下载板状体的缺陷检查方法以及缺陷检查装置的技术资料

文档序号:9764563

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种检查板状体的缺陷并且能够获取缺陷的产生和附着位置的板状体的缺陷检查方法以及缺陷检查装置。根据本发明,首先,将玻璃板以靠基座放置的方式搭载于基座。接着,获取坐标原点。即,获取对玻璃板的四个角部中的一个角部照射来自激光指针的点光的...
该专利属于旭硝子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过旭硝子株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。