板状体的缺陷检查方法以及缺陷检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种检查板状体的缺陷并且能够获取缺陷的产生和附着位置的板状体的缺陷检查方法以及缺陷检查装置。根据本发明专利技术，首先，将玻璃板以靠基座放置的方式搭载于基座。接着，获取坐标原点。即，获取对玻璃板的四个角部中的一个角部照射来自激光指针的点光的位置作为坐标原点。接着，使与基座相对置地配置的观察光学部沿着滑轨水平移动，并且使基座升降移动，通过观察光学部发现搭载于基座的玻璃板的缺陷。接着，从激光指针向由观察光学部发现的缺陷的位置照射点光。而且，通过控制部计算点光在玻璃板的表面上的照射位置的坐标位置并存储到RAM。

【技术实现步骤摘要】
板状体的缺陷检查方法以及缺陷检查装置
本专利技术涉及一种板状体的缺陷检查方法以及缺陷检查装置。
技术介绍
近年来,液晶显示装置、等离子体显示装置、有机EL显示装置等FPD (Flat PanelDisplay:板状体)用作大型电视机、个人计算机、便携式电话机等可移动设备的显示装置。上述显示装置使用具备至少一片玻璃板的显示元件。对于上述显示元件，要求显示性能高质量化，因此对于显示元件的玻璃板，也要求无瑕疵、无波纹(平坦度高)的高质量的玻璃板。另外，随着显示画面尺寸的大型化和可移动设备的兴起，也产生了轻量化、薄型化这种要求。作为使用于上述FPD的玻璃板的制造方法的一例，已知浮法。在通过上述浮法制造玻璃板的方法中，首先，将玻璃原料放入到溶解槽而制造熔融玻璃。接着，将熔融玻璃连续地提供给收容于浴槽的熔融锡的表面上。被提供的熔融玻璃一边沿熔融锡的表面从上游侧向下游侧流动一边成形为带状的玻璃带。从浴槽的出口取出玻璃带，之后，在使用缓冷炉将其逐渐冷却到室温左右之后，利用切断装置切断为规定大小的玻璃板。在通过浮法制造玻璃板的方法中，在与浴槽的熔融锡接触的玻璃板的表面(底面)易于产生由熔融锡中产生的气泡引起的缺陷。另外，由于成形步骤而有时在玻璃板的表面产生波纹并且附着异物。因此，在玻璃板的制造装置中设置有将切断后的玻璃板的上述表面(被研磨面)研磨成适合于Fro用的高质量(平坦度)的研磨装置(例如专利文献1、2)。专利文献I的研磨装置是连续式的研磨装置，其沿玻璃板的输送路径配置多台研磨用具，一边沿输送路径输送玻璃板，一边利用多台研磨用具来研磨玻璃板的表面。另外，专利文献2的研磨装置是间歇式的研磨装置，其不输送玻璃板而使用自转的一台研磨用具来研磨玻璃板的表面。另外，在上述浮法的制造方法中，有时在玻璃板的表面缺陷(以下称为表面缺陷)与成形时玻璃带的移动方向平行地具有某种趋势地分布。上述表面缺陷是指由附着于输送玻璃带的辊的玻璃片、玻璃原料的搅拌不均等各种理由产生的微小的瑕疵、波纹以及异物的附着。上述瑕疵、波纹以及异物的附着以具有大致一个方向的规则性的条纹状产生。利用上述研磨装置去除这种瑕疵、波纹以及异物，但是根据表面缺陷的大小不同，有时难以完全去除。因此，在研磨装置的后级例如设置专利文献3所公开的已知的缺陷检查系统，利用该缺陷检查系统来检查研磨后的玻璃板的表面是否存在瑕疵、异物。另外，例如使用专利文献4所公开的已知的平坦度测量装置来检查研磨后的玻璃板的表面的波纹。专利文献1:日本特开2007-190657号公报专利文献2:日本特开2004-122351号公报专利文献3:日本特开2010-48745号公报专利文献4:日本专利第3411829号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题专利文献3所公开的缺陷检查系统能够检测玻璃板的瑕疵和异物，但是希望进一步详细地获取瑕疵的产生位置和异物的附着位置。这是由于，通过获取这种瑕疵和异物的产生和附着位置能够验证瑕疵和异物的产生和附着的原因，成为用于对制造装置的结构构件(例如输送辊)进行修补的信息源。然而，以往的玻璃板的缺陷检查装置没有构筑这种系统。本专利技术是鉴于这样的问题而完成的，目的在于提供一种检查板状体的缺陷并能够获取缺陷的产生和附着位置的板状体的缺陷检查方法以及缺陷检查装置。