本实用新型涉及一种全自动更换化学品桶系统，包括满桶自动卸载机构，满桶自动卸载机构的输入端连接满桶暂存区，满桶自动卸载机构的输出端分别连接栈板自动回收机构和酸桶标签识别系统，酸桶标签识别系统的输出端通过输送流水线连接换桶设备的进口侧，换桶...

本实用新型涉及一种制程槽体流场测试装置，包括实验平台本体、可更换的测试槽体、供应/循环/排放一体管路、气体控制管路和电气控制系统，实验平台本体后部左右两侧设有实验平台槽体测试区和实验平台管路测试区，前部左右两侧设有实验平台气体控制测试区...

本实用新型涉及一种防呆型载具自动上下货模组，包括前后移载机构、一级定位座、左右移载机构、二三级定位座和气流场控制模组，前后移载机构沿前后方向延伸布置，左右移载机构沿左右方向延伸布置，前后移载机构与左右移载机构呈L型布局，且前后移载机构的...

本实用新型涉及一种新型全自动电子级化学品桶配件清洗设备，包括清洗槽一、清洗槽二和气动泵，清洗槽一、清洗槽二均由清洗槽体内槽和清洗槽体外槽构成，清洗槽体外槽顶部盖设有槽盖装置，槽盖装置在气缸装置的带动下开启或盖合，气动泵的进液端通过管道连...

本实用新型涉及一种新型化学品回收系统酸桶接头装置，包括带导杆气缸、气缸桶盖连接板、酸桶接头固定支架、酸桶接头管嘴、酸桶接头内管和酸桶接头外管，带导杆气缸固定在酸桶接头固定支架一侧，带导杆气缸的活塞端连接有气缸桶盖连接板，带导杆气缸上连接...

本实用新型涉及一种新型在线式化学品浓度测量装置，包括混合桶槽主体、浓度计容器组合和PLC控制箱，混合桶槽主体置于电子称主体上，电子称主体通过线路连接电子秤表头，浓度计容器组合的化学品进液口通过管路连接至混合桶槽主体底部，浓度计容器组合的...

本实用新型涉及一种新型前后振荡机构，包括驱动机构、传动机构、承载执行机构、槽体、管路系统和控制系统，驱动机构的输出端连接传动机构的输入端，传动机构的输出端安装有承载执行机构，承载执行机构在驱动机构、传动机构的带动下作前后直线运动，驱动机...

本实用新型涉及一种新型阵列显影液浓度稀释及控制系统，包括4％KOH原液桶槽，原液桶槽底部出液口通过管道分别连接供应泵A、供应泵B入口，供应泵A、供应泵B出口通过管道分别连接0.04％KOH稀释液存储桶槽A、0.04％KOH稀释液存储桶槽...

本实用新型涉及一种200L自动码垛搬运设备，包括200L桶定位装置和移载码垛机，200L桶定位装置设置在滚轮运输装置一侧，200L桶定位装置通过感应模块对200L桶进行位置调整定位，移载码垛机包括机械手臂本体、滑块气缸、200L桶夹爪一...

本实用新型涉及一种可调型气泡检测装置，包括设置在被检测管路两侧的光纤放大器和光纤传感器，光纤放大器与被检测管路之间设置有凸透镜，光纤传感器设置在被检测管路与凹面镜之间，光纤放大器、光纤传感器、凸透镜、凹面镜均设于遮光腔体内，遮光腔体内壁...

本发明公开了一种用于单片式晶圆的清洗装置，包括底座，底座顶部一侧连接设有清洗池，清洗池内底部滑动设有滑动板，滑动板顶部两侧均连接设有超声波振荡发生器，底座顶部靠近清洗池连接设有电推杆，电推杆伸缩端的顶部转动连接设有转动臂，转动臂底部连接...

本发明公开了一种LED用单晶硅片清洗设备，包括柜体，柜体的下端设有多个支撑脚，柜体的下端连通设有设置在多个支撑脚之间的排水管一，柜体内侧设有可拆卸的过滤板，柜体的内侧壁连接设有设置在过滤板上方的隔板，隔板上连通设有排水管二，柜体内转动设...

本实用新型涉及一种交替式纯水高压喷雾清洗系统，包括旋转台，旋转台用于装载被清洗的晶圆，旋转台上方布置有高压喷嘴、中压喷嘴、低压喷嘴，三个喷嘴分别通过喷嘴摆臂连接高压喷管、中高压喷管、低压喷管，三个喷管另一端连接高低压水系统，高低压水系统...

本实用新型涉及一种滤芯式化学品加热器，包括过滤器滤壳，过滤器滤壳为顶部设有敞口的壳体，过滤器滤壳顶部的敞口处装设有加热器进出口螺母，过滤器滤壳内部设置有中空盘管托架和加热管盘管，中空盘管托架呈十字格型，且安装于加热器进出口螺母中心，加热...

本实用新型涉及一种自动灌装设备用锁盖机构，锁盖电机可滑动式连接在Z轴移动导轨上，锁盖电机安装在Z轴电机的输出端，并在Z轴电机的带动下沿Z轴移动导轨作Z轴方向运动，Z轴电机安装在Y轴移动气缸的活塞端，并在Y轴移动气缸的带动下沿Y轴移动导轨...

本实用新型涉及一种化学品汲取管清洗设备，包括插管清洗盒，插管清洗盒中插装有汲取管，插管清洗盒底部连接有清洗液收集管，清洗液收集管通过管道连接清洗液泵，清洗液泵另一端通过管道连接清洗液过滤器，清洗液过滤器另一端通过管道连接清洗液喷嘴，清洗...

本实用新型涉及一种选择性晶圆输送装置，包括自下而上依次布置的高精度直线运动模组、大减速比水平转台模组、单驱动水平三关节机械臂，高精度直线运动模组位于两组并排布置的反应槽之间的中轴线上，大减速比水平转台模组安装在高精度直线运动模组的输出端...

本实用新型公开了一种半导体光刻板清洗机，其结构包括警示灯、控制面板、可视窗口、清洗机工作平台、电源连接孔、底座、检修挡板、清洗机外壳、显示屏,警示灯位于控制面板左侧，本实用新型一种半导体光刻板清洗机，在结构上设置了清洗机工作平台，将光刻...

本实用新型涉及一种一体式门锁安全装置，包括针型气缸，针型气缸安装在气缸固定支架上，气缸固定支架下方设置有带孔锁片，带孔锁片上开设有锁片孔，针型气缸伸缩端的气缸针头穿过锁片孔，锁片孔下方设有门锁安全装置，门锁安全装置包括倒锥压块、倒锥弹簧...

本实用新型涉及一种改进型防呆酸桶快速连接系统，包括电子称主体、电子称表头、滚轮平台主体、PFA管、PLC控制系统、防呆酸桶供应快速接头，滚轮平台主体置于电子称主体上，滚轮平台主体上置有标准200L酸桶，标准200L酸桶的桶盖上安装有防呆...