一种大行程两平动一转动精密定位平台制造技术

本发明专利技术公开了一种大行程两平动一转动精密定位平台，包括基座和设置在其内部的动平台，所述基座和所述动平台通过三个沿所述动平台的周向均布的铰链放大机构和三个复合平行板柔性导向机构连接；每个铰链放大机构的一端与基座柔性连接，另一端和动平台柔性连接，中部设有一输入端，输入端与压电陶瓷驱动器连接；每个所述复合平行板柔性导向机构包括相互平行的8块柔性板和沿动平台周向布置的4块刚体块；三个所述复合平行板柔性导向机构和三个所述压电陶瓷驱动器间隔均布在所述动平台的周向上。本发明专利技术结构简单紧凑；输出位移较大，轴向刚度较高；可作为纳米微操作系统的辅助定位平台实现微量进给和精密定位。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种大行程两平动一转动精密定位平台，包括基座和设置在其内部的动平台，所述基座和所述动平台通过三个沿所述动平台的周向均布的铰链放大机构和三个复合平行板柔性导向机构连接；每个铰链放大机构的一端与基座柔性连接，另一端和动平台柔性连接，中部设有一输入端，输入端与压电陶瓷驱动器连接；每个所述复合平行板柔性导向机构包括相互平行的8块柔性板和沿动平台周向布置的4块刚体块；三个所述复合平行板柔性导向机构和三个所述压电陶瓷驱动器间隔均布在所述动平台的周向上。本专利技术结构简单紧凑；输出位移较大，轴向刚度较高；可作为纳米微操作系统的辅助定位平台实现微量进给和精密定位。【专利说明】一种大行程两平动一转动精密定位平台
本专利技术属于微纳米
，具体为一种可应用于微操作系统的两平动一转动三自由度柔性精密定位工作平台。
技术介绍
随着科技的发展，在超精密加工、微电子工程、生物工程、纳米技术等领域都迫切需要亚微米级甚至纳米级的精密定位技术。最典型的应用在于纳米器件的制造生产。纳米器件包括纳米电子器件和纳米光电器件，可广泛应用于电子学、光学、微机械装置、新型计算机等，是当今新材料与新器件研究领域中最富有活力的研究领域，也是元器件小型化、智能化、高集成化等的主流发展方向。纳米器件由于具有潜在的巨大市场和国防价值，使得其设计和制造的方法、途径、工艺等成为众多科学家、政府和大型企业研究和投资的热点。所以大力发展精密定位技术是大势所趋，是创新科技进步的具体体现。但是，目前微纳米级精密定位平台主要以两自由度平动居多，即使设计的三自由度精密定位平台，也具有结构复杂、行程小、轴向承载能力较低等缺陷，难以满足实际应用的需求。
技术实现思路
本专利技术为解决公知技术中存在的技术问题而提供一种结构简单紧凑、行程较大、轴向承载能力较高的一种大行程两平动一转动精密定位平台。本专利技术为解决公知技术中存在的技术问题所采取的技术方案是:一种大行程两平动一转动精密定位平台，包括基座和设置在其内部的动平台，所述基座和所述动平台通过三个沿所述动平台的周向均布的铰链放大机构和三个复合平行板柔性导向机构连接；每个所述铰链放大机构的一端与所述基座柔性连接，另一端和所述动平台柔性连接，中部设有一输入端，铰链放大机构的输入端通过柔性铰链和球型接头与压电陶瓷驱动器连接，所述压电陶瓷驱动器安装在所述基座上，所述压电陶瓷驱动器沿所述动平台的径向设置，在所述压电陶瓷驱动器的输出端上固接有所述球型接头，所述球型接头与所述柔性铰链相切接触，所述柔性铰链固定在所述铰链放大机构的输入端上；每个所述复合平行板柔性导向机构包括相互平行的8块柔性板和沿动平台周向布置的4块刚体块，4块所述刚体块由第一刚体块、第二刚体块、第三刚体块和第四刚体块组成，其中所述第三刚体块和所述第四刚体块距离所述动平台最近，且二者位于同一圆周上，所述第一刚体块距离所述动平台最远，所述第二刚体块位于所述第一刚体块与所述第三刚体块和所述第四刚体之间；8块所述柔性板以所述动平台的径向为对称轴对称布置，8块所述柔性板包括2块中间板和2块侧板，在对称轴同侧的所述中间板和所述侧板之间设有2块所述柔性板，一块是靠近所述侧板的第二边板，另一块是靠近所述中间板的第一边板，2块所述中间板的内端均与所述动平台连接，2块所述中间板的外端均与所述第二刚体块连接，所述第一边板和所述第二边板的内端通过所述第三刚体块连接，所述第一边板的外端与所述第二刚体块连接，所述第二边板的外端与所述第一刚体块连接，所述侧板的内端与所述基座连接，所述侧板的外端与所述第一刚体块连接；三个所述复合平行板柔性导向机构和三个所述压电陶瓷驱动器间隔均布在所述动平台的周向上。所述动平台为圆盘形。在所述基座上设有定位孔。本专利技术具有的优点和积极效果是:通过采用将圆盘形动平台设置在基座内部，且将二者通过间隔均匀设置的三个铰链放大机构和三个复合平行板柔性导向机构连接在一起，并在铰链放大机构上设置输入端的结构，实现两平动一转动，结构简单紧凑；利用铰链放大机构进行位移放大和力的传递，使得复合平行板柔性导向机构发生弹性变形，从而带动动平台运动，实现微纳米位移的输出，输出位移较大，轴向刚度较高；可作为纳米微操作系统的辅助定位平台实现微量进给和精密定位。为纳米器件的制造生产提供了有效的辅助手段，具有非常重要的应用意义。【专利附图】【附图说明】图1为本专利技术的主视图；图2为本专利技术的立体图；图3为本专利技术的复合平行板柔性导向机构示意图。图中:1 一预紧螺栓，2—压电陶瓷驱动器，3—球型接头，4一柔性铰链，5—铰链放大机构，6—定位孔，7一动平台，8一复合平行板柔性导向机构，8_1、第一刚体块，8_2、第二刚体块，8-3、第三刚体块,8-4、第四刚体块,8-5、中间板,8-6、第一边板,8-7、第二边板，8-8、侧板，9一基座。【具体实施方式】为能进一步了解本专利技术的