用于解决问题的方案为了达到上述目的，本专利技术的板状体的缺陷检查方法的特征在于，具备以下步骤:成形步骤，形成板状体；第一缺陷检查步骤，通过摄像单元检查在上述成形步骤中形成的上述板状体的表面的缺陷；以及第二缺陷检查步骤，使用检查单元检查在上述第一缺陷检查步骤中检查出缺陷的上述板状体的表面，将上述板状体的表面的缺陷的位置存储到存储单J Li ο为了达到上述目的，本专利技术的板状体的缺陷检查装置的特征在于，具备:成形部，其形成板状体；第一缺陷检查单元，其通过摄像单元检查由上述成形部形成的上述板状体的表面的缺陷；以及第二缺陷检查单元，使用检查单元检查由上述第一缺陷检查单元检查出缺陷的上述板状体的表面，将上述板状体的表面的缺陷的位置存储到存储单元。根据本专利技术，首先，通过成形部形成板状体(成形步骤)。接着，通过第一缺陷检查单元的摄像单元对成形的板状体的表面的缺陷(瑕疵、异物)进行检测(第一缺陷检查步骤)。作为第一缺陷检查单元，能够例示专利文献3所公开的已知的缺陷检查系统。然后，由第二缺陷检查单元获取由第一缺陷检查单元检测出缺陷的板状体的缺陷的位置，并将其存储到存储单元(第二缺陷检查步骤)。第二缺陷检查单元是由使用了检查单元的操作人员进行的目视检查，操作人员使用检查单元发现缺陷，将该板状体中的缺陷的坐标位置存储到存储单元。因而，根据本专利技术，能够提供一种检查板状体的缺陷并且能够获取缺陷的产生和附着位置的板状体的缺陷检查方法和缺陷检查装置。此外，上述坐标位置是指例如以板状体的四个角部中的一个角部为坐标原点、相对于该坐标原点的缺陷的位置。在本专利技术的板状体的缺陷检查方法的一个方式中，优选的是，上述第二缺陷检查步骤具备以下步骤:搭载步骤，将上述板状体以靠基座放置的方式搭载于基座；缺陷检测步骤，使与上述基座相对置地配置的观察光学单元和上述基座相对地移动，来利用上述观察光学单元发现搭载于上述基座的上述板状体的缺陷；点光照射步骤，从光源单元对利用上述观察光学单元发现的上述缺陷的位置照射点光；以及缺陷位置存储步骤，通过计算单元计算上述点光在上述板状体的表面上的照射位置的坐标位置并将其存储到上述存储单J Li ο在本专利技术的板状体的缺陷检查装置的一个方式中，优选的是，上述第二缺陷检查单元的上述检查单元具备:基座，上述板状体以靠基座放置的方式搭载于该基座；观察光学单元，其与上述基座相对置地配置；移动单元，其使上述基座与上述观察光学单元相对地移动；光源单元，其向搭载于上述基座的上述板状体照射点光；以及计算单元，其计算上述点光在上述板状体的表面上的照射位置的坐标位置，上述存储单元存储计算出的上述坐标位置。根据本专利技术的一个方式，在利用第二缺陷检查单元的检查单元所进行的目视检查中，首先将板状体以靠基座放置的方式搭载于基座(搭载步骤)。靠基座放置的板状体的倾斜角度优选为板状体的表面与水平面呈75±5°。当倾斜角度超过80°时，薄板的板状体容易翘曲而难以高效率地进行缺陷检查。另外，当倾斜角度小于70°时，操作人员难以目视检查大型尺寸的板状体。接着，使与基座相对置地配置的观察光学单元与基座相对移动，通过观察光学单元发现搭载于基座的板状体的缺陷(缺陷检测步骤)。观察光学单元优选具备照明单元和具备透镜的光学系统。另外，说明上述相对移动的一例，使观察光学单元相对于板状体例如与板状体的上边平行地从板状体的左边向右边移动。而且，在观察光学单元到达右边的时间点，使板状体上升或者下降测量间距量之后，使观察光学单元从右边向左边移动。而且，在观察光学单元到达左边的时间点，使板状体上升或者下降测量间距量。通过相对于板状体的整个表面进行这样的移动，能够检查板状体的整个表面。此外，上述测量间距是观察光学单元的视野范围。接着，从光源单元对利用观察光学单元发现的缺陷的位置照射点光(点光照射步骤)。而且，通过计算单元计算点光在板状体的表面的照射位置的坐标位置并存储到存储单元(缺陷位置存储步骤本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种板状体的缺陷检查方法，其特征在于，具备以下步骤：成形步骤，形成板状体；第一缺陷检查步骤，通过摄像单元检查在上述成形步骤中形成的上述板状体的表面的缺陷；以及第二缺陷检查步骤，使用检查单元检查在上述第一缺陷检查步骤检查出缺陷的上述板状体的表面，将上述板状体的表面的缺陷的位置存储到存储单元。

