【技术实现步骤摘要】
—种用于直拉单晶炉的分体加热器
本技术涉及一种单晶炉的加热器，特别是一种用于直拉单晶炉的分体加热器。
技术介绍
目前，现有的加热器由于加热筒和电极脚为一体结构，所以会出现非正常老化报废的情况，如图1所示，而报废的原因有以下两种:一种是在加热的情况下，尤其是融化原材料一多晶硅时，原材料有时会滴落下来落到加热器的电极脚上，造成电极脚与紧固螺丝粘连，不可分开，从而造成了加热器的报废；另一种是加热器电极脚可能会与电极柱因接触不好造成拉弧，损伤接触面，从而影响正常使用，造成加热器的报废。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种克服现有技术的不足，能够降低生产成本且维修更换操作简便的用于直拉单晶炉的分体加热器。为了完成上述目的，本技术采用的技术方案是:一种用于直拉单晶炉的分体加热器，包括整体呈圆筒形的加热筒，加热筒的底部圆周上设有两个相对设置的L形的电极脚，电极脚包括横向的固定板和纵向的固定挂耳，在电极脚的固定板上设有固定螺孔，所述的加热筒和电极脚为分体结构，所述的加热筒的底部圆周上设有两个相对的电极脚挂耳，所述的电极脚的固定挂耳设有阶梯形的卡槽，固定挂耳的卡槽与电极脚挂耳相配合并通过螺栓固定。所述的电极脚挂耳的侧壁厚度小于加热筒的侧壁厚度。所述的电极脚的固定挂耳的侧壁厚度小于加热筒的侧壁厚度。所述的加热筒的侧壁厚度等于电极脚挂耳的侧壁厚度加电极脚的固定挂耳的侧壁厚度。所述的固定挂耳与电极脚挂耳的之间的固定螺栓为石墨螺栓。所述的固定挂耳与电极脚挂耳的接触面之间设有石墨纸。本技术的有益效果是:由于加热筒和电极脚为分体结构，在发生因粘硅或者电极脚拉弧不能继续使用的情况下，可...
【技术保护点】
一种用于直拉单晶炉的分体加热器，包括整体呈圆筒形的加热筒（1），加热筒（1）的底部圆周上设有两个相对设置的L形的电极脚（2），电极脚（2）包括横向的固定板（3）和纵向的固定挂耳（4），在电极脚（2）的固定板（3）上设有固定螺孔，其特征在于：所述的加热筒（1）和电极脚（2）为分体结构，所述的加热筒（1）的底部圆周上设有两个相对的电极脚挂耳（5），所述的电极脚（2）的固定挂耳（4）设有阶梯形的卡槽，固定挂耳（4）的卡槽与电极脚挂耳（5）相配合并通过螺栓固定。
【技术特征摘要】
1.一种用于直拉单晶炉的分体加热器，包括整体呈圆筒形的加热筒(1)，加热筒(I)的底部圆周上设有两个相对设置的L形的电极脚(2)，电极脚(2)包括横向的固定板(3)和纵向的固定挂耳(4)，在电极脚(2)的固定板(3)上设有固定螺孔，其特征在于:所述的加热筒(I)和电极脚(2)为分体结构，所述的加热筒(I)的底部圆周上设有两个相对的电极脚挂耳(5),所述的电极脚(2)的固定挂耳(4)设有阶梯形的卡槽,固定挂耳(4)的卡槽与电极脚挂耳(5)相配合并通过螺栓固定。2.根据权利要求1所述的一种用于直拉单晶炉的分体加热器，其特征在于:所述的电极脚挂耳(5)的侧壁厚度小于加热筒(I)的...
【专利技术属性】
技术研发人员：闫广宁，岳瑞存，陈宏彬，王怡然，李永峰，
申请(专利权)人：河北宁晋松宫半导体有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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