技术实现思路
、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下:请参阅图1?图3，一种大行程两平动一转动精密定位平台，包括基座9和设置在其内部的动平台7，所述基座9和所述动平台7通过三个沿所述动平台的周向均布的铰链放大机构5和三个复合平行板柔性导向机构8连接。每个所述铰链放大机构5的一端与所述基座5柔性连接，另一端和所述动平台7柔性连接，中部设有一输入端，铰链放大机构的输入端通过柔性铰链4和球型接头3与压电陶瓷驱动器2连接，所述压电陶瓷驱动器2安装在所述基座9上，所述压电陶瓷驱动器2沿所述动平台7的径向设置，在所述压电陶瓷驱动器2的输出端上固接有所述球型接头3，所述球型接头3与所述柔性铰链4相切接触，所述柔性铰链4固定在所述铰链放大机构5的输入端上。每个所述复合平行板柔性导向机构8包括相互平行的8块柔性板和沿动平台7周向布置的4块刚体块，4块所述刚体块由第一刚体块8-1、第二刚体块8-2、第三刚体块8-3和第四刚体块8-4组成，其中所述第三刚体块8-3和所述第四刚体块8-4距离所述动平台7最近，且所述第三刚体块8-3和所述第四刚体块8-4位于同一圆周上，所述第一刚体块8-1距离所述动平台7最远，所述第二刚体块8-2位于所述第一刚体块8-1与所述第三刚体块8-3和所述第四刚体8-4之间；8块所述柔性板以所述动平台7的径向为对称轴对称布置，8块所述柔性板包括2块中间板8-5和2块侧板8-8，在对称轴同侧的所述中间板8_5和所述侧板8-8之间设有2块所述柔性板，一块是靠近所述侧板8-8的第二边板8-7，另一块是靠近所述中间板8-5的第一边板8-6，2块所述中间板8-5的内端均与所述动平台7连接，2块所述中间板8-5的外端均与所述第二刚体块8-2连接，所述第一边板8-6和所述第二边板8-7的内端通过所述第三刚体块8-3连接，所述第一边板8-6的外端与所述第二刚体块8-2连接，所述第二边板8-7的外端与所述第一刚体块8-1连接，所述侧板8-8的内端与所述基座9连接，所述侧板8-8的外端与所述第一刚体块8-1连接。三个所述复合平行板柔性导向机构8和三个所述压电陶瓷驱动器2间隔均布在所述动平台7的周向上。为了使结构更加紧凑，所述动平台7最好采用圆盘形的。在本实施例中，在所述基座9上设有定位孔6。在所述基座9上以动平台7的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大行程两平动一转动精密定位平台，其特征在于，包括基座和设置在其内部的动平台，所述基座和所述动平台通过三个沿所述动平台的周向均布的铰链放大机构和三个复合平行板柔性导向机构连接；每个所述铰链放大机构的一端与所述基座柔性连接，另一端和所述动平台柔性连接，中部设有一输入端，铰链放大机构的输入端通过柔性铰链和球型接头与压电陶瓷驱动器连接，所述压电陶瓷驱动器安装在所述基座上，所述压电陶瓷驱动器沿所述动平台的径向设置，在所述压电陶瓷驱动器的输出端上固接有所述球型接头，所述球型接头与所述柔性铰链相切接触，所述柔性铰链固定在所述铰链放大机构的输入端上；每个所述复合平行板柔性导向机构包括相互平行的8块柔性板和沿动平台周向布置的4块刚体块，4块所述刚体块由第一刚体块、第二刚体块、第三刚体块和第四刚体块组成，其中所述第三刚体块和所述第四刚体块距离所述动平台最近，且二者位于同一圆周上，所述第一刚体块距离所述动平台最远，所述第二刚体块位于所述第一刚体块与所述第三刚体块和所述第四刚体之间；8块所述柔性板以所述动平台的径向为对称轴对称布置，8块所述柔性板包括2块中间板和2块侧板，在对称轴同侧的所述中间板和所述侧板之间设有2块所述柔性板，一块是靠近所述侧板的第二边板，另一块是靠近所述中间板的第一边板，2块所述中间板的内端均与所述动平台连接，2块所述中间板的外端均与所述第二刚体块连接，所述第一边板和所述第二边板的内端通过所述第三刚体块连接，所述第一边板的外端与所述第二刚体块连接，所述第二边板的外端与所述第一刚体块连接，所述侧板的内端与所述基座连接，所述侧板的外端与所述第一刚体块连接；三个所述复合平行板柔性导向机构和三个所述压电陶瓷驱动器间隔均布在所述动平台的周向上。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡坤海，田延岭，张大卫，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：