负载板、自动测试设备和IC测试方法技术

本发明专利技术提供了一种负载板、自动测试设备和IC测试方法。所述负载板，应用于自动测试设备，包括：接口电路，用于连接自动测试设备和被测器件，以将所述自动测试设备提供的资源信号转换为被测器件所需的测试信号；基准电压源，用于连接自动测试设备，提供输出电压用于校验所述自动测试设备的测量单元。本发明专利技术提供的所述负载板仅在传统的负载板的基础上增加了一个基准电压源，就可以实现在每次测量之前，通过利用自动测试设备测量单元对基准电压源的输出进行检测，从而确认自动测试仪器的测量单元的测试精度是否满足测试要求，有效避免由自动测试设备的精度漂移引起的后续测试的误差。

【技术实现步骤摘要】
负载板、自动测试设备和10测试方法
本专利技术涉及半导体
，特别是涉及一种负载板、自动测试设备和X测试方法。
技术介绍
自动测试设备(八1681: ￡(11111)1116111:)是一种由测试仪和计算机组合而成的测试仪器。所述测试仪中包括各种测试硬件，计算机运行测试程序的指令控制测试仪中的测试硬件，以对012 (管芯)或1(:(集成电路)进行自动测试。针对不同的集成电路，如存储器、数字电路、模拟电路和混合信号电路等，八12都可以分别进行多种测试。 在测试中，要求八12具备速度、可靠性和稳定性，即需要八呢可以快速且可靠地重复一致的测试结果。为保持测试的正确性和一致性，…'2需要进行定期校验，以保证信号源和测量单元的精度。 而现有的针对八！'2校准技术有两种: 一是利用专用校准盒，运行特定的校准程序，检查设备是否满足精度要求。专用校准盒需要定期送至八12提供厂商进行校准，这种校准方式麻烦且费时。依据设备的稳定性、测试对设备精度的要求不同，这种校准一般是半个月或者一个月做一次，有些设备甚至会半年或者一年做一次校准。 二是利用样品校准(称为801(1611犯卹匕)。用于校准的样品的数据是已知的，通过利用八12检测样品的数据，对比样品数据和测试数据来判断设备是否正常。如出现测试数据不在规定范围内，则对测试设备的硬件进行调整，直至满足要求。一般这种校准的周期不规则，有些是1天校验一次，有些可能1个星期做一次。 由于以上两种校准方式都不能在每次测量时一同进行，这是由于校准麻烦且费时，为了节省测试时间，都不可能进行实时校准。而这样就无法避免测试设备在校准周期内由于各种原因(包括外围测试环境，设备老化等因素)导致的精度超标的情况，因而存在较大的测试质量隐患。 在模拟集成电路测试过程中，一些高精度的012或者X的测试要求很高，对测试设备的精度要求相当严格。不能实时确保八12的测试精度，也不能确保对这些高精度的012或者冗的测试要求。
技术实现思路
基于此，有必要针对现有的校准方式不能实时确保…2的测试精度，不能满足高精度要求的冗测试的要求的问题，提供一种解决办法。 针对上述问题，本专利技术的技术方案提供了一种应用于自动测试设备的负载板，包括: 接口电路，所述接口电路用于连接自动测试设备和被测器件，以将所述自动测试设备提供的资源信号转换为被测器件所需的测试信号； 基准电压源，用于连接自动测试设备，提供输出电压用于校验所述自动测试设备的测量单元。 可选的，所述基准电压源输出2.的基准电压，精度为0.5—?2.0—。 可选的，所述基准电压源输出5.的基准电压，精度为0.5—?2.0—。 可选的，所述基准电压源的精度比所述被测器件所需的测试信号的精度高一个量级。 可选的，所述基准电压源的精度比所述被测器件所需的测试信号的精度高0.5个量级。 另外，本专利技术的技术方案还提供一种自动测试设备，包括如上所述的负载板； 测量单元，用于测量所述测量基准电压源和所述被测器件； 选择开关单元，用于使所述测量单元测量所述基准电压源的输出或者测量所述接口电路上的所述被测器件。 相应的，本专利技术的技术方案还提供了一种X测试方法，包括:采用如上所述的自动测试设备进行；包括: 所述选择开关单元连接所述测量单元和基准电压源，利用所述测量单元测量基准电压源的输出电压； 对测量得到的输出电压与基准电压源的理论输出电压进行比较； 若所述输出电压和理论输出电压的差值不符合测量精度要求，停止测试； 若所述输出电压和理论输出电压的差值符合测量精度要求，所述选择开关单元连接所述测量单元和接口电路，利用所述测量单元对所述被测器件进行测试。 可选的，所述停止测试之后，对所述自动测试设备进行校验。 可选的，所述测量精度要求根据所述自动测试设备的精度指标确定。 可选的，还包括不定期采用万用表测量所述基准电压源的所述输出电压，所述万用表定期送至国家计量机构校准。 