体罐、流量调节阀和气体分流装置,所述吹气泵的进气端与气体罐连通,其出气端与所述气体分流装置连通,在出气端与气体分流装置连通的管道上设置所述流量调节阀;所述吸气泵的进气端与槽体连通,其出气端与所述气体罐连通;所述气体分流装置设置在槽体底部。
【技术特征摘要】
1.一种硅片显影定影装置,其特征在于,它包括槽体、槽盖、吹气泵、吸气泵、气体罐、流量调节阀和气体分流装置,所述吹气泵的进气端与气体罐连通,其出气端与所述气体分流装置连通,在出气端与气体分流装置连通的管道上设置所述流量调节阀;所述吸气泵的进气端与槽体连通,其出气端与所述气体罐连通;所述气体...
【专利技术属性】
技术研发人员:许玉雷,
申请(专利权)人:济南晶博电子有限公司,
类型:新型
国别省市:山东;37
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