本发明提供一种在确保良好的生产性同时又具有优良特性和高可靠性的栅绝缘层的薄膜晶体管。本发明提供的薄膜晶体管，包括：在基板（９）上含有源区（１７）、沟道区（１８）、漏区（１９）的有源层（１１），栅电极层（１６），以及在有源层（１１）和栅电...

提供运输方便且使用更紧凑的真空腔的处理装置。该处理装置具有真空腔，该真空腔具备：腔本体（２１），该腔本体（２１）由具有形成可将基板插入的贯通孔（２４）的块状多个腔部件（２５）构成，在邻接的腔部件的至少一个上，沿与另一个抵接的面的贯通孔的...

提供能够以低成本制造、高效率良好加热处理基板的加热处理装置。该加热处理装置具有真空腔（２０）、支持部件（３０）和加热装置（４０），所述真空腔（２０）具备：腔本体（２１），该腔本体（２１）由具有贯通孔（２４）的多个腔部件（２５）构成，在邻...

一种光照射装置，可增加从光源射出而照射于被照射体的光量。光照射装置，包括：光源（４０）；配置于该光源（４０）下方的遮光罩（Ｍ）；设于该遮光罩（Ｍ）上方的支承构件（２４）；及吸附管（３０），该吸附管被该支承构件（２４）支承，具有光透射性，...

本发明是一种叶片的制造方法，该叶片使用于油旋转真空泵，并且其至少一部分由塑料材料构成，其特征在于，所述叶片的制造方法包含：将所述叶片加工成最终形状的最终加工工程；在所述最终加工工程之前，在减压环境下，将所述叶片浸渍于油的油含浸工程，所述...

本发明能够长寿命地形成稳定的等离子体。本发明的离子源在划分等离子体生成室（１４）的由电介质构成的隔壁（１５）的外周一侧设置了高频天线（１６），在等离子体生成室（１４）内设置了限制膜向与高频天线（１６）对置的隔壁（１５）内周面附着的、由电...

提供一种采用ＡＣ电源的溅射装置，该装置能够不依赖于溅射装置的设置场所与交流电源的设置场所之间的距离，高精度地供电。在真空腔（１１）内设置一对靶（４１ａ、４１ｂ）和按照规定的频率交替改变极性地给该对靶施加电压的ＡＣ电源（Ｅ）。该ＡＣ电源（...

提供一种溅射方法及溅射装置，在使用交流电源溅射成膜时，迅速检测出电弧放电的发生并切断交流电源的输出，可减小电弧放电时的能量并有效防止微粒和溅沫的发生。在真空室内１１内设置的一对靶４１ａ、４１ｂ上，通过交流电源Ｅ以规定的频率交替改变极性地...

提供一种不使用ＩＴＯ膜的有机ＥＬ显示装置。在半导体衬底（１０）的背面形成由杂质区构成的公共电极（１１）后，将有底的孔（２０）呈行列状布置，在各孔（２０）内形成有机发光层（４０），在它们的表面分别设置像素电极（４３）。当在公共电极（４０）...

本发明的目的在于提供一种方法，通过确实地避免当例如在其上形成有阳极的衬底的表面上形成有机层时由于有机物等引起的不利影响而稳定地制造高质量有机ＥＬ器件。解决方法的特征在于用臭氧气体清洗装配有用于例如在其上形成有阳极的衬底的表面上形成有机层...

本发明提供能够由薄膜晶体管驱动且高亮度的显示装置。在基板（１１１）上形成低电压驱动的无机发光层（１２１）和控制晶体管（１０５），并且由控制晶体管（１０５）控制施加到无机发光层（１２１）上的电压。由于无机发光层（１２１）抗热或抗破坏性强，...

本发明提供一种有机电致发光器件制造技术，其没有前处理工序中衬底被污染的问题，而且能够准确进行衬底和掩模的位置对合而形成精细的有机发光层。本发明是包括相对于衬底（１０）进行前处理的前处理工序的有机电致发光器件制造方法，前述前处理工序包括在...

提供一种发光效率高的有机ＥＬ元件。本发明的有机ＥＬ元件（１）具有在透明电极膜（１２）上由氧化钛构成的无机材料膜（１４），由于无机材料膜（１４）对水那样的溶剂的亲和性比透明电极膜（１２）高，因此，当将空穴输送物质那样的第１有机材料溶解在溶...

本发明提供一种不需要加热室和冷却室的涂敷装置。在沿Ｘ轴方向移动的涂敷对象物（１４）上配置可在Ｙ轴方向往复移动的喷出器（３１）和激光照射装置（３２ａ、３２ｂ），对从喷出器（３１）喷出到涂敷对象物（１４）的局部表面的有机材料照射激光，进行加...

本发明提供一种可对大型基板进行膜厚分布均匀的成膜、并可准确且响应性良好地进行蒸镀时加热温度和蒸发速度的控制的有机材料用蒸发源及采用该蒸发源的有机蒸镀装置。本发明的蒸发源具有容器主体部（３１ａ）和盖部（３１ｂ），所述容器主体部具有由高频感...

不对有机薄膜造成损伤地在其表面上形成溅镀膜。以遮蔽板１０３来遮蔽溅射源１１～１３的框体１０１的开口，在该开口部１０７ａ的两侧配置捕获磁铁１０５↓［１］、１０５↓［２］。在框体１０１内部配置靶部１２０，溅镀时，将遮蔽部１０３连接到接地电位...

本发明提供一种使用紫外线固化树脂进行密封时，可在短时间使树脂固化以抑制热对密封对象部分造成影响的密封装置及密封方法。本发明的密封装置包括：可导入氮气的对准贴合室（３）；和具有ＵＶ照射灯（３０）的ＵＶ照射室（４）。在对准贴合室（３）内，将...

在短时间内实现多个膜的层叠。本发明的成膜装置（５Ｒ、５Ｇ、５Ｂ）具有移动室（４５）和转台（５１），在转台（５１）的窗部（５２）上搭载有载置基板（９）的载置板（６１）。使转台（５１）旋转而移动窗部（５２）时，载置板（６１）在搭载基板（９）...

形成一种电阻值小，透过率高，对下层的有机ＥＬ膜不造成伤害的透明导电膜。在平行隔开有间隔而配置的第１、第２靶材（２１ａ、２１ｂ）的间隙，与成膜对象物（５）的搬送路径（１４）之间设置遮蔽板（３１），使通过形成于遮蔽板（３１）的放出孔（３２）...

本发明提供一种靶的使用效率高的溅射装置。本发明的溅射装置（１）具有移动部件（２８ａ、２８ｂ），移动部件（２８ａ、２８ｂ）可使第一、第二磁铁部件（２３ａ、２３ｂ）在与第一、第二靶（２１ａ、２１ｂ）的表面平行的面内移动。如果第一、第二磁铁部...