化学机械研磨固定具制造技术

一种化学机械研磨固定具，包含：固定座与固定环。其中，固定座具有一第一结合面与多个由PPS材质所制成的凸块，凸块环状排列设于该第一结合面，每个凸块包含：第一卡合面，沿固定座的径向延伸的平面，自第一卡合面的根部向凸块的外侧倾斜。固定环具有第二结合面与多个与凸块对应的第一凹槽，第一凹槽环状排列设于该第二结合面，每个第一凹槽包含：第二卡合面，沿固定环的径向延伸的平面，自第二卡合面的根部向第二结合面倾斜而形成倒钩结构。其中固定座与固定环轴向对齐，使得第一结合面对齐第二结合面，凸块分别与第一凹槽对齐，固定座与固定环分别沿圆周方向逆向旋转而使凸块的第一卡合面与第一凹槽的第二卡合面卡合。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
化学机械研磨固定具
本技术涉及一种晶圆(圆片)固定具，特别涉及一种化学机械研磨固定具。
技术介绍
在半导体制造过程中，晶圆固定具为不可或缺的基本工具，其应用于晶圆于加工过程中晶圆的承载，以方便晶圆于制造过程中进行搬运、进行化学处理等。参阅图1所示的现有晶圆固定具，其为一般半导体设备厂所供应的标准晶圆固定具，其包含一固定座10及一固定环20。固定座10—般为不锈钢(SUS)制成，设置于半导体设备机具上；固定环20—般由高阶塑胶材料制成，用于承载晶圆。此种晶圆固定具是以粘着剂将固定环20贴合于固定座10上，由于贴合面11为平坦表面，固定环20与固定座10很容易因粘着剂失效而脱离。因此，标准的晶圆固定具易因前述的问题而须经常更换，晶圆代工厂除了必须多耗费此一耗材成本外，更须经常注意晶圆固定具的不良可能造成晶圆的损坏。因此，有必要实质上改进此种标准的晶圆承载，让晶圆固定具能具有高度的稳定性与耐久性，进而可大幅降低晶圆代工厂的生产成本。
技术实现思路
鉴于以上现有技术的问题，本技术的目的在于提供一种化学机械研磨固定具，其具有易生产、易组装且具有高度的稳定性与耐久性的特色，可降低晶圆代工厂的生产成本。为达上述目的，本技术提供一种化学机械研磨固定具，其包含:一固定座，包含:一环形基材，具有一第一结合面 '及多个凸块，环状排列设于该第一结合面，各该凸块的材质为聚苯硫醚，各该凸块包含一第一卡合面，该第一卡合面沿该环形基材的径向延伸的平面且自其根部向该凸块的外侧倾斜 :及一固定环，具有一第二结合面与多个第一凹槽，该多个第一凹槽环状排列设于该第二结合面，各该第一凹槽的局部周缘构成一第二卡合面，该第二卡合面自其根部向该第二结合面倾斜；该凸块设置于该第一凹槽位置，藉由该固定座与该固定环分别沿圆周方向逆向旋转而使该凸块的第一^^合面卡合于该第一凹槽的第二卡合面。上述的化学机械研磨固定具，其中各该凸块具有一第一穿孔，且该环形基材的该第一结合面具有分别对应于各该第一穿孔的多个第二穿孔，彼此相对的该第一穿孔与该第二穿孔供一螺丝锁附而使固定该凸块于该环形基材上。上述的化学机械研磨固定具，其中该环形基材更包含多个第二凹槽，各该第二凹槽供各该凸块摆置以防止各该凸块滑动。上述的化学机械研磨固定具，其中各该凸块具有一凸柱，且该环形基材的该第一结合面具有一凹孔，该凸柱插入该凹孔而固定该凸块于该环形基材上。上述的化学机械研磨固定具，其中该第一卡合面与该第二卡合面的倾斜角度在I度至60度的范围间，且该第一卡合面平行于该第二卡合面。上述的化学机械研磨固定具，其中该凸块更包含:一第一导引面，位于该第一卡合面的对面且平行于该第一卡合面。上述的化学机械研磨固定具，其中该第一凹槽更包含:一第二导引面，位于该第二卡合面的对面且平行于该第二卡合面。上述的化学机械研磨固定具，其中该第一导引面与该第二导引面的倾斜角度为I度至60度之间，且该第一导引面平行于该第二导引面。多个以下结合附图和具体实施例对本技术进行详细描述，但不作为对本技术的限定。【附图说明】图1为现有晶圆固定具不意图；图2A、图2B为本技术实施例示意图；图3A~图3G为图2B中，固定座100的多个具体实施例的部分固定座6放大图； 图4A~图4H其分别为图3A~图3G的剖视示意图；图5A、图5B其为固定环200的部分放大图与剖视图；图6A、图6B为图4A、图5B的分离与组合示意图。其中，附图标记6部分固定座10/100 固定座11贴合面101 第一结合面102 第二凹槽103 第二螺丝孔104 凹孔110 凸块111 第一导引面112 第一内侧面113 第一外侧面114 第一^^合面115 第一螺丝孔116 凸柱120 螺丝20/200 固定环201 第二结合面210 第一凹槽211第二顶面212第二内侧面213第二外侧面214第二导引面215第二卡合面【具体实施方式】下面结合附图对本技术的结构原理和工作原理作具体的描述:参阅图2A及图2B所示本技术实施例示意图，本技术的化学机械研磨固定具包含:一固定座100、一固定环200、至少一凸块110及至少一第一凹槽210。固定座100具有第一结合面101，且第一结合面101是为圆环状，固定座100可以不锈钢(SUS)制成。第一结合面101设置有多个环状排列的凸块110，各凸块的材质为聚苯硫醚(Polyphenyl sulphide, PPS)。固定环200，具有第二结合面201与多个与凸块110对应的第一凹槽210，可以高阶塑胶材料制成。本实施例的凸块110是以PPS制成，经长期大量实验验证，使用PPS材质制成的凸块110除了本身易加工外，且因为PPS本身具有适宜的可变形性，因此PPS材质的凸块110与材质为高阶塑胶材料的第一凹槽210彼此之间可更为紧密的结合。固定座100与固定环200可分别沿圆周方向逆向旋转而使凸块110与第一凹槽210卡合，且第一结合面101与第二结合面201密合。再藉由粘胶将固定座100与固定环200所形成的卡合面粘着后，即可构成具有高度稳定性与耐久性的结合结构。粘胶的选择有非常多种，其为本领 域技术人员所熟知，于此不多加赘述。实际应用上，凸块110可采用与固定座100 —体成型的方式制作，或者，采取与固定座100分离的方式制作。以下，将分别列举多个实施例以兹说明。请参考图3A~图3G，其为图2B中，固定座100的多个具体实施例的部分固定座6放大图。首先，请参考图3A，其为固定座100采用图3G的实施例的结合示意图，此为固定座100的环形基材与凸块110分离制作并结合的一实施例。从图中可发现，凸块110是采用螺丝120固定于固定座100的环型基材上，并且，环形基材具有第二凹槽102，以容置凸块110而防止其偏移。每个凸块110包含:第一顶面(即凸块110的顶面)、第一导引面111、第一内侧面112、第一外侧面113、第一卡合面114与第一螺丝孔115(图3G)。其中，第一卡合面114沿固定座100的径向延伸的平面(本技术不限于此)，自第一卡合面114的根部(第一卡合面114与第一结合面101的交线)向凸块110的外侧倾斜而呈倒钩状。第一内侧面112及第一外侧面113皆为沿固定座100圆周方向延伸的曲面,第一内侧面112的弯曲半径小于第一外侧面113的弯曲半径。第一顶面为一平面构成凸块110的顶部。于本实施例中第一卡合面114较佳地倾斜角度30度。第一导引面111较佳地为沿固定座100的径向延伸的平面(本技术不限于此)，配合第一卡合面114而导引第一凹槽210卡固凸块110。于本实施例中第一导引面111较佳地垂直第一结合面101设置，但也可以自第一导引面111的根部(第一导引面111与第一结合面101的交线)向凸块110的内侧倾斜。接着，请参考图3B~图3G，其分别说明了本技术的各种不同实施样态。图3B为本技术的固定座的一实施样态示意图。于此实施例中，凸块110是为单独制作，并藉由粘胶固定于固定座100的环形基材上。在此实施例中，必须预先确定凸块110的位置，再进行粘胶固定。凸块110的结构如上所述，不再赘述。图3C为本技术的固定座的另一实施样态示意图。于此实施例中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学机械研磨固定具，其特征在于，包含：一固定座，包含：一环形基材，具有一第一结合面；及多个凸块，环状排列设于该第一结合面，各该凸块的材质为聚苯硫醚，各该凸块包含一第一卡合面，该第一卡合面沿该环形基材的径向延伸的平面且自其根部向该凸块的外侧倾斜；及一固定环，具有一第二结合面与多个第一凹槽，该多个第一凹槽环状排列设于该第二结合面，各该第一凹槽的局部周缘构成一第二卡合面，该第二卡合面自其根部向该第二结合面倾斜；该凸块设置于该第一凹槽位置，藉由该固定座与该固定环分别沿圆周方向逆向旋转而使该凸块的第一卡合面卡合于该第一凹槽的第二卡合面。

