【技术实现步骤摘要】
一体式门锁安全装置[
]本技术涉及门锁装置
,具体地说是一种用于化学品供应设备的一体式门锁安全装置。[
技术介绍
]半导体制造过程中,大量使用各种化学品,这些化学品存储在相应的存储槽中,由不同的相应CDS机台分别供应到制程设备。现有CDS机台用200L的酸桶作为运输载体,从酸桶中抽取化学品,传送到存储槽,再供应到制程设备。而现有设备酸桶室门锁装置多采用传统的针型气缸加带孔锁片组成,如附图7和附图8所示,并且门锁感应开关单独安装在门锁旁边,这种装置弊端在于在换好酸桶后再关门锁定的时候不清楚门是否真实锁上,如果正好在供酸的时候,有人不小心拉了下门,此时门锁又没有锁上,这样会使设备进入宕机状态,从而在生产及人生安全上得不到保障。此外,上述现有技术还存在以下不足之处:(1)由于现有锁片结构问题,锁片孔径较小,设备水平调整不好的话,会出现锁不上的情况;(2)现有技术中感应开关和锁片分离安装,经常会导致开关感应到而实际气缸针头未顶入锁紧问题,给PLC造成误判断,不能真正意义上保证安全性;(3)现有技 ...
【技术保护点】
1.一种一体式门锁安全装置,包括针型气缸(1)、气缸固定支架(2)、气缸针头(4)、带孔锁片(5),其特征在于:所述针型气缸(1)通过气缸固定螺母(3)安装在气缸固定支架(2)上,所述气缸固定支架(2)下方设置有带孔锁片(5),所述带孔锁片(5)上开设有锁片孔(11),所述针型气缸(1)伸缩端的气缸针头(4)穿过锁片孔(11),所述锁片孔(11)下方设有门锁安全装置(10),所述门锁安全装置(10)包括倒锥压块(101)、倒锥弹簧(102)、倒锥腔体(103)、机械接触开关(104),所述倒锥腔体(103)固定连接在带孔锁片(5)的锁片孔(11)下方,所述倒锥腔体(103) ...
【技术特征摘要】
1.一种一体式门锁安全装置,包括针型气缸(1)、气缸固定支架(2)、气缸针头(4)、带孔锁片(5),其特征在于:所述针型气缸(1)通过气缸固定螺母(3)安装在气缸固定支架(2)上,所述气缸固定支架(2)下方设置有带孔锁片(5),所述带孔锁片(5)上开设有锁片孔(11),所述针型气缸(1)伸缩端的气缸针头(4)穿过锁片孔(11),所述锁片孔(11)下方设有门锁安全装置(10),所述门锁安全装置(10)包括倒锥压块(101)、倒锥弹簧(102)、倒锥腔体(103)、机械接触开关(104),所述倒锥腔体(103)固定连接在带孔锁片(5)的锁片孔(11)下方,所述倒锥腔体(103)为上下贯通的倒锥形腔体,所述倒锥腔体(103)内部的空腔呈倒锥形,所述倒锥腔体(103)内自上而下布置有倒锥压块(101)、倒锥弹簧(102),所述倒锥弹簧(102)下方设有机械接触开关(104),所述机械接触开关(104)装设于倒锥腔体(103)底部,所述机械接触开关(...
【专利技术属性】
技术研发人员:陆建国,殷杨壹,张善旺,
申请(专利权)人:苏州冠博控制科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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