【技术特征摘要】
2012.08.24 JP 2012-1851491.一种板状体的缺陷检查方法，其特征在于，具备以下步骤: 成形步骤，形成板状体； 第一缺陷检查步骤，通过摄像单元检查在上述成形步骤中形成的上述板状体的表面的缺陷；以及 第二缺陷检查步骤，使用检查单元检查在上述第一缺陷检查步骤检查出缺陷的上述板状体的表面，将上述板状体的表面的缺陷的位置存储到存储单元。2.根据权利要求1所述的板状体的缺陷检查方法，其特征在于， 上述第二缺陷检查步骤具备以下步骤: 搭载步骤，将上述板状体以靠基座放置的方式搭载于基座； 缺陷检测步骤，使与上述基座相对置地配置的观察光学单元和上述基座相对地移动，来利用上述观察光学单元发现搭载于上述基座的上述板状体的缺陷； 点光照射步骤，从光源单元对利用上述观察光学单元发现的上述缺陷的位置照射点光；以及` 缺陷位置存储步骤，通过计算单元计算上述点光在上述板状体的表面上的照射位置的坐标位置并将其存储到上述存储单元。3.根据权利要求1或者2所述的板状体的缺陷检查方法，其特征在于， 上述板状体为矩形状，厚度为0.1mm~0.7mm,—边的长度为1500mm以上。4.根据权利要求2或者3所述的板状体的缺陷检查方法，其特征在于， 在上述缺陷检测步骤中，一边使上述基座升降一边使上述观察光学单元和上述光源单元在水平方向上移动。5.根据权利要求1~4中的任一项所述的板状体的缺陷检查方法，其特征在于， 上述成形步骤具备以下步骤: 玻璃带成形步骤，通过浮法形成带状的玻璃带； 切断步骤，将上述玻璃带切断为规定尺寸的矩形状的作为上述板状体的玻璃板；以及 研磨步骤，通过研磨单元对上述玻璃板的表面进行研磨。6.根据权利要求1~5中的任一项所述的板状体的缺陷检查方法，其特征在于， 还具备分拣步骤，在该分拣步骤中将在上述第二缺陷检查步骤中结束检查的上述板状体根据缺陷检查结果分拣至板状体捆包部、板状体再研磨部或者板状体废弃部。7.根据权利要求6所述的板状体的缺陷检查方法，其特征在于， 将在上述第一缺陷检查步骤中判断为合格品的上述板状体输送到上述板状体捆包部， 将在上述第一缺陷检查步骤中判断为次品的上述板状体输送到上述第二缺陷检查步骤。8.根据权利要求1~7中的任一项所述的板状体的缺陷检查方法，其特征在于， 在使上述板状体的表面朝向水平方向的状态下将上述板状体从上述第一缺陷检查步骤输送到上述第二缺陷检查步骤， 上述第二缺陷检查步骤具备:立起步骤，使上述板状体立起；输送搭载步骤，将上述立起的上述板状体输送到上述基座并搭载于上述基座；搬出步骤，将上述板状体以立起的状态从上述基座搬出；以及倒伏步骤，使上述搬出的上述板状体倒伏到水平方向而搬出。9.一种板状体的缺陷检查装置，其特征在于，具备:成形部，其形成板状体； 第一缺陷检查单元，其通过摄像单元检查由上述成形部形成的上述板状体的表面的缺陷；以及 第二缺陷检查单元，使用检查单元检查由上述第一缺陷检查单元检查出缺陷的上述板状体的表面，将上述板状体的表面的缺陷的位置存储到存储单元。10.根据权利要求9所述的板状体的缺陷检查装置，其特征在于， 上述第二缺陷检查单元的上述检查单元具备: 基座，上述板状体以靠基座放置的方式搭载于该基座； 观察光学单元，其与上述基座相对置地配置； 移动单元，其使上述基座与上述观察光学单元相对地移动； 光源单元，其向搭载于上述基座的上述板状体照射点光；以及 计算单元，其计算上述点光在上述板状体的表面上的照射位置的坐标位置， 上述存储单元存储计算出的上述坐标位置。11.根据权利要求9或者 10所述的板状体的缺陷检查装置，其特征在于， 上述板状体为矩形状，厚度为0.1mm~0.7mm, 一边的长度为1500mm以上。12.根据权利要求10或者11所述的板状体的缺陷检查装置，其特征在于， 上述移动单元具备使上述基座升降的升降单元以及水平方...

【专利技术属性】
技术研发人员：木村宏，平石雅裕，
申请(专利权)人：旭硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：