【技术特征摘要】
1.一种化学机械研磨固定具，其特征在于，包含: 一固定座，包含: 一环形基材，具有一第一结合面；及 多个凸块，环状排列设于该第一结合面，各该凸块的材质为聚苯硫醚，各该凸块包含一第一卡合面，该第一卡合面沿该环形基材的径向延伸的平面且自其根部向该凸块的外侧倾斜；及 一固定环，具有一第二结合面与多个第一凹槽，该多个第一凹槽环状排列设于该第二结合面，各该第一凹槽的局部周缘构成一第二卡合面，该第二卡合面自其根部向该第二结合面倾斜； 该凸块设置于该第一凹槽位置，藉由该固定座与该固定环分别沿圆周方向逆向旋转而使该凸块的第一卡合面卡合于该第一凹槽的第二卡合面。2.根据权利要求1所述的化学机械研磨固定具，其特征在于，各该凸块具有一第一穿孔，且该环形基材的该第一结合面具有分别对应于各该第一穿孔的多个第二穿孔，彼此相对的该第一穿孔与该第二穿孔供一螺丝锁附而使固定该凸块于该环形基材上。3.根据权利要求2所述的化学机械研磨固定具，其特征在于，该环形基材更包含多个第二凹槽，各该第二凹槽...

【专利技术属性】
技术研发人员：颜慧贞，
申请(专利权)人：楷丰科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：