本专利技术的技术方案中提供的负载板，仅在原有的负载板的基础上增加了一个基准电压源，就可以实现在每次测量之前，通过利用自动测试设备测量单元对基准电压源的输出进行检测，从而确认自动测试仪器的测量单元的测试精度是否满足测试要求，有效避免由自动测试设备的精度漂移引起的后续测试的误差。 本专利技术的技术方案中提供的X测试方法中，利用上述负载板，仅仅需要在现有的测试步骤中，先利用测量单元测试基准电压源的输出电压，并与基准电压源的理论输出电压进行比较，就可以实时的判断自动测试仪器的测量单元的精度是否符合要求，能够有效的避免由测试设备精度漂移带来的误判，并且不影响实际测试结果。 【附图说明】 图1为本实施例提供的负载板。 图2为本实施例提供的自动测试设备的示意图。 图3为本实施例提供的X测试的流程示意图。 图4为本实施例提供的传统的X测试的流程示意图。 图5为以图4所示的传统X测试过程为基础的本实施例中提供的X测试的流程示意图。 【具体实施方式】 在半导体器件的生产过程中，需要进行很多测试，以对其电压、电流、时序和功能进行验证，从而确保半导体器件能基本满足器件的特征或者设计规则。这些测试包括:在半导体工艺结束后的娃片(冊作!')上的016进行的⑶测试在封装完成后对进行的？I'测试(打!!“ 1680等。这些测试，都需要…2中的计算机运行测试程序的指令来控制测试仪中的测试硬件，对集成电路进行自动测试。 一般的，测试仪内的测试硬件包括:有多种精密的电压源或者电流源的器件供电单元、精密测量单元、时序信号单元、存储单元等等。其中，器件供电单元用于提供精确的电流或者电压等资源信号给被测器件(被测的016或者10。精密测量单元用于对被测器件的电学参数进行精确的测量。 自动测试设备可通过负载板(匕狀！ 13081-(1)来实现被测器件和测试仪之间的物理电气连接，使得电信号在自动测试设备和被测器件之间传输。其中，负载板是具有接口电路的电路板，所述接口电路连接自动测试设备的测量单元的探针和被测器件。 如在进行测试时，可利用负载板和测试卡(^10136(?]^)连接，测试卡和016连接，以实现412和016之间的连接，使得电信号在和016之间传输。 如在进行？I测试时，需要用负载板与插座(30460连接，插座中被封装好的的管脚插入，以实现八12和X之间的连接，使得电信号在八12和X之间传输。 一般的，测试程序的目的是控制测试仪中的测试硬件以一定的方式保证被测器件达到或超过被具体定义在器件规格书里的设计指标。测试程序通常分为几个部分，如IX:测试、功能测试、…测试等，且所述测试程序还可以根据不同的测试结果将被测器件进行分类。其中，IX:测试验证电压及电流参数；功能测试验证被测器件内部一系列逻辑功能操作的正确性汸测试验证被测器件能否在特定的时间内完成逻辑操作。 本实施例中，提供了一种新的负载板，所述负载板上除了原本的接口电路以外，还具有一基准电压源。另外，还提供了一种包括所述负载板的自动测试设备。相应的，还提供了利用所提供的自动测试设备进行的新的冗测试方法，包括:在进行传统的测试之前，利用所述测量单元测试基准电压源的输出电压，比较测试得到的输本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种负载板，应用于自动测试设备，其特征在于，包括：接口电路，用于连接自动测试设备和被测器件，以将所述自动测试设备提供的资源信号转换为被测器件所需的测试信号；基准电压源，用于连接自动测试设备，提供输出电压用于校验所述自动测试设备的测量单元。

【技术特征摘要】
1.一种负载板,应用于自动测试设备,其特征在于,包括: 接口电路，用于连接自动测试设备和被测器件，以将所述自动测试设备提供的资源信号转换为被测器件所需的测试信号； 基准电压源，用于连接自动测试设备，提供输出电压用于校验所述自动测试设备的测量单元。2.根据权利要求1所述的负载板，其特征在于，所述基准电压源输出2.5V的基准电压，精度为0.5mV?2.0mV。3.根据权利要求1所述的负载板，其特征在于，所述基准电压源输出5.0V的基准电压，精度为0.5mV?2.0mV。4.根据权利要求1所述的负载板，其特征在于，所述基准电压源的精度比所述被测器件所需的测试信号的精度高一个数量级。5.根据权利要求1所述的负载板，其特征在于，所述基准电压源的精度比所述被测器件所需的测试信号的精度高0.5个数量级。6.一种自动测试设备，其特征在于，包括:如权利要求1至5中任一项所述的负载板； 测量单元，用于测量所述基准电压源和所述被测器件； 选择开关单元，用...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾汉玉，
申请(专利权)人：华润赛美科微电